The invention discloses a method for forming a gate structure and a three-dimensional memory in the three-dimensional memory includes forming a storage structure on a semiconductor substrate wherein the storage structure positioned on the semiconductor substrate includes a plurality of insulating layers; through a plurality of insulating layers forming a plurality of grooves, groove between two adjacent insulating layer; depositing a barrier layer in the trench; the barrier layer deposited on the first polysilicon; heat treatment is carried out on the first polysilicon, the first polysilicon after heat treatment; the first P in situ doping on the first polysilicon after heat treatment; the first polysilicon etching the first P doped in situ; and after the first polysilicon doped first in situ etching P after the deposition of W. The method of this invention can significantly reduce the stress on the wafer, eliminate the suspended key on the grain boundary, and significantly improve the carrier mobility and electrical conductivity.
【技术实现步骤摘要】
在三维存储器中形成栅结构的方法及三维存储器
本专利技术涉及一种三维存储器的制备方法,特别涉及一种在三维存储器中形成栅结构的方法及三维存储器。
技术介绍
随着平面型存储器的不断发展,半导体的生产工艺取得了巨大进步。但是近几年来,平面型存储器的发展遇到了各种挑战,为了克服平面存储器的诸多缺陷,应运而生的是三维存储器。目前比较先进的三维存储器制造方法记载于中国专利公开文本CN106847820A中。在该现有技术文献中,提出了一种新的制造三维存储器的方法,其中必要的制备工艺包括:在绝缘层之间形成栅结构,其中,该栅结构从内到外依次包括高K介质阻挡层、种子层、金属钨。但是这样的结构以及与该结构紧密相连的制造工艺存在如下缺陷:直接沉积阵列共源(ACS)钨(金属钨)导致晶片中存在巨大的应力,该应力又会导致一系列问题,例如:翘曲引发的加工过程中晶片滑移、印刷散焦等问题。如何降低晶片中存在的应力,是目前三维存储器制造领域亟需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种在三维存储器中形成栅结构的方法,从而克服现有技术中的缺点。本专利技术的目的是通过以下技术方案实现的。一种在三维存储器中形成栅结构的方法,该方法包括:在半导体衬底上形成存储结构,其中,存储结构包括位于半导体衬底上的多个绝缘层;贯穿多个绝缘层形成多个沟槽,沟槽位于相邻两个绝缘层之间;在沟槽中沉积阻挡层;在阻挡层上沉积第一多晶硅;对第一多晶硅进行热处理,得到热处理之后的第一多晶硅;对热处理之后的第一多晶硅进行第一P原位掺杂;刻蚀第一P原位掺杂后的第一多晶硅;以及在经过刻蚀的第一P原位掺杂后的第一多晶硅上沉积W。 ...
【技术保护点】
一种在三维存储器中形成栅结构的方法,其特征在于,所述方法包括:在半导体衬底上形成存储结构,其中,所述存储结构包括位于所述半导体衬底上的多个绝缘层;贯穿多个所述绝缘层形成多个沟槽,所述沟槽位于相邻两个所述绝缘层之间;在所述沟槽中沉积阻挡层;在所述阻挡层上沉积第一多晶硅;对所述第一多晶硅进行热处理,得到热处理之后的第一多晶硅;对所述热处理之后的第一多晶硅进行第一P原位掺杂;刻蚀所述第一P原位掺杂后的第一多晶硅;以及在经过刻蚀的第一P原位掺杂后的第一多晶硅上沉积W。
【技术特征摘要】
1.一种在三维存储器中形成栅结构的方法,其特征在于,所述方法包括:在半导体衬底上形成存储结构,其中,所述存储结构包括位于所述半导体衬底上的多个绝缘层;贯穿多个所述绝缘层形成多个沟槽,所述沟槽位于相邻两个所述绝缘层之间;在所述沟槽中沉积阻挡层;在所述阻挡层上沉积第一多晶硅;对所述第一多晶硅进行热处理,得到热处理之后的第一多晶硅;对所述热处理之后的第一多晶硅进行第一P原位掺杂;刻蚀所述第一P原位掺杂后的第一多晶硅;以及在经过刻蚀的第一P原位掺杂后的第一多晶硅上沉积W。2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:在对所述热处理之后的第一多晶硅进行第一P原位掺杂之后,在所述第一P原位掺杂后的第一多晶硅上沉积第二多晶硅;对所述第二多晶硅进行热处理,得到热处理之后的第二多晶硅;对所述热处理之后的第二多晶硅进行第二P原位掺杂;刻蚀所述第二P原位掺杂后的第二多晶硅;以及在经过刻蚀的第二P原位掺杂后的第二多晶硅上沉积W。3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,沉积所述第一多晶硅和第二多晶硅的...
【专利技术属性】
技术研发人员:肖莉红,吕震宇,陶谦,姚兰,
申请(专利权)人:长江存储科技有限责任公司,
类型:发明
国别省市:湖北,42
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。