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三光轴激光干涉仪测量的电感传感器校准装置属于精密测量技术领域。其校准装置以三光轴激光干涉仪作为运动基准，直线电机作为宏动驱动元件，气浮导轨作为宏动导向元件，直线光栅尺作为宏动反馈元件进行宏动定位；采用压电陶瓷位移台进行微动定位，补偿宏动定位...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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