The invention discloses a millimeter wave inductance structure, comprising an on-chip millimeter wave inductance and a shielding layer positioned below the millimeter wave inductance of the chip. The shielding layer comprises a plurality of shielding units scattered punctate distribution, each of the shielding unit from the top down from polysilicon or metal, the contact hole, the first type semiconductor well region and a first semiconductor type deep well region, the deep well region of each of the shielding unit are connected to the ground. The invention effectively solves the problem that the shielding layer structure in the prior art is limited to the traditional circular and square inductors and can not be effectively applied to any shape inductance.
【技术实现步骤摘要】
一种毫米波电感结构
本专利技术涉及集成电路领域,特别涉及一种集成电路片上毫米波电感结构。
技术介绍
电感是射频收发机前端中的重要无源器件,射频前端收发机模块需要用到集成电感的主要有:电感结构、功率放大器、振荡器、上变频混频器等。电感在这些模块中均扮演了重要的作用。以电感结构为例,电感结构是射频收发机中的重要模块之一,主要用于通讯系统中将接收自天线的信号放大,便于后级的接收机电路处理。正是由于噪声放大器位于整个接收机紧邻天线的最先一级,它的特性直接影响着整个接收机接收信号的质量。对于电感结构来说,电感的性能直接决定了电感结构的增益、噪声、阻抗匹配等。通常来说,Q值是一个电感性能的重要指标之一,较高的Q值意味着电感的储能损耗更少,也就是说电感与衬底之间的隔离较好。另外,对一个电感的评估除了电感值、Q值等常规性能指标外,在射频系统中还包括电感对其他电路的影响,如果电感本身与周围电路的隔离较好,那么电感在工作中将会不影响其他电路的工作。由于硅集成电感的面积通常较大,如何在保证电感性能的同时,加强电感与衬底、电感与其他电路的隔离,对于应用于射频前端的模块来说有着重要的意义。毫米波的波长为1~10毫米的电磁波称毫米波,它位于微波与远红外波相交叠的波长范围,因而兼有两种波谱的特点。毫米波在通信、雷达、制导、遥感技术、射电天文学、临床医学和波谱学方面都有重大的意义。利用大气窗口的毫米波频率可实现大容量的卫星-地面通信或地面中继通信。利用毫米波天线的窄波束和低旁瓣性能可实现低仰角精密跟踪雷达和成像雷达。在远程导弹或航天器重返大气层时,需采用能顺利穿透等离子体的毫米波实现通信 ...
【技术保护点】
一种毫米波电感结构,包括片上毫米波电感及位于所述片上毫米波电感下方的屏蔽层,其特征在于,所述屏蔽层包括多个呈散点状分布的屏蔽单元,每个所述屏蔽单元由上往下由多晶硅或金属、接触孔、第一半导体类型的阱区以及第一半导体类型的深阱区组成,其中,各所述屏蔽单元的深阱区相连并接地。
【技术特征摘要】
1.一种毫米波电感结构,包括片上毫米波电感及位于所述片上毫米波电感下方的屏蔽层,其特征在于,所述屏蔽层包括多个呈散点状分布的屏蔽单元,每个所述屏蔽单元由上往下由多晶硅或金属、接触孔、第一半导体类型的阱区以及第一半导体类型的深阱区组成,其中,各所述屏蔽单元的深阱区相连并接地。2.根据权利要求1所述的毫米波电感结构,其特征在于,所述多个屏蔽单元的尺寸相同。3.根据权利要求2所述的毫米波电感结...
【专利技术属性】
技术研发人员:李琛,任铮,王全,郭奥,
申请(专利权)人:上海集成电路研发中心有限公司,成都微光集电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:上海,31
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