下载改变探针卡探针阻抗值的方法的技术资料

文档序号:16585931

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本发明涉及一种改变探针卡探针阻抗值的方法,晶圆测试探针卡为一PCB板,中间挖空的正方形为测试区,放置晶圆,探针从探针卡上伸出到测试区,探针卡外圈均匀分布数个焊点,外圈焊点用于连接到测试机的相应资源,探针卡内圈有与外圈对应的焊点,内圈的焊点与...
该专利属于上海华岭集成电路技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华岭集成电路技术股份有限公司授权不得商用。

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