驱动平台及包含其的真空操纵系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种驱动平台及包含其的真空操纵系统。所述驱动平台包括：第一躯干平台，设有第一滑块和第二导轨；中间躯干平台，设有第三滑块以及滑设于第二导轨的第二滑块；第二躯干平台，与中间躯干平台联动，且设有第三导轨，第三滑块滑设于第三导轨；第一滑块与第三滑块的移动方向平行，第二滑块的移动方向与第三滑块的移动方向形成有一夹角。所述真空操纵系统包括如上所述的驱动平台。本实用新型专利技术实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动，同时，实现第一躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第二躯干平台的移动，以及第二躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第一躯干平台的移动；并且，本实用新型专利技术结构简单，节省成本。

The driving platform and the vacuum control system containing it

The utility model provides a driving platform and a vacuum control system including the driving platform. The driving platform includes a first trunk platform is provided with a first block and a second guide rail; the middle trunk platform, with third and second in second slider sliding rail; second trunk platform linkage and middle trunk platform, and is provided with third guide rails, third slider is arranged on the third guide rail; parallel moving direction of the first sliding block and a third block there is an angle between the moving direction of the formation, moving direction and third slider slider second. The vacuum control system includes the driving platform as described above. The utility model realizes the mobile, driven animal in a vacuum chamber two different directions at the same time, the realization of the first mobile platform drives the intermediate platform trunk trunk trunk second does not affect the mobile platform, mobile platform and second trunk trunk platform driven by intermediate does not affect the movement of the first trunk platform; and the structure of the utility model. Simple, cost savings.

【技术实现步骤摘要】
驱动平台及包含其的真空操纵系统
本技术涉及一种驱动平台及包含其的真空操纵系统。
技术介绍
在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于真空腔外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空腔中的。一般来说，被驱动物的线性移动可以采用波纹管来实现，但是通过波纹管的移动只能实现单一方向的线性移动，如果要同时使得被驱动物实现在两个不同方向上的移动就比较困难了，特别是在两个相互垂直的方向上移动。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是为了克服现有技术真空腔中的被驱动物实现在两个方向上的移动比较困难的缺陷，提供一种驱动平台及包含其的真空操纵系统。本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：一种驱动平台，其特点在于，所述驱动平台包括：第一躯干平台，所述第一躯干平台的一端设有第一滑块，所述第一滑块滑设于第一导轨，所述第一躯干平台的另一端设有第二导轨；中间躯干平台，所述中间躯干平台与所述第一躯干平台相对应的一端设有第二滑块，所述第二滑块滑设于所述第二导轨，所述中间躯干平台还设有第三滑块；第二躯干平台，所述第二躯干平台与所述中间躯干平台联动，所述第二躯干平台设有第三导轨，所述第三滑块滑设于所述第三导轨；其中，所述第一滑块与所述第三滑块的移动方向平行，所述第二滑块的移动方向与所述第三滑块的移动方向形成有一夹角。在本技术方案中，通过设置所述驱动平台的结构实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动，同时，实现第一躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第二躯干平台的移动，以及第二躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第一躯干平台的移动。较佳地，所述夹角为90度。较佳地，所述第二躯干平台穿设于所述中间躯干平台，且所述第二躯干平台抵靠于所述中间躯干平台。在本技术方案中，通过设置所述第二躯干平台穿设于所述中间躯干平台的结构，使所述第二躯干平台实现带动所述中间躯干平台沿所述第二躯干平台的移动方向移动时，不影响所述第一躯干平台的移动；同时，当第一躯干平台带动所述中间躯干平台沿所述第一躯干平台的移动方向移动时，不影响所述第二躯干平台的移动。较佳地，所述驱动平台还包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件与所述第二躯干平台连接，所述第二驱动部件与所述第一躯干平台连接。在本技术方案中，通过设置第一驱动部件带动了第二躯干平台沿第一驱动部件的移动方向的移动；通过设置第二驱动部件带动了第一躯干平台沿第二驱动部件的移动方向的移动。较佳地，所述第二躯干平台设有轴套，所述第一驱动部件的一端穿设于所述轴套。较佳地，所述第二躯干平台还设有万向节，所述万向节套设于所述轴套外。在本技术方案中，通过设置万向节，用于补偿因第一驱动部件的移动方向和第二躯干平台的移动方向不平行的情况，使得即使两者不平行，也不会造成卡死。一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的驱动平台。本技术的积极进步效果在于：本技术实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动，同时，实现第一躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第二躯干平台的移动，以及第二躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第一躯干平台的移动；并且，本技术结构简单，节省成本。附图说明图1为本技术一较佳实施例的的驱动平台的装配示意图。图2为本技术一较佳实施例驱动平台的立体结构示意图。图3为本技术一较佳实施例的驱动平台的主视图。附图标记说明第一躯干平台10第一滑块11第二导轨12通孔14中间躯干平台20第二滑块22第三滑块23上中间躯干平台24下中间躯干平台25容置腔26第二躯干平台30第三导轨33轴套34万向节35第一导轨41第一驱动部件的移动方向A第二驱动部件的移动方向B具体实施方式下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本技术。如图1、图2和图3所示，本实施例提供一种驱动平台及包含其的真空操纵系统。所述驱动平台设置于所述真空操纵系统的真空腔(图中未标示)中。所述驱动平台包括：第一躯干平台10、中间躯干平台20和第二躯干平台30。第一躯干平台10的一端设有第一滑块11，第一滑块11滑设于第一导轨41，第一躯干平台10的另一端设有第二导轨12。第一导轨41固定于所述真空腔的腔壁。中间躯干平台20与第一躯干平台10相对应的一端设有第二滑块22，第二滑块22滑设于第二导轨12，中间躯干平台20还设有第三滑块23。第二躯干平台30与中间躯干平台20联动，第二躯干平台30设有第三导轨33，第三滑块23滑设于第三导轨33。其中，第一滑块11与第三滑块23的移动方向平行，第二滑块22的移动方向与第三滑块23的移动方向形成有一夹角。在本实施例中，所述夹角为90度。这样，通过设置所述驱动平台的结构实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动。同时，实现第一躯干平台10带动中间躯干平台20的移动不影响第二躯干平台30的移动，以及第二躯干平台30带动中间躯干平台20的移动不影响第一躯干平台10的移动。在本实施例中，第二躯干平台30穿设于中间躯干平台20，且第二躯干平台30抵靠于中间躯干平台20。这样，通过设置第二躯干平台30穿设于中间躯干平台20的结构，使第二躯干平台30实现带动中间躯干平台20沿第二躯干平台30的移动方向移动时，不影响第一躯干平台10的移动；同时，当第一躯干平台10带动中间躯干平台20沿第一躯干平台10的移动方向移动时，不影响第二躯干平台30的移动。也就是说，当第二躯干平台30带动中间躯干平台20沿第二躯干平台30的移动方向移动时，通过第一滑块11和第一导轨41的设置、以及第三滑块23和第三导轨33的设置，中间躯干平台20同时实现了相对于所述真空腔和第一躯干平台10的移动。具体来说，中间躯干平台20包括上中间躯干平台24和下中间躯干平台25，上中间躯干平台24和下中间躯干平台25环绕形成一容置腔26，第二躯干平台30穿设于容置腔26，且第二躯干平台30抵靠于容置腔26的腔壁；第二滑块22固定于上中间躯干平台24中面向第一躯干平台10的一面，第三滑块23固定于下中间躯干平台25中面向容置腔26的一面。第二躯干平台30穿设于容置腔26的方向与第一躯干平台10的移动方向平行。这样，当中间躯干平台20在第一躯干平台10带动而沿第一躯干平台10移动方向移动时，不会对第二躯干平台30的移动造成影响。所述驱动平台还包括第一驱动部件(图中未标示)和第二驱动部件(图中未标示)，所述第一驱动部件与第二躯干平台30连接，所述第二驱动部件与第一躯干平台10连接。这样，如图2中所示，通过设置第一驱动部件带动了第二躯干平台30沿第一驱动部件的移动方向A的移动；通过设置第二驱动部件带动了第一躯干平台10沿第二驱动部件的移动方向B的移动。第二躯干平台30设有轴套34，所述第一驱动部件的一端穿设于轴套34。第二躯干平台30还设有万向节35，万向节35套设于轴套34外。较佳地，万向节35为万向球节。这样，通过设置万向节35，用于补偿因第一驱动部件的移动方向和第二躯干平台30的移动方向不平行的情况，使得即使两者不平行，也不会造成本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种驱动平台，其特征在于，所述驱动平台包括：第一躯干平台，所述第一躯干平台的一端设有第一滑块，所述第一滑块滑设于第一导轨，所述第一躯干平台的另一端设有第二导轨；中间躯干平台，所述中间躯干平台与所述第一躯干平台相对应的一端设有第二滑块，所述第二滑块滑设于所述第二导轨，所述中间躯干平台还设有第三滑块；第二躯干平台，所述第二躯干平台与所述中间躯干平台联动，所述第二躯干平台设有第三导轨，所述第三滑块滑设于所述第三导轨；其中，所述第一滑块与所述第三滑块的移动方向平行，所述第二滑块的移动方向与所述第三滑块的移动方向形成有一夹角。

【技术特征摘要】
1.一种驱动平台，其特征在于，所述驱动平台包括：第一躯干平台，所述第一躯干平台的一端设有第一滑块，所述第一滑块滑设于第一导轨，所述第一躯干平台的另一端设有第二导轨；中间躯干平台，所述中间躯干平台与所述第一躯干平台相对应的一端设有第二滑块，所述第二滑块滑设于所述第二导轨，所述中间躯干平台还设有第三滑块；第二躯干平台，所述第二躯干平台与所述中间躯干平台联动，所述第二躯干平台设有第三导轨，所述第三滑块滑设于所述第三导轨；其中，所述第一滑块与所述第三滑块的移动方向平行，所述第二滑块的移动方向与所述第三滑块的移动方向形成有一夹角。2.如权利要求1所述的驱动平台，其特征在于，所述夹角为90度。3.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：金浩，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31