激光器元件、激光器元件的制造方法技术

本发明专利技术的目的在于提供一种能够减小寄生电容且确保台面条带左右的中空部的激光器元件和激光器元件的制造方法。具有：脊部，其以条带状隆起；沟道部，其与该脊部相邻，从两侧夹着该脊部，高度低于该脊部；阶台部，其与该沟道部的与该脊部相反侧相邻，形成得比该沟道部高；支撑部，其设置于该沟道部之上，与该脊部的侧面和该阶台部的侧面中的至少一者分离地设置，由树脂形成；顶棚部，其具有第1部分和第2部分，由树脂形成，该第1部分设置于该支撑部之上，该第2部分与该第1部分相连，隔着中空部而位于该沟道部之上；以及金属层，其设置于该顶棚部之上，并且与该脊部的上表面连接。

The manufacturing method of laser element and laser element

The purpose of the invention is to provide a manufacturing method for laser elements and laser elements which can reduce parasitic capacitance and ensure the hollow part of the noodles around the table. Has a spine, the banded channel of the uplift; and the ridge portion adjacent to the ridge from holding both sides, below the ridge height; order in Taiwan, and the channel portion and the ridge on the opposite side of the adjacent formation, better than the channel height; the supporting part, which is arranged in the channel portion on at least one side and the side of the ridge and the stepped parts in separate settings, formed by resin; it has a ceiling of first, and the second part, the first part is formed of resin, is arranged on the support of the Ministry. The second part is connected with the first part, through the hollow part and is located in the channel portion; and a metal layer, which is arranged in the ceiling above, connected with the surface and the ridge.

【技术实现步骤摘要】
激光器元件、激光器元件的制造方法
本专利技术涉及一种例如进行高速动作的激光器元件以及该激光器元件的制造方法。
技术介绍
专利文献1公开了一种氮化物半导体激光器元件，该氮化物半导体激光器元件构成为，在半导体层设置有脊状条带(ridgestripe)，沿该脊状条带而在两肋设置有槽部，在形成于该槽部上方的金属层和该槽部的底部之间具有空腔部。该金属层支撑于脊状条带以及在槽部的外侧设置的山部。专利文献2公开了在台面条带的左右形成空隙。在空隙之上存在绝缘部和设置于绝缘部之上的电极部。专利文献1：日本特开2006-066411号公报专利文献2：日本特开2007-173392号公报专利文献1的激光器元件存在下述问题，即，半导体层和位于空腔部之上的金属层之间的距离近，寄生电容对激光器元件的特性造成影响。就专利文献2的激光器元件而言，绝缘部有可能下垂至空隙。
技术实现思路
本专利技术就是为了解决上述课题而提出的，其目的在于提供一种能够减小寄生电容且确保台面条带左右的中空部的激光器元件和激光器元件的制造方法。本专利技术涉及的激光器元件的特征在于，具有：脊部，其以条带状隆起；沟道部，其与该脊部相邻，从两侧夹着该脊部，高度低于该脊部；阶台部，其与该沟道部的与该脊部相反侧相邻，形成得比该沟道部高；支撑部，其设置于该沟道部之上，与该脊部的侧面和该阶台部的侧面中的至少一者分离地设置，由树脂形成；顶棚部，其具有第1部分和第2部分，由树脂形成，该第1部分设置于该支撑部之上，该第2部分与该第1部分相连，隔着中空部而位于该沟道部之上；以及金属层，其设置于该顶棚部之上，并且与该脊部的上表面连接。本专利技术涉及的激光器元件的制造方法的特征在于，具有下述工序：在激光器构造的沟道部的一部分形成树脂，形成由该激光器构造和该树脂进行密闭的中空部，其中，该激光器构造具有：脊部，其以条带状隆起；该沟道部，其从两侧夹着该脊部，高度低于该脊部；以及阶台部，其与该沟道部的与该脊部相反侧相邻，形成得比该沟道部高；在该树脂之上形成与该脊部的上表面接触的金属层；以及使用抗蚀剂对该金属层进行图案化。本专利技术涉及的激光器元件的制造方法的特征在于，具有下述工序：在激光器构造的沟道部的一部分形成支撑部，该支撑部是与脊部的侧面和阶台部的侧面中的至少一者分离地设置的，由树脂形成，其中，该激光器构造具有：该脊部，其以条带状隆起；该沟道部，其从两侧夹着该脊部，高度低于该脊部；以及该阶台部，其与该沟道部的与该脊部相反侧相邻，形成得比该沟道部高；通过层压法或者STP法而形成顶棚部，在该顶棚部和该沟道部之间形成中空部，其中，该顶棚部被该支撑部和该脊部支撑，以树脂作为材料；以及在该顶棚部之上形成与该脊部的上表面接触的金属层。专利技术的效果根据本专利技术，由于在位于脊部左右的槽之上，将成为金属层的基底的顶棚部由设置于该槽中的支撑部进行支撑，因此能够防止顶棚部下垂。附图说明图1是实施方式1涉及的激光器元件的剖面图。图2是激光器构造等的剖面图。图3是前驱体等的剖面图。图4是支撑部等的剖面图。图5是支撑部等的俯视图。图6是支撑部等的剖面图。图7是绝缘膜等的剖面图。图8是顶棚部等的剖面图。图9是顶棚部的俯视图。图10是绝缘膜等的剖面图。图11是金属层等的俯视图。图12是为了对静电电容进行说明而添加了注释的激光器元件的剖面图。图13是实施方式2涉及的激光器元件的剖面图。图14是支撑部等的剖面图。图15是支撑部等的剖面图。图16是绝缘膜等的剖面图。图17是形成了宽开口的顶棚部等的剖面图。图18是绝缘膜等的剖面图。图19是实施方式3涉及的激光器元件的剖面图。图20是支撑部等的剖面图。图21是支撑部等的剖面图。图22是支撑部等的俯视图。图23是绝缘膜等的剖面图。图24是顶棚部等的剖面图。图25是实施方式4涉及的激光器元件的剖面图。图26是顶棚部等的俯视图。图27是金属层等的俯视图。图28是形成得较小的支撑部等的俯视图。图29是形成得较小的顶棚部等的俯视图。图30是形成得较小的金属层等的俯视图。图31是实施方式5涉及的激光器元件的剖面图。图32是实施方式6涉及的激光器元件的剖面图。图33是实施方式7涉及的激光器元件的支撑部等的俯视图。图34是变形例涉及的支撑部等的俯视图。图35是实施方式8涉及的支撑部等的俯视图。图36是顶棚部等的俯视图。图37是金属层等的俯视图。标号的说明10激光器构造，10a脊部，10b沟道部，10c阶台部，12、14、17绝缘膜，13支撑部，15中空部，16顶棚部，18金属层。具体实施方式参照附图对本专利技术的实施方式涉及的激光器元件和激光器元件的制造方法进行说明。对相同或者相对应的结构要素标注相同的标号，有时省略重复说明。实施方式1.图1是实施方式1涉及的激光器元件的剖面图。该激光器元件具有以条带状隆起的脊部10a。在脊部10a的旁边形成有沟道部10b，该沟道部10b与脊部10a相邻，从两侧夹着脊部10a。沟道部10b与脊部10a相比高度低。在沟道部10b的与脊部10a相反侧形成有与沟道部10b相邻的阶台部10c。阶台部10c与沟道部10b相比形成得高。阶台部10c和脊部10a的高度为相同程度。将脊部10a、沟道部10b以及阶台部10c总称为激光器构造10。激光器构造10的材料是半导体。激光器构造10的上表面由绝缘膜12覆盖。在沟道部10b之上设置有由树脂形成的支撑部13。支撑部13是与脊部10a的侧面和阶台(terrace)部10c的侧面这两者分离地设置的。支撑部13的左右成为中空部15。支撑部13和绝缘膜12由绝缘膜14覆盖。在激光器构造10和支撑部13之上设置有由树脂形成的顶棚部16。顶棚部16具有：第1部分16a，其设置于支撑部13之上；第2部分16b，其与第1部分16a相连，隔着中空部15而位于沟道部10b之上；以及第3部分16c，其设置于阶台部10c之上。第1部分16a、第2部分16b以及第3部分16c一体地形成。在顶棚部16之上形成有绝缘膜17。在顶棚部16之上隔着绝缘膜17而设置有金属层18。绝缘膜12、14、17以及顶棚部16在脊部10a的上方具有开口。而且，金属层18将它们的开口填埋，由此金属层18与脊部10a的上表面连接。对本专利技术的实施方式1涉及的激光器元件的制造方法进行说明。参照激光器构造等的剖面图即图2来说明最初的工序。在该工序中，利用绝缘膜12将激光器构造10覆盖。然后，对脊部10a之上的绝缘膜12进行开口。接着，在激光器构造10涂敷以感光性树脂作为材料的前驱体。在剖面图即图3示出了前驱体13A。前驱体13A对由脊部10a、沟道部10b以及阶台部10c形成的槽进行填埋。接着，通过曝光、显影对前驱体13A进行图案化。在剖面图即图4示出了通过对前驱体进行图案化而得到的支撑部13。图5是支撑部13等的俯视图。通过对前驱体进行图案化，从而形成与脊部10a、阶台部10c分离的支撑部13以及与该支撑部13相连的填埋部30。支撑部13是与脊部10a平行地延伸的部分。填埋部30设置于沟道部10b之上，在俯视观察时与支撑部13的两端连接。而且，填埋部30与脊部10a的侧面和阶台部10c的侧面这两者接触。因此，填埋部30是对脊部10a旁边的槽的一部分进行填埋的结构要素。在图5示出了4个这样的填埋部3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光器元件，其特征在于，具有：脊部，其以条带状隆起；沟道部，其与所述脊部相邻，从两侧夹着所述脊部，高度低于所述脊部；阶台部，其与所述沟道部的与所述脊部相反侧相邻，形成得比所述沟道部高；支撑部，其设置于所述沟道部之上，与所述脊部的侧面和所述阶台部的侧面中的至少一者分离地设置，由树脂形成；顶棚部，其具有第1部分和第2部分，由树脂形成，该第1部分设置于所述支撑部之上，该第2部分与所述第1部分相连，隔着中空部而位于所述沟道部之上；以及金属层，其设置于所述顶棚部之上，并且与所述脊部的上表面连接。

【技术特征摘要】
2016.06.09 JP 2016-1153351.一种激光器元件，其特征在于，具有：脊部，其以条带状隆起；沟道部，其与所述脊部相邻，从两侧夹着所述脊部，高度低于所述脊部；阶台部，其与所述沟道部的与所述脊部相反侧相邻，形成得比所述沟道部高；支撑部，其设置于所述沟道部之上，与所述脊部的侧面和所述阶台部的侧面中的至少一者分离地设置，由树脂形成；顶棚部，其具有第1部分和第2部分，由树脂形成，该第1部分设置于所述支撑部之上，该第2部分与所述第1部分相连，隔着中空部而位于所述沟道部之上；以及金属层，其设置于所述顶棚部之上，并且与所述脊部的上表面连接。2.根据权利要求1所述的激光器元件，其特征在于，所述顶棚部具有第3部分，该第3部分与所述第1部分或者所述第2部分相连，设置于所述阶台部之上。3.根据权利要求1或2所述的激光器元件，其特征在于，所述支撑部是与所述脊部的侧面和所述阶台部的侧面这两者分离地设置的。4.根据权利要求1至3中任一项所述的激光器元件，其特征在于，具有：填埋部，其设置于所述沟道部之上，在俯视观察时与所述支撑部的两端连接，与所述脊部的侧面和所述阶台部的侧面这两者接触，由树脂形成；以及第4部分，其作为所述顶棚部的一部分而形成，设置于所述填埋部之上，与所述第1部分或者所述第2部分相连。5.根据权利要求4所述的激光器元件，其特征在于，所述填埋部沿激光器元件的端面而设置。6.根据权利要求4所述的激光器元件，其特征在于，所述填埋部设置于比激光器元件的端面靠内侧的位置。7.根据权利要求1或2所述的激光器元件，其特征在于，所述支撑部与所述脊部的侧面接触。8.根据权利要求1或2所述的激光器元件，其特征在于，所述支撑部具有：与所述脊部的侧面接触的部分；以及既不与所述脊部的侧面接触也不与所述阶台部的侧面接触的部分。9.根据权利要求1所述的激光器元件，其特征在于，所述顶棚部设置于所述沟道部的上方，不设置于所述阶台部的上方。10.根据权利要求1至9中任一项所述的激光器元件，其特征在于，所述阶台部由树脂形成。11.根据权利要求2所述的激光器元件，其特征在于，所述金属层存在于一方的所述阶台部的上方，不存在于另一方的所述阶台部的上方。12.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田和弘，南政史，中村直干，森田大介，
申请(专利权)人：三菱电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP