改变探针卡探针阻抗值的方法技术
Method of changing impedance of probe card probe
The invention relates to a method for changing the impedance of the probe probe card, wafer probe card is a PCB board, hollowed out a square for the test area, placing the wafer probe test probe card from out to the outer zone, the probe card is uniformly distributed with a plurality of solder joint, solder joint outer ring for connection to the corresponding resource testing machine. The inner ring and the outer ring joint probe card corresponding to the solder joint and the tail of the inner ring of the probe connection, corresponding to the solder joints and the outer ring inner ring are connected to form a test path between the probe and the corresponding inner solder joining the dial switch group, probe resistance deviation compensation. It guarantees the accuracy of the wafer test, and also protects the power pin from the high current fuse needle which is not changed by the impedance value of the measuring path, thus protecting the probe and prolonging the service life of the probe card.
【技术实现步骤摘要】
改变探针卡探针阻抗值的方法
本专利技术涉及一种测试技术，特别涉及一种改变探针卡探针阻抗值的方法。
技术介绍
晶圆测试：使用测试设备测试在晶圆上的待测芯片。而探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口。集成电路在晶圆测试时，探针卡是必不可少的一部分。在探针卡制作过程中，希望探针的阻值能够越小越好,并且保持稳定，以达到良好的测试通路，而实际过程中探针卡探针的阻值是会随着使用时间和使用环境慢慢变化的，因为测试过程中需要不断的对探针卡进行磨针处理，去除一些不必要的沾污，并保证探针良好的电特性，这个磨针动作就会导致探针的实际阻值变化，对于敏感的电路测试会造成一定的影响。探针卡在使用中会出现如下问题：一、所有的探针卡在出厂时阻抗值都是比较好的，基本能保持一致，但经过一段时间的测试后，每根针会因为各种原因导致不同的磨损度，从而影响每根探针的阻值，导致测试精度发生变化，最终影响的是测试结果。二、探针的阻抗值变化可能导致针尖熔断，换针困难并且周期较长。探针卡的阻抗值不仅影响测试结果，还可能导致探针的损坏，因为一旦每根针的阻值发生了变化，那么电流就会从较小的探针流过，遇到大电流时就...
【技术保护点】
一种改变探针卡探针阻抗值的方法，晶圆测试探针卡为一PCB板，中间挖空的正方形为测试区，放置晶圆，探针从探针卡上伸出到测试区，探针卡外圈均匀分布数个焊点，外圈焊点用于连接到测试机的相应资源，探针卡内圈有与外圈对应的焊点，内圈的焊点与探针尾部的连接，内圈的焊点与外圈的焊点对应一一连接起来，形成一条条测试通路，其特征在于，在内圈的焊点和对应的探针之间加入拨码开关组，补偿探针的阻值偏差。
【技术特征摘要】
1.一种改变探针卡探针阻抗值的方法，晶圆测试探针卡为一PCB板，中间挖空的正方形为测试区，放置晶圆，探针从探针卡上伸出到测试区，探针卡外圈均匀分布数个焊点，外圈焊点用于连接到测试机的相应资源，探针卡内圈有与外圈对应的焊点，内圈的焊点与探针尾部的连接，内圈的焊点与外圈的...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玉龙，刘远华，许文文，罗斌，牛勇，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31
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