一种磁控多弧靶制造技术

一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，其特征在于，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异，磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。本实用新型专利技术通过磁铁的排列分布，形成网格状的弧斑线，轰击电流均匀分布，消除了飞弧烧损工件的现象。

A magnetic controlled multi arc target

A multi arc magnetron target, including cylindrical tube target, which is characterized in that the cylindrical target is provided with a magnet pole and a water inlet pipe, the water inlet pipe extends to the cylindrical tube target, magnet pole is sheathed on the water inlet pipe, a magnet pole and a magnet is installed on the group, the group is composed of four magnets a magnet, the four magnets are respectively arranged on the four side of the magnet pole, four magnets are magnets in the group crossed distribution, opposite poles of two adjacent magnets, magnet group comprises at least three groups, and each group was arranged. Through the arrangement and distribution of magnets, the utility model forms a grid shaped arc spot, and the bombardment current is uniformly distributed to eliminate the phenomenon that the workpiece is damaged by the arcing.

【技术实现步骤摘要】
一种磁控多弧靶
本技术一种靶材，具体地说是一种磁控多弧靶。
技术介绍
真空镀膜采用的多弧靶，通常为圆形小平面靶，焊接的工作面积较小。工作时，由于焊接的工作面积小，使得单位面积轰击电流较大，导致镀膜层的金属颗粒较为粗大，并且轰击电流不均匀，使得焊接效果较差。严重时会出现金属液滴，或者飞弧现象进而损坏工件。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供为了解决上述技术问题，本技术采取以下技术方案：一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。所述磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。所述相邻的磁铁组中位于同一磁铁极靴侧面上的磁铁的极性相异。所述磁铁组共设置五组，由上往下依次为第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组、第四磁铁组和第五磁铁组，各磁铁组上下紧密接触连接。所述第一磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第二磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第三磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第四磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第五磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极。所述磁铁为铁淦氧磁铁。本技术通过设置磁铁组中各磁铁的排列分布，使其呈十字形交叉排列分布，形成网格状的弧斑线，单位面积上弧斑线较长，使得单位面积上的轰击电流较小，使得镀膜层的金属颗粒细小且均匀，消除了飞弧烧损工件的现象。附图说明附图1为本技术磁铁组的排列分布示意图；附图2为附图1的A-A向剖面示意图；附图3为本技术产生的弧斑线的示意图。具体实施方式为了便于本领域技术人员的理解，下面结合附图对本技术作进一步的描述。如附图1-3所示，本技术揭示了一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材1，所述圆柱管靶材1内设有磁铁极靴2和进水管4，该进水管4延伸至圆柱管靶材1外，磁铁极靴2固定套装在进水管4上，磁铁极靴2上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁3构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。磁铁优选为铁淦氧磁铁。所述磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。所述相邻的磁铁组中位于同一磁铁极靴侧面上的磁铁的极性相异。所述磁铁组共设置五组，由上往下依次为第一磁铁组、第二磁铁组、第三磁铁组、第四磁铁组和第五磁铁组，各磁铁组上下紧密接触连接。第一磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第二磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第三磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极，第四磁铁组中的四个磁铁的极性分别为N极、S极、N极和S极，第五磁铁组中的四个磁铁的极性分别为S极、N极、S极和N极。本技术中，由外部的驱动机构带动圆柱管靶材匀速转动，磁铁在圆柱靶管材内保持不动。冷却水经冷却水进管进入到圆柱靶管内，并且经换热后的冷却水从冷却水出口排出，形成循环。通过呈网格状的弧斑线焊接，使轰击电流均匀分布，保证镀膜层上的金属颗粒细小且均匀，不会出现飞弧烧损工件的现象。需要说明的是，以上仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，但是凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，其特征在于，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。

【技术特征摘要】
1.一种磁控多弧靶，包括圆柱管靶材，其特征在于，所述圆柱靶材内设有磁铁极靴和进水管，该进水管延伸至圆柱管靶材外，磁铁极靴固定套装在进水管上，磁铁极靴上安装有磁铁组，该磁铁组由四个磁铁构成，该四个磁铁分别安装在磁铁极靴的四个侧面，磁铁组中的四个磁铁呈十字形交叉分布，相邻两个磁铁的极性相异。2.根据权利要求1所述的磁控多弧靶，其特征在于，所述磁铁组至少设置三组，并且各组呈上下设置。3.根据权利要求2所述的磁控多弧靶，其特征在于，所述相邻的磁铁组中位于同一磁铁极靴侧面上的磁铁的极性相异。4.根据权利要求3所述的磁控多弧靶，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘广杰，
申请(专利权)人：河源圣飞斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44