一种撕金去胶工艺的金属回收系统技术方案

本发明专利技术涉及一种金属回收系统，具体地说是一种撕金去胶工艺的金属回收系统。包括单元腔体、一级过滤系统及二级过滤系统，其中一级过滤系统设置于单元腔体内，用于金属的初步回收；所述二级过滤系统包括废液金属回收装置和废气金属回收装置；所述废液金属回收装置通过排液管路与单元腔体的排废接口连接，用于废液的金属回收；所述废气金属回收装置通过排风管路与单元腔体的排风接口连接，用于废气的金属回收。本发明专利技术提高了撕金去胶设备的贵金属的回收效率，减少资源浪费；同时也为可节省人力资源，直接减轻企业负担，为企业增加新的增长点。

A metal recovery system with a tearing gold degumming process

The invention relates to a metal recovery system, in particular a metal recovery system with a tearing gold degumming process. Including a unit cavity, filtering system and two stage filtration system, a filter system is arranged in the cell cavity, for preliminary recycling of metal; the two stage filtration system includes waste metal recycling metal recycling device and exhaust device; the waste metal recycling device through the drain pipe and the exhaust unit cavity. Waste interface for metal recycling of waste liquid; the waste metal recycling device through the exhaust pipe and the exhaust unit cavity interface for metal recovery of exhaust gas. The invention improves the recovery efficiency of the precious metals of the gold ripping and degumming equipment, reduces the waste of resources, and at the same time, can save human resources, directly lighten the burden of enterprises, and increase the new growth point for enterprises.

【技术实现步骤摘要】
一种撕金去胶工艺的金属回收系统
本专利技术涉及一种金属回收系统，具体地说是一种撕金去胶工艺的金属回收系统。
技术介绍
在半导体撕金去胶工艺过程中，由于晶圆表面的镀层往往为金、银等贵金属，经过去胶、撕金后，金属膜片及细小颗粒都留在了单元腔体及排废管路中，贵金属的回收成为此道工艺亟待解决的问题。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种撕金去胶工艺的金属回收系统。该系统通过一级、二级过滤结构，能更有效的提高金属回收效率。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的：一种撕金去胶工艺的金属回收系统，包括单元腔体、一级过滤系统及二级过滤系统，其中，所述一级过滤系统设置于单元腔体内，用于撕金去胶工艺的初步金属回收；所述二级过滤系统包括废液金属回收装置和废气金属回收装置；所述废液金属回收装置通过排液管路与单元腔体的排废接口连接，用于废液的金属回收；所述废气金属回收装置通过排风管路与单元腔体的排风接口连接，用于废气的金属回收。所述一级过滤系统包括排风过滤网和排废口过滤网，所述排风过滤网和排废口过滤网分别设置于排风接口和排废接口上。所述一级过滤系统进一步包括金属膜挡板，所述金属膜挡板设置于单元腔体内晶圆的周围。所述废气金属回收装置包括气液分离盒和气液分离过滤网，所述气液分离过滤网设置于气液分离盒内，所述气液分离盒的顶部和底部分别设有气液分离排风接口和气液分离排液口，其中气液分离排风接口与单元腔体的排风接口连通，所述气液分离排液口与金属沉淀池连通。所述废液金属回收装置包括金属沉淀池和过滤提篮，所述过滤提篮设置于金属沉淀池内，所述金属沉淀池的侧壁上由上至下依次设有废液溢流口、废液排出口及废液泵出口。所述过滤提篮通过螺栓固定在金属沉淀池的内壁上、并处于悬吊状态。所述排风接口为两个，两个排风接口对称设置于单元腔体的两侧。所述单元腔体的底部设有两个排废接口，两个排废接口通过管路与金属沉淀池的进液口连通。本专利技术的优点与积极效果为：1.本专利技术回收系统通过一级、二级过滤结构，由废液、废气回收，大大提高了撕金去胶设备的贵金属的回收效率，减少资源浪费，响应了现代工业的节约理念；同时也为可节省人力资源，直接减轻企业负担，为企业增加新的增长点。2.本专利技术由一级、二级回收组成，在后期维护时，能对不同颗粒金属分别进行回收。3.本专利技术多级回收均由过滤网组成，便于安装、维护，提高了生产效率。附图说明图1为本专利技术的结构示意图；其中：1为喷嘴，2为单元腔体，3为晶圆，4为排风过滤网，5为排风接口，6为旋转电机，7为金属沉淀池，8为过滤提篮，9为金属膜挡板，10为去胶臂，11为排废口过滤网，12为排废接口，13为气液分离盒排风接口，14气液分离过滤网，15为气液分离器盒，16为气液分离排液口，17为废液溢流口，18为废液排出口，19为废液泵出口。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述。如图1所示，本专利技术提供的一种撕金去胶工艺的金属回收系统，包括单元腔体2、一级过滤系统及二级过滤系统，其中，所述一级过滤系统设置于单元腔体2内，用于撕金去胶工艺的初步金属回收；所述二级过滤系统包括废液金属回收装置和废气金属回收装置；所述废液金属回收装置通过排液管路与单元腔体2的排废接口12连接，用于废液的金属回收；所述废气金属回收装置通过排风管路与单元腔体2的排风接口5连接，用于废气的金属回收。所述一级过滤系统包括排风过滤网4、金属膜挡板9及排废口过滤网11，其中排风过滤网4和排废口过滤网11分别设置于排风接口5和排废接口12上，所述排风过滤网4和排废口过滤网11对剥离大颗粒金属及金属膜进行回收。所述金属膜挡板9设置于单元腔体2内晶圆3的周围，在撕金去胶工艺中，所剥离金属膜，在离心力作用下，粘附到金属膜挡板9上，后期维护时方便清理回收。所述废气金属回收装置包括气液分离盒15和气液分离过滤网14所述气液分离过滤网14通过螺栓固定在气液分离盒15内。所述气液分离盒15的顶部和底部分别设有气液分离排风接口13和气液分离排液口16，其中气液分离排风接口13通过排风管路与单元腔体2的排风接口5连通，所述气液分离排液口16通过排液管路与金属沉淀池7的进液口连通。所述废液金属回收装置包括金属沉淀池7和过滤提篮8，所述过滤提篮8设置于金属沉淀池7内，所述金属沉淀池7的侧壁上由上至下依次设有废液溢流口17、废液排出口18及废液泵出口19。废液溢流口17为当金属沉淀池7收集的废液，不能及时从废液排出口18排出时，由废液溢流口17排走废液，避免废液溢污染其他区域。废液泵出口19为当进行一段时间工艺后，如需更换去胶液，则需使用泵，从废液泵出口19把废液排掉。本专利技术的一实施例中，所述过滤提篮8通过螺栓固定在金属沉淀池7的内壁上、并处于悬吊状态。所述排风接口5为两个，两个排风接口5对称设置于单元腔体2的两侧，两个排风接口5通过管路与所述气液分离盒15的气液分离排风接口13连通。所述单元腔体2的底部设有两个排废接口12，两个排废接口12通过管路与金属沉淀池7的进液口连通。所述二级沉淀过滤系统，将剥离金属颗粒通过物理沉淀作用过滤回收。本专利技术的工作原理为：在撕金去胶工艺过程中，晶圆3在旋转电机6的作用下高速旋转，去胶臂10带动喷嘴1在晶圆表面进行撕金去胶工艺，在去胶液的作用下，附着在晶圆3之上的金属膜被剥离下来，金属膜随着去胶液在单元腔体2内流动，较大颗粒的金属在排废口过滤网11过滤作用下，留在单元腔体2内。同时由于排风抽取及排风口过滤网4的作用，一部分的金属膜被过滤下来，这样对金属膜形成一级过滤回收。较小颗粒金属再由废液流经排废接口12汇入金属沉淀池7内，在废液入口处设有过滤提篮8，过滤提篮8内设有二级过滤网，能对上述废液中较小颗粒的金属进行再次的过滤回收。排风管路由排风接口5带来的废气，其中带有较小颗粒的金属，汇入气液分离盒15内。在气液分离盒15内，气液分离过滤网14对上述颗粒金属进行再次过滤，达到二次回收目的，积留下的废液，经气液分离排液口16再汇入金属沉淀池7内。本专利技术能有效的对撕金去胶工艺中剥离的金属进行过滤回收，节约成本，为企业创造价值。以上所述仅为本专利技术的实施方式，并非用于限定本专利技术的保护范围。凡在本专利技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进、扩展等，均包含在本专利技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：包括单元腔体(2)、一级过滤系统及二级过滤系统，其中，所述一级过滤系统设置于单元腔体(2)内，用于撕金去胶工艺的初步金属回收；所述二级过滤系统包括废液金属回收装置和废气金属回收装置；所述废液金属回收装置通过排液管路与单元腔体(2)的排废接口(12)连接，用于废液的金属回收；所述废气金属回收装置通过排风管路与单元腔体(2)的排风接口(5)连接，用于废气的金属回收。

【技术特征摘要】
1.一种撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：包括单元腔体(2)、一级过滤系统及二级过滤系统，其中，所述一级过滤系统设置于单元腔体(2)内，用于撕金去胶工艺的初步金属回收；所述二级过滤系统包括废液金属回收装置和废气金属回收装置；所述废液金属回收装置通过排液管路与单元腔体(2)的排废接口(12)连接，用于废液的金属回收；所述废气金属回收装置通过排风管路与单元腔体(2)的排风接口(5)连接，用于废气的金属回收。2.根据权利要求1所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述一级过滤系统包括排风过滤网(4)和排废口过滤网(11)，所述排风过滤网(4)和排废口过滤网(11)分别设置于排风接口(5)和排废接口(12)上。3.根据权利要求2所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述一级过滤系统进一步包括金属膜挡板(9)，所述金属膜挡板(9)设置于单元腔体(2)内晶圆(3)的周围。4.根据权利要求1所述的撕金去胶工艺的金属回收系统，其特征在于：所述废气金属回收装置包括气液分离盒(15)和气液分离过滤网(14)，所述气液分离过滤网(14)设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿克涛，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21