下载一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置的技术资料

文档序号:14500623

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本实用新型公开了一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置,包括安装在旋转靶管内的磁铁,旋转靶管内设有进水管和出水管,所述旋转靶管内设有封闭式不锈钢套筒,磁铁设在该不锈钢套筒内,进水管从不锈钢套筒上端伸入并从该不锈钢套筒下端穿出,进水管为不锈钢进水管,不...
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