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双气浮导轨导向的电感传感器校准方法与装置属于精密测量技术领域。其校准方法与装置以双频激光干涉仪作为运动基准，直线音圈电机作为驱动元件，气浮导轨作为导向元件，直线光栅尺作为反馈元件进行大行程、精定位。利用四个电容位移传感器补偿位移传递机构运动...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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