适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具制造技术

本实用新型专利技术提供适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具，其为适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具，适配于晶圆的有效位置示教，以此保证晶圆在机械手臂示教位置的精度，满足半导体设备运行需求。适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具包括透明晶圆治具、晶圆定位治具和静电吸盘定位治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明晶圆治具用于夹持晶圆，静电吸盘定位治具用于定位静电吸盘中心位置。位静电吸盘中心位置。位静电吸盘中心位置。

【技术实现步骤摘要】
适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具


[0001]本技术属于半导体设备
，具体涉及一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具。

技术介绍

[0002]机械手臂(Robot)是半导体设备腔体内部用于传输(或是搬运)晶圆的一种运动机器人(或是一种自动化机械结构)，可以将晶圆搬运至半导体设备腔体内不同的固定位置，而每一个位置就需要机械手臂对应一个固定点位，而每一个点位就需要对机械手臂进行一次点位示教，使晶圆被精准的搬运至每一个需要的固定位置，而点位示教的精度就决定了机械手臂每次搬运晶圆至指定位置的精度，如果搬运位置的精度不够，就会影响晶圆的生产工艺或是晶圆出现碰撞导致破片等等系列后果。
[0003]目前，针对此种类型的机械手臂机构，还有与之相适配的示教治具，来帮助进行不同位置的示教，主要依靠人眼观察等，所以就经常造成位置的示教精度不够，影响晶圆的生产工艺或是晶圆出现碰撞导致破片等等系列问题。

技术实现思路

[0004]基于现有技术存在的问题，本技术提供一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具。
[0005]依据本技术的技术方案，本技术提供了一种适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具，其为适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具，适配于晶圆的有效位置示教，以此保证晶圆在机械手臂示教位置的精度，满足半导体设备运行需求。
[0006]其中，所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具包括透明材质治具、晶圆定位治具和静电吸盘治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明材质治具用于夹持晶圆，静电吸盘治具用于定位静电吸盘中心位置。
[0007]进一步地，透明晶圆治具与晶圆的形状类似，其为正圆形状的平板型，在中心位置设置有中心孔。透明晶圆治具的中心孔用于定位透明晶圆治具，且透明材质有助于在示教时便于寻找静电吸盘治具中心孔位；在透明晶圆治具外圆周上没有任何凸起，其是完全与晶圆一致且无阻挡应用到晶圆组盘中。
[0008]另外地，晶圆定位治具包括圆弧状持有边框。圆弧状持有边框的晶圆定位治具呈三角板状结构。优选地，圆弧状持有边框的晶圆定位治具的第一边框为圆弧状，第一边框的圆弧直接与透明材质治具的直经相同，在使用过程中透明材质治具平靠在第一边框的圆弧边缘处。
[0009]更进一步地，圆弧状持有边框的晶圆定位治具的第二边框和第三边框为直边边框，其与圆弧状持有边框的治具的底部矩形部相连接，且第二边框和第三边框与底部矩形部的短边呈相同的夹角。
[0010]具体地，静电吸盘治具，静电吸盘治具上凹槽直径296mm，与静电吸盘直径相同，壁厚3mm，凹槽可以与静电吸盘外圆相配合；圆柱台阶的直径是100mm，高度12mm，其中心孔位直径是2mm。
[0011]与现有技术相比，本技术的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具的有益技术效果如下：
[0012](1)本技术静电吸盘治具可以大幅提高操作人员在示教不同位置时的示教精度，还可以很大程度上节省静电吸盘示教时间。
[0013](2)本技术静电吸盘治具用于定位静电吸盘的中心位置，静电吸盘治具中的静电吸盘治具凹槽可以夹持静电吸盘，而静电吸盘治具上面自带中心孔位，极大提升了静电吸盘位置的示教效率。
附图说明
[0014]图1是依据本技术的需要示教位置的静电吸盘的第一结构示意图。
[0015]图2是依据本技术的需要示教位置的静电吸盘的第二结构示意图。
[0016]图3是本技术的位置示教治具所应用的静电吸盘治具的第一结构示意图。
[0017]图4是本技术的位置示教治具所应用的静电吸盘治具的第一结构的截面图。
[0018]图5是本技术的位置示教治具所应用的静电吸盘治具的尺寸示意前视图，视图为前视图。
[0019]图6是本技术的位置示教治具所应用的静电吸盘治具的尺寸示意后视图，视图为后视图。
[0020]图7是本技术的位置示教治具所应用的静电吸盘治具的尺寸示意左视图，视图为左视图。
[0021]图8是本技术的位置示教治具所应用的静电吸盘治具卡在静电吸盘上面的半截面示意图。
[0022]图9是本技术的位置示教治具所应用的静电吸盘治具卡在静电吸盘上面的示意图。
[0023]图10是本技术的位置示教治具所应用的机械手臂位置示教的治具示意图，机械手臂位置示教的治具卡在机械手臂上的示意图。
[0024]图11是图10所示机械手臂位置示教的治具和应用透明晶圆治具的示意图，透明晶圆治具平靠在机械手臂位置示教的治具上。
[0025]图12是图10所示机械手臂位置示教的治具及所应用的机械手臂带着透明晶圆治具向静电吸盘位置移动，进行位置示教的示意图。
[0026]图13是图10所示机械手臂位置示教的治具及所应用的机械手臂带着透明晶圆治具向静电吸盘位置移动，进行位置示教，其透明晶圆治具中心孔与静电吸盘治具中心孔同心的示意图。
[0027]附图中的附图标记说明：
[0028]图2中：附图标记2
‑
1、2
‑
2和2
‑
3是静电吸盘上的晶圆支撑柱，其分别是第一晶圆支撑柱2
‑
1、第二晶圆支撑柱2
‑
2、第三晶圆支撑柱2
‑
3；
[0029]图3中：附图标记3
‑
1、3
‑
2和3
‑
3是静电吸盘治具上避开晶圆支撑柱的通孔，其分别
是第一通孔3
‑
1、第二通孔3
‑
2、第三通孔3
‑
3；静电吸盘治具的中心孔3
‑
4；
[0030]图4中：静电吸盘治具上凹槽的壁的内壁4
‑
1；
[0031]图10中：附图标记10
‑
1是机械手臂位置示教的治具，其卡在机械手臂上；
[0032]图11中：附图标记11
‑
1是透明晶圆治具，平靠在机械手臂位置示教的治具的透明晶圆治具；11
‑
2是透明晶圆治具上的中心孔。
具体实施方式
[0033]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0034]另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关技术相关的部分。在不冲突的情况下，本技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0035]需要注意，本技术中提及的“第一”、“第二”等概念仅用于对不同的装置、模块或单元进本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具，其特征在于，其为适合半导体设备内部机械手臂位置示教的治具，适配于晶圆的有效位置示教，以此保证晶圆在机械手臂示教位置的精度，满足半导体设备运行需求；适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具包括透明晶圆治具、晶圆定位治具和静电吸盘定位治具，晶圆定位治具用于定位晶圆，透明晶圆治具用于夹持晶圆，静电吸盘定位治具用于定位静电吸盘中心位置。2.如权利要求1所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具，其特征在于，透明晶圆治具与晶圆的形状类似，其为正圆形状的平板型，在中心位置设置有中心孔。3.如权利要求2所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具，其特征在于，透明晶圆治具的中心孔用于定位透明晶圆治具，且透明材质有助于在示教时便于寻找静电吸盘治具中心孔位；在透明晶圆治具外圆周上没有任何凸起，其是完全与晶圆一致且无阻挡应用到晶圆组盘中。4.如权利要求3所述的适合半导体设备内部机械手臂位置示教的静电吸盘治具，其特征在于，晶圆定位治具包括圆弧状持有边框；圆弧状...

【专利技术属性】
技术研发人员：翟军明，李朋涛，杨光亮，陆天，闫磊，孙玉中，黄才钧，张长勇，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：