三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准装置制造方法及图纸

三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准装置属于精密测量技术领域。其校准装置以三光轴激光干涉仪作为运动基准，直线电机作为宏动驱动元件，气浮导轨作为宏动导向元件，直线光栅尺作为宏动反馈元件进行宏动定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，补偿宏动定位误差。利用三光轴激光干涉仪补偿宏微定位平台运动的俯仰与偏航误差；本发明专利技术可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。

Calibration method and apparatus for measuring the inductance sensor three-axis laser interferometer

Calibration method and apparatus for measuring the inductance sensor three-axis laser interferometer which belongs to the field of precision measurement technology. The calibration method and device with three-axis laser interferometer as the benchmark, the linear motor as macro driving element, air guide as macro guiding element, linear grating as feedback element of macro macro positioning; the piezoelectric ceramic displacement Taiwan micro positioning, macro positioning error compensation. Using three-axis laser interferometer to compensate macro micro positioning error of pitch and yaw motion of the platform; the invention can effectively solve the contradiction between the calibration of displacement sensor device stroke and precision, large stroke and high precision inductance displacement sensor static and dynamic calibration.

【技术实现步骤摘要】
三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准方法与装置
本专利技术属于精密测量
，主要涉及一种三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准方法与装置。
技术介绍
目前，我国大型高速回转装备没有超精密测量手段，装配精度无法保证，装配效率低下，发动机振动噪声等，这些都是制约我国军事工业和国民经济发展的重大难题。大型高速回转装备主要指各类大型高端燃气涡轮发动机，主要包括航空发动机、舰船用燃气轮机和高性能电站燃机。目前，航空发动机行业已成为世界航空强国的军事工业和国民经济的支柱产业。航空发动机在追求高性能的前提下，还要追求产品的高质量、高可靠性和长工作寿命，将两个都十分困难而又相互矛盾的目标兼顾起来，且同时得到提高，是十分困难的；此外航空发动机工作于极端环境，关键零部件都是在高温、高压、高负载力下工作，因此航空发动机的设计和制造的难度进一步加大。发动机振动是影响飞机安全的一个重要因素，也是反应发动机性能的一项重要指标。发动机涡轮部件转速高、质量大，是发动机的一个主要振源。为了降低此影响，除了在发动机动平衡测试过程中加以消除，还必须严格控制其装配过程，因为发动机装配是动平衡的前一步骤，由装配体形位误差精本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(3)，电感位移传感器(3)采用传感器夹持臂(2)进行夹持固定，调整电感位移传感器(3)的位置，保证电感位移传感器(3)的测针(3a)运动轴线与三光轴激光干涉仪(11)的光束二(11b)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(9)上，传感器夹持臂(2)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构由宏动定位平台与微动定位平台组成，宏动定位平台由气浮导轨(13)、直线电机(12)、直线光栅尺(6)和直线光栅尺读数头(7)组成，...

【技术特征摘要】
1.一种三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(3)，电感位移传感器(3)采用传感器夹持臂(2)进行夹持固定，调整电感位移传感器(3)的位置，保证电感位移传感器(3)的测针(3a)运动轴线与三光轴激光干涉仪(11)的光束二(11b)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(9)上，传感器夹持臂(2)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构由宏动定位平台与微动定位平台组成，宏动定位平台由气浮导轨(13)、直线电机(12)、直线光栅尺(6)和直线光栅尺读数头(7)组成，宏动定位平台安装在基台(9)上，保证宏动定位平台运动方向与三光轴激光干涉仪(11)的光束二(11b)平行，所述直线电机(12)的动子(12a)与气浮导轨(13)的滑块(13a)固连，保证直线电机(12)的推力作用点靠近气浮导轨(13)的运动轴线，直线电机(12)的定子(12b)安装在气浮导轨(13)的导轨座(13b)内，直线光栅尺(6)贴在气浮导轨(13)的滑块(13a)外侧面，保证直线光栅尺(6)与气浮导轨(13)的运动方向平行，光栅尺支撑板(8)安装在基台(9)上，直线光栅尺读数头(7)安装在光栅尺支撑板(8)的侧面，保证直线光栅尺读数头(7)与直线光栅尺(6)等高且平行，微动定位平台由压电陶瓷位移台(15)、传感器校准板(4)和测量反射镜(16)组成，微动定位平台安装在宏动定位平台上，保证微动定位平台的运动方向与三光轴激光干涉仪(11)的光束二(11b)平行，微动台转接板(5)与压电陶瓷位移台(15)固连，测量反射镜(16)位于三光轴激光干涉仪(11)的测量光路上，且安装在微动台转接板(5)的前端上，传感器校准板(4)安装在微动台转接板(5)的后端上，保证传感器校准板(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，王雷，孙传智，赵勃，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23