一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
本技术一种磁控旋转靶，具体地说是一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置。
技术介绍
磁控旋转靶中的磁铁通常采用钕铁硼磁铁，该类型的磁铁具有较强的磁场，对于焊接能够承受更大的电流。但是，该类型的磁铁如果浸泡在水中，也极易锈蚀进而导致损坏。为了解决此问题，通常是在该磁铁表面镀上一层镍或者涂覆其他防锈涂层，经试验，此举虽然能够起到一定的防锈作用，但是实际使用，防锈效果依然不佳，在长时间使用之后，磁铁依然会生锈进行而引发损坏。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供磁铁不会受到冷却水的侵蚀而生锈的磁控旋转靶磁铁的防锈装置。为了解决上述技术问题，本技术采取以下方案：一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置，包括安装在旋转靶管内的磁铁，旋转靶管内设有进水管和出水管，所述旋转靶管内设有封闭式不锈钢套筒，磁铁设在该不锈钢套筒内，进水管从不锈钢套筒上端伸入并从该不锈钢套筒下端穿出，进水管为不锈钢进水管。所述不锈钢套筒包括不锈钢筒、上端封板和下端封板，上端封板固定安装在不锈钢筒上端，下端封板固定安装在不锈钢筒下端，该不锈钢筒、上端封板和下端封板围合成一个封闭空间。所述上端封板和下端封板均通过焊接方式与不锈钢筒固定安装。所述进水管与上端封板和下端封板之间以焊接方式固定安装。所述上端封板和下端封板与不锈钢筒及进水管之间的焊接方式为氩弧焊焊接方式。所述进水管与旋转靶管的接触区域还设有密封圈。本技术通过设置一个封闭式的不锈钢套筒，将磁铁安装在该不锈钢套筒，使磁铁与冷却水隔绝，从而避免了冷却水与磁铁的接触，保证磁铁不会因受到冷却水的浸泡而生锈，有效延长磁铁的使用寿命。附图说明附图1为本技术剖面结构示意图。...
【技术保护点】
一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置，包括安装在旋转靶管内的磁铁，旋转靶管内设有进水管和出水管，其特征在于，所述旋转靶管内设有封闭式不锈钢套筒，磁铁设在该不锈钢套筒内，进水管从不锈钢套筒上端伸入并从该不锈钢套筒下端穿出，进水管为不锈钢进水管。
【技术特征摘要】
1.一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置，包括安装在旋转靶管内的磁铁，旋转靶管内设有进水管和出水管，其特征在于，所述旋转靶管内设有封闭式不锈钢套筒，磁铁设在该不锈钢套筒内，进水管从不锈钢套筒上端伸入并从该不锈钢套筒下端穿出，进水管为不锈钢进水管。2.根据权利要求1所述的磁控旋转靶磁铁的防锈装置，其特征在于，所述不锈钢套筒包括不锈钢筒、上端封板和下端封板，上端封板固定安装在不锈钢筒上端，下端封板固定安装在不锈钢筒下端，该不锈钢筒、上端封板和下端封板围合成一个封闭空间。3.根...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘广杰，
申请(专利权)人：河源圣飞斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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