真空吸附单元和真空吸附载台制造技术

本发明专利技术公开了一种真空吸附单元和真空吸附载台，真空吸附单元包括：内部限定出气路通孔的外壳，气路通孔内设有上止抵面和下止抵面；可移动地设在气路通孔内的活塞，活塞的外周壁与气路通孔的内周壁滑动配合；两端分别止抵在外壳和活塞上的弹性件；与气路通孔连通的泄压通道，泄压通道被构造成仅在活塞移动至止抵在下止抵面时泄压通道被关闭。本发明专利技术的真空吸附单元，可根据气路通孔的用于吸附的一端是否被覆盖而在活塞上下两侧产生的不同的气压差来控制真空吸附单元的吸附状态，实现了真空吸附单元工作的自动化，实现了自动关闭未被覆盖的气路通孔的用于吸附的一端的目的。

Vacuum adsorption unit and vacuum loading station

The invention discloses a vacuum unit and the vacuum loading station, vacuum adsorption unit includes: internal limiting hole road outlet casing, gas path through hole is arranged in the top face and the bottom dead face; movable piston hole is arranged in the gas path, the inner circumferential wall of the sliding piston the peripheral wall and gas path through holes with both ends respectively; check against the shell and the elastic piece on the piston; and the gas pressure relief hole communicated with the passage of the pressure relief passage is constructed pressure relief channel is closed only in the movement of the piston to check against the bottom surface when stopping. Vacuum adsorption unit of the invention, according to the gas path through holes for adsorption at one end of the cover and whether both sides in the piston on the different pressure to control the adsorption state of vacuum adsorption unit, automatic vacuum adsorption unit, realizes the automatic closing gas path uncovered through hole the end purpose for adsorption.

【技术实现步骤摘要】
真空吸附单元和真空吸附载台
本专利技术涉及真空吸附领域，尤其涉及一种真空吸附单元和真空吸附载台。
技术介绍
近年来相关技术的真空吸附载台吸附的基板尺寸趋于多样化，为了应对不同尺寸的基板，通常情况下采用粘贴胶带的方式来关闭基板载台上暂时不用的真空吸槽，从而给关闭真空吸槽的操作带来不便并且浪费人力。
技术实现思路
本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种真空吸附单元，可根据气路通孔的用于吸附的一端是否被覆盖而在活塞上下两侧产生的不同的气压差来控制真空吸附单元的吸附状态，实现了真空吸附单元工作的自动化，实现了自动关闭未被覆盖的气路通孔的用于吸附的一端的目的。本专利技术还提出一种真空吸附载台，包括上述的真空吸附单元。根据本专利技术实施例的真空吸附单元，可应用于真空吸附载台，已知真空吸附载台包括基板载台，基板载台上设有真空吸槽。真空吸附单元包括：外壳，所述外壳内限定出气路通孔，所述气路通孔内设有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移动地设在所述气路通孔内且位于所述上止抵面和所述下止抵面之间，所述活塞的外周壁与所述气路通孔的内周壁滑动配合；弹性件，所述弹性件的两端分别止抵在所述外壳和所述活塞上以常驱动所述活塞止抵在所述上止抵面上；与所述气路通孔连通的泄压通道，所述泄压通道被构造成在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述泄压通道被关闭。可以理解的是，气路通孔的两端分别与真空吸槽和真空管路相连通以实现真空吸附单元的吸附工作。根据本专利技术实施例的真空吸附单元，通过在气路通孔内设置可移动的活塞，并且设置与气路通孔连通的泄压通道，泄压通道被构造成在活塞移动至止抵在下止抵面时泄压通道被关闭，从而可根据真空吸槽是否被覆盖而在活塞上下两侧产生的不同的气压差来控制真空吸附单元的吸附状态，实现了真空吸附单元工作的自动化，实现了自动关闭基板载台上的未被覆盖的真空吸槽的目的。可选地，所述泄压通道设在所述活塞上，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述下止抵面封堵所述泄压通道。从而使泄压通道的结构简单，能够降低真空吸附单元的制造成本。可选地，所述泄压通道设在所述外壳内，所述泄压通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄压通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述活塞的侧壁封堵所述泄压通道的下端以关闭泄压通道。从而使泄压通道的结构更加稳定，泄压作用更加可靠。根据本专利技术的一些地实施例，所述外壳包括：筒体，所述筒体内限定出所述气路通孔；止挡件，所述止挡件设在所述气路通孔的内壁上，所述止挡件内设有与所述气路通孔连通的贯通孔，所述止挡件的上表面限定出所述下止抵面；垫片，所述垫片设在所述止挡件的下表面上，所述弹性件设在所述活塞的下方且所述弹性件的下端穿过所述贯通孔止抵在所述垫片上。从而使真空吸附单元的结构简单、可靠。根据本专利技术的又一些实施例，所述外壳包括：筒体，所述筒体内限定出所述气路通孔；止挡件，所述止挡件设在所述气路通孔的内壁上，所述止挡件内设有与所述气路通孔连通的贯通孔，所述止挡件的上表面限定出所述下止抵面；垫片，所述垫片设在所述筒体的内壁上且位于所述止挡件的上方，所述弹性件位于所述活塞的上方且所述弹性件的上下两端分别与所述垫片和所述活塞相连。具体地，所述筒体包括：中空的外套筒；中空的内套筒，所述内套筒设在所述外套筒内且位于所述止挡件的上方，所述内套筒的外周壁和所述外套筒的内周壁之间限定出所述泄压通道，所述活塞可移动地设在所述内套筒内。由此可知，泄压通道的设置简单，内套筒的顶端的下表面限定出上止抵面。具体地，所述内套筒的内顶壁限定出所述上止抵面。进一步地，所述外壳的上端设有外螺纹。从而便于将真空吸附单元安装到基板载台上，使真空吸附单元与基板载台的连接方式简单，便于拆卸和更换。进一步地，所述气路通孔的下端的内周壁设有内螺纹。从而便于将真空吸附单元与真空管路连接，使真空吸附单元与真空管路的连接方式简单，便于拆卸和更换。可选地，所述弹性件为弹簧。从而在保证弹性件对活塞的推动作用的同时使真空吸附单元的成本低。可选地，所述泄压通道的横截面积保持不变。从而能够保证泄压通道内不同位置的气体流量相同，进而保证泄压通道的泄压作用，同时使泄压通道的结构简单、制造方便。根据本专利技术实施例的真空吸附载台，包括：基板载台，所述基板载台上设有真空吸槽；真空吸附单元，所述真空吸附单元为根据本专利技术上述实施例的真空吸附单元，所述真空吸附单元与所述真空吸槽一一对应配合连接。根据本专利技术实施例的真空吸附载台，通过设置根据本专利技术上述实施例的真空吸附单元，从而可根据每个真空吸槽是否被覆盖而在活塞上下两侧产生的不同的气压差来控制每个对应的真空吸附单元的吸附状态，实现了真空吸附载台工作的自动化。进一步地，所述真空吸槽为多个，所述真空吸附单元为多个且与多个所述真空吸槽一一对应配合连接。本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。附图说明图1是根据本专利技术实施例的基板载台的俯视图；图2是根据本专利技术实施例的基板载台的仰视图；图3是根据本专利技术实施例的真空吸附单元的示意图；图4是根据本专利技术实施例的真空吸附单元工作时活塞移动示意图；图5是根据本专利技术实施例的真空吸附单元工作时活塞止抵在下止抵面的示意图；图6是根据本专利技术又一实施例的真空吸附单元的示意图；图7是根据本专利技术再一实施例的真空吸附单元的示意图。附图标记：真空吸附单元100；基板载台200；外壳1；筒体11；外套筒110；内套筒111；止挡件12；垫片13；上止抵面14；下止抵面15；活塞2；弹性件3；泄压通道4；真空吸槽21；气路通孔a；贯通孔b。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。下面参考图1-图7描述根据本专利技术实施例的真空吸附单元100，本专利技术实施例的真空吸附单元100可应用于真空吸附载台，已知真空吸附载台包括基板载台200，基板载台200上设有真空吸槽21。如图1-图7所示，根据本专利技术实施例的真空吸附单元100，包括：外壳1、活塞2、弹性件3和与气路通孔a连通的泄压通道4。具体而言，外壳1内限定出气路通孔a，气路通孔a内设有上止抵面14和下止抵面15。从而可以理解的是，气路通本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空吸附单元，其特征在于，包括：外壳，所述外壳内限定出气路通孔，所述气路通孔内设有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移动地设在所述气路通孔内且位于所述上止抵面和所述下止抵面之间，所述活塞的外周壁与所述气路通孔的内周壁滑动配合；弹性件，所述弹性件的两端分别止抵在所述外壳和所述活塞上以常驱动所述活塞止抵在所述上止抵面上；与所述气路通孔连通的泄压通道，所述泄压通道被构造成仅在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述泄压通道被关闭。

【技术特征摘要】
1.一种真空吸附单元，其特征在于，包括：外壳，所述外壳内限定出气路通孔，所述气路通孔内设有上止抵面和下止抵面；活塞，所述活塞可移动地设在所述气路通孔内且位于所述上止抵面和所述下止抵面之间，所述活塞的外周壁与所述气路通孔的内周壁滑动配合；弹性件，所述弹性件的两端分别止抵在所述外壳和所述活塞上以常驱动所述活塞止抵在所述上止抵面上；与所述气路通孔连通的泄压通道，所述泄压通道被构造成仅在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述泄压通道被关闭。2.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述泄压通道设在所述活塞上，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述下止抵面封堵所述泄压通道。3.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述泄压通道设在所述外壳内，所述泄压通道的上端位于所述上止抵面的上方，所述泄压通道的下端位于所述下止抵面的上方，在所述活塞移动至止抵在所述下止抵面时所述活塞的侧壁封堵所述泄压通道的下端以关闭泄压通道。4.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述外壳包括：筒体，所述筒体内限定出所述气路通孔；止挡件，所述止挡件设在所述气路通孔的内壁上，所述止挡件内设有与所述气路通孔连通的贯通孔，所述止挡件的上表面限定出所述下止抵面；垫片，所述垫片设在所述止挡件的下表面上，所述弹性件设在所述活塞的下方且所述弹性件的下端穿过所述贯通孔止抵在所述垫片上。5.根据权利要求1所述的真空吸附单元，其特征在于，所述外壳包括：筒体，所述筒体内限定出...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑汉博，李丽，闫俊伟，冯长海，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11