双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置制造方法及图纸

双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，直线音圈电机作为驱动元件，气浮导轨作为导向元件，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用四个电容位移传感器补偿位移传递机构运动的俯仰与偏航误差；本发明专利技术可以有效解决位移传感器校准装置行程与精度之间的矛盾，实现大行程、高精度电感位移传感器的动静态校准。

Calibration method and apparatus for double floating guide rail of the inductance sensor

Calibration method and apparatus for double floating guide rail inductance sensor belongs to the field of precision measurement technology. The calibration method and device are based on the dual frequency laser interferometer as the motion reference, the linear voice coil motor as the driving element, the air floating guide as the guiding element, and the linear grating ruler as the feedback element for the large stroke and fine positioning. Using four capacitive displacement sensors to compensate the pitch and yaw error of the displacement transfer mechanism, the invention can effectively solve the contradiction between the stroke and the accuracy of the displacement sensor calibration device, and realize the dynamic and static calibration of the large displacement and high precision inductance displacement sensor.

【技术实现步骤摘要】
双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置
本专利技术属于精密测量
，主要涉及一种双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置。
技术介绍
目前，我国大型高速回转装备没有超精密测量手段，装配精度无法保证，装配效率低下，发动机振动噪声等，这些都是制约我国军事工业和国民经济发展的重大难题。大型高速回转装备主要指各类大型高端燃气涡轮发动机，主要包括航空发动机、舰船用燃气轮机和高性能电站燃机。目前，航空发动机行业已成为世界航空强国的军事工业和国民经济的支柱产业。航空发动机在追求高性能的前提下，还要追求产品的高质量、高可靠性和长工作寿命，将两个都十分困难而又相互矛盾的目标兼顾起来，且同时得到提高，是十分困难的；此外航空发动机工作于极端环境，关键零部件都是在高温、高压、高负载力下工作，因此航空发动机的设计和制造的难度进一步加大。发动机振动是影响飞机安全的一个重要因素，也是反应发动机性能的一项重要指标。发动机涡轮部件转速高、质量大，是发动机的一个主要振源。为了降低此影响，除了在发动机动平衡测试过程中加以消除，还必须严格控制其装配过程，因为发动机装配是动平衡的前一步骤，由装配体形位误差精度低导致振动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(6)，电感位移传感器(6)采用传感器夹持臂(5)进行夹持固定，调整电感位移传感器(6)的位置，保证电感位移传感器(6)的测针(6a)运动轴线与双频激光干涉仪(10)的测量光束(10a)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(11)上，传感器夹持臂(5)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构采用直线音圈电机(3)直接驱动气浮导轨(2)的结构，位移传递机构由气浮导轨(2)、直线音圈电机(3)、直线光栅尺(13)、直线光栅尺读...

【技术特征摘要】
1.一种双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置，其特征在于：该校准装置主要包括被校准位移传感器、位移传递机构和位移基准仪器三部分，所述被校准位移传感器为电感位移传感器(6)，电感位移传感器(6)采用传感器夹持臂(5)进行夹持固定，调整电感位移传感器(6)的位置，保证电感位移传感器(6)的测针(6a)运动轴线与双频激光干涉仪(10)的测量光束(10a)所在光轴共线，传感器支座(1)安装在基台(11)上，传感器夹持臂(5)固定在传感器支座(1)的侧面；所述位移传递机构采用直线音圈电机(3)直接驱动气浮导轨(2)的结构，位移传递机构由气浮导轨(2)、直线音圈电机(3)、直线光栅尺(13)、直线光栅尺读数头(11)和校准平台组成，所述气浮导轨(2)由气浮轴杆与气浮轴套组成，气浮轴套一(2e)与气浮轴套三(2f)套装在气浮轴杆一(2i)上，气浮轴套二(2g)与气浮轴套四(2h)套装在气浮轴杆二(2j)上，气浮轴杆安装座一(2a)与气浮轴杆安装座三(2c)安装在底板(16)上，所述气浮轴杆一(2i)一端固定在气浮轴杆安装座一(2a)上，另一端固定在气浮轴杆安装座三(2c)上，气浮轴杆安装座二(2b)与气浮轴杆安装座四(2d)安装在底板(16)上，所述气浮轴杆二(2j)一端固定在气浮轴杆安装座二(2b)上，另一端固定在气浮轴杆安装座四(2d)上，直线音圈电机(3)由音圈电机动子(3a)、音圈电机定子(3b)、音圈电机动子安装板(3c)和音圈电机定子安装板(3d)组成，音圈电机定子安装板(3d)安装在底板(16)上，所述音圈电机定子(3b)安装在音圈电机定子安装板(3d)上，音圈电机动子安装板(3c)与转接板(12)固连，音圈电机动子(3a)安装在音圈电机动子安装板(3c)上，并沿着气浮导轨(2)运动轴线对称安装，所述直线光栅尺(13)贴在转接板(12)底面，保证直线光栅尺(13)与气浮导轨(2)的运动方向平行，读数头支撑板(15)安装在底板(16)上，直线光栅尺读数头(14)安装在读数头支撑板(15)上，并位于直线光栅尺(13)下面，保证直线光栅尺读数头(14)与直线光栅尺(13)平行，所述校准平台由转接板(12)、传感器校准板(4)和测量反射镜(8)组成，转接板(12)与气浮轴套固连，测量反射镜(8)位于双频激光干涉仪(10)的测量光路上，并安装在转接板(12)上，传感器校准板(4)安装在转接板(12)上的另一端，保证传感器校准板(4)上的对准刻线(4a)在双频激光干涉仪(10)的测量光束(10a)所...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵勃，王雷，谭久彬，孙传智，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江,23