一种多晶铸锭坩埚喷涂用旋转活动式烘箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多晶铸锭坩埚喷涂用旋转活动式烘箱，包括：底座上依次设置有旋转电机、旋转台、支撑座及固定框架，旋转电机的输出轴与旋转台相连，且固定框架通过支撑座与旋转台一体转动；固定框架前侧为开口，且固定框架内上下左右及后侧均设置有加热板，加热板内布置有加热管；固定框架上侧及右侧设置有伸缩气缸，通过伸缩气缸的活塞杆带动上侧及右侧加热板的伸缩；下侧加热板包括左右两个升降加热板及中部的固定加热板，且三者可拼接为一体；固定加热板与固定框架固接，且通过升降气缸的活塞杆带动两个升降加热板的升降。本实用新型专利技术能够实现加热板的自动伸缩调整，操作方便且加热均匀高效，同时便于上下搬运坩埚，有效提高坩埚喷涂效率。

A rotating movable oven for spraying polycrystalline ingot crucible

The utility model discloses a polycrystalline ingot crucible for spraying rotary type oven, including: the base is arranged with a rotary motor and a rotary table, a supporting seat and a fixed frame, an output shaft of the rotating motor and the rotary table is connected and fixed through the support frame and the rotary table is rotated integrally; the fixed frame for front opening and, within the framework of fixed upper and lower left and rear side are provided with a heating plate, a heating pipe arranged in the heating plate; the fixed frame of the upper side and the right side is arranged with a telescopic cylinder, the telescopic upper side and the right side heating plate through a piston rod of the telescopic cylinder; the lower heating plate fixing heating plate includes two lifting plate and central heating, and the three can be spliced into a whole; a fixed heating plate and the fixed frame is fixedly connected with the piston rod of the lifting cylinder to drive the two lifting heating plate lifting. The utility model can realize the automatic expansion and adjustment of the heating plate, and has the advantages of convenient operation, uniform heating and high efficiency, at the same time, convenient for transporting Crucible on the upper and lower parts, and effectively improving the spraying efficiency of the crucible.

【技术实现步骤摘要】
一种多晶铸锭坩埚喷涂用旋转活动式烘箱
本专利技术涉及一种多晶铸锭坩埚喷涂用旋转活动式烘箱，属于多晶硅生产

技术介绍
多晶硅铸锭工序中需要将硅料全部熔化，熔化的硅料若是直接与坩埚接触会发生反应，出现粘锅现象，严重影响硅锭的质量。为了避免熔化的硅料与坩埚发生反应，需要在坩埚内壁喷涂氮化硅，因为氮化硅属于一种性质稳定的化学物质，既不会和坩埚反应，也不会和液态硅反应，能够在熔化的硅溶液和坩埚之间起到很好的隔离作用。当氮化硅涂层喷涂达到规定要求后，需将喷涂好的坩埚放入烘箱内进行烘烤，然后再冷却，达到涂层要求后，即可以装料使用。现有技术在执行氮化硅的喷涂作业前都是通过人工将坩埚搬运到加热装置上，再通过螺丝或锁扣等方式进行手动固定，使加热板与坩埚的各个加热面相贴合，当喷涂完成后，再通过人工将螺丝等松开把坩埚从加热器上卸下来。这个过程中，加热板和坩埚的加热面的相对位置和紧贴程度都是由操作人员手动调整，如果加热板和坩埚加热面的相对位置没调整好或是紧贴效果不好，将会大大降低加热板的热传递效果，加热缓慢的同时坩埚各个喷涂面上的温度误差变大，导致喷涂面上水分蒸发的速度不均匀，使得装料投炉后真空泵的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶铸锭坩埚喷涂用旋转活动式烘箱，其特征在于，包括固定框架(1)、支撑座(2)、旋转台(3)、旋转电机(4)及底座(5)；其中，所述底座(5)上依次设置有旋转电机(4)、旋转台(3)、支撑座(2)及固定框架(1)，旋转电机(4)的输出轴与旋转台(3)相连，且固定框架(1)通过支撑座(2)与旋转台(3)一体转动；所述固定框架(1)前侧为开口，且固定框架(1)内上下左右及后侧均设置有加热板(6)，所述加热板(6)内布置有若干排列均匀的加热管；其中，左侧及后侧加热板(6)与固定框架(1)固接，且上侧及右侧加热板(6)与固定框架(1)活动连接；固定框架(1)上侧及右侧设置有伸缩气缸(7)，所述伸缩...

【技术特征摘要】
1.一种多晶铸锭坩埚喷涂用旋转活动式烘箱，其特征在于，包括固定框架(1)、支撑座(2)、旋转台(3)、旋转电机(4)及底座(5)；其中，所述底座(5)上依次设置有旋转电机(4)、旋转台(3)、支撑座(2)及固定框架(1)，旋转电机(4)的输出轴与旋转台(3)相连，且固定框架(1)通过支撑座(2)与旋转台(3)一体转动；所述固定框架(1)前侧为开口，且固定框架(1)内上下左右及后侧均设置有加热板(6)，所述加热板(6)内布置有若干排列均匀的加热管；其中，左侧及后侧加热板(6)与固定框架(1)固接，且上侧及右侧加热板(6)与固定框架(1)活动连接；固定框架(1)上侧及右侧设置有伸缩气缸(7)，所述伸缩气缸(7)通过连接件与固定框架(1)相连，通过伸缩气缸(7)的活塞杆带动上侧及右侧加热板(6)的伸缩活动；下侧加热板(6)包括左右两个升降加热板(12)及中部的固定加热板(13)，且三者可拼接为一体；其中，固定加热板(13)与固定框架(1)固接，且左右两个升降加热板(12)与固定框架(1)活动连接；固定框架(1)底部左右两侧设置有升降气缸(14)，通...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾飞，於俊杰，
申请(专利权)人：镇江仁德新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32