超声波电机驱动主从结构电感传感器校准装置制造方法及图纸

超声波电机驱动主从结构电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以三光轴激光干涉仪作为运动基准，超声波电机作为驱动元件，驱动主动双V型槽导轨，主动双V型槽导轨与从动气浮导轨通过柔性铰链相连，驱动从动气浮导轨做直线运动，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用三光轴激光干涉仪补偿位移传递机构运动的俯仰与偏航误差；本发明专利技术可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。

Method and device for calibrating inductance sensor of master-slave structure driven by ultrasonic motor

The calibration method and device of ultrasonic motor driven master-slave inductance sensor belong to the field of precision measurement technology. The calibration method and device with three-axis laser interferometer as the benchmark, the ultrasonic motor as driving device, the driving double V groove guide, active double V groove guide rail and the guide rail from the air floating through a flexible hinge is driven from the air float guide rail linear movement, large stroke, fine positioning straight line grating as the feedback element. Pitch and yaw error compensation interferometer displacement transmission mechanism movement by three axis laser; the invention can effectively solve the contradiction between the calibration of displacement sensor device stroke and precision, large stroke and high precision inductance displacement sensor static and dynamic calibration.

【技术实现步骤摘要】
超声波电机驱动主从结构电感传感器校准方法与装置
本专利技术属于精密测量
，主要涉及一种超声波电机驱动主从结构电感传感器校准方法与装置。
技术介绍
目前，我国大型高速回转装备没有超精密测量手段，装配精度无法保证，装配效率低下，发动机振动噪声等，这些都是制约我国军事工业和国民经济发展的重大难题。大型高速回转装备主要指各类大型高端燃气涡轮发动机，主要包括航空发动机、舰船用燃气轮机和高性能电站燃机。目前，航空发动机行业已成为世界航空强国的军事工业和国民经济的支柱产业。航空发动机在追求高性能的前提下，还要追求产品的高质量、高可靠性和长工作寿命，将两个都十分困难而又相互矛盾的目标兼顾起来，且同时得到提高，是十分困难的；此外航空发动机工作于极端环境，关键零部件都是在高温、高压、高负载力下工作，因此航空发动机的设计和制造的难度进一步加大。发动机振动是影响飞机安全的一个重要因素，也是反应发动机性能的一项重要指标。发动机涡轮部件转速高、质量大，是发动机的一个主要振源。为了降低此影响，除了在发动机动平衡测试过程中加以消除，还必须严格控制其装配过程，因为发动机装配是动平衡的前一步骤，由装配体形位误差精本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声波电机驱动主从结构电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(3)，电感位移传感器(3)采用传感器夹持臂(2)进行夹持固定，调整电感位移传感器(3)的位置，保证电感位移传感器(3)的测针(3a)运动轴线与三光轴激光干涉仪(14)的光束二(14b)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(8)上，传感器夹持臂(2)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构采用超声波电机驱动主从导轨的结构，位移传递机构由主动双V型槽导轨(9)、从动气浮导轨(6)、柔性铰链(16)、校准平台、超声波电机...

【技术特征摘要】
1.一种超声波电机驱动主从结构电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(3)，电感位移传感器(3)采用传感器夹持臂(2)进行夹持固定，调整电感位移传感器(3)的位置，保证电感位移传感器(3)的测针(3a)运动轴线与三光轴激光干涉仪(14)的光束二(14b)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(8)上，传感器夹持臂(2)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构采用超声波电机驱动主从导轨的结构，位移传递机构由主动双V型槽导轨(9)、从动气浮导轨(6)、柔性铰链(16)、校准平台、超声波电机(18)、直线光栅尺(10)和直线光栅尺读数头(11)组成，主动双V型槽导轨(9)的主动导轨座(9b)安装在基台(8)上，所述主动双V型槽导轨(9)的主动滑块(9a)安装在主动导轨座(9b)上，保证主动双V型槽导轨(9)的运动方向与三光轴激光干涉仪(14)的光束二(14b)平行，所述超声波电机(18)的动子(18a)紧贴主动双V型槽导轨(9)的主动滑块(9a)，保证超声波电机(18)的摩擦力作用在主动双V型槽导轨(9)上时，主动双V型槽导轨(9)能沿运动轴线运动，超声波电机支座(19)安装在基台(8)上，超声波电机(18)的定子(18b)安装在超声波电机支座(19)上，直线光栅尺(10)贴在主动双V型槽导轨(9)的主动滑块(9a)外侧面，保证直线光栅尺(10)与主动双V型槽导轨(9)的运动方向平行，读数头支撑板(12)安装在基台(8)上，直线光栅尺读数头(11)安装在读数头支撑板(12)上，并位于主动双V型槽导轨(9)的主动滑块(9a)的外侧，保证直线光栅尺读数头(11)与直线光栅尺(10)等高且平行，从动导轨左支座(7)与从动导轨右支座(15)安装在基台(8)上，所述从动气浮导轨(6)的一端安装在从动导轨左支座(7)上，另一端安装在从动导轨右支座(15)上，从动气浮导轨(6)的从动导轨座(6b)与从动导轨左支座(7)固连，从动气浮导轨(6)的从动导轨座(6b)与从动导轨右支座(15)固连，并位于主动双V型槽导轨(9)上方，与主动双V型槽导轨(9)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵勃，王雷，谭久彬，孙传智，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23