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一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置制造方法及图纸
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下载一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置的技术资料
文档序号:14500623
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本实用新型公开了一种磁控旋转靶磁铁的防锈装置,包括安装在旋转靶管内的磁铁,旋转靶管内设有进水管和出水管,所述旋转靶管内设有封闭式不锈钢套筒,磁铁设在该不锈钢套筒内,进水管从不锈钢套筒上端伸入并从该不锈钢套筒下端穿出,进水管为不锈钢进水管,不...
该专利属于河源圣飞斯科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河源圣飞斯科技有限公司授权不得商用。
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