集成电路直流测试探针设备制造技术

本实用新型专利技术提供了一种集成电路直流测试探针设备，其包括探针台和探针基座，探针基座的一端设有探针，探针台内设有电磁控件，探针基座的底部设有软磁材料层，当电磁控件通电时，电磁控件对软磁材料层产生电磁吸力，将探针基座固定在探针台上，当电磁控件断电时，电磁吸力消失。通过上述方式，本实用新型专利技术能够根据测试需要固定或移动探针基座。

DC test probe device for integrated circuits

The utility model provides an integrated circuit device includes a DC test probe, probe and probe base, one end of the base is provided with a probe probe, probe station equipped with electromagnetic control, the probe base bottom is provided with a layer of soft magnetic material, electromagnetic control when energized, the electromagnetic control of electromagnetic suction on a layer of soft magnetic material the base is fixed on the probe, the probe on the stage, when the electromagnetic control power, the electromagnetic force disappears. By the above method, the probe can be fixed or moved according to the test requirements.

【技术实现步骤摘要】
集成电路直流测试探针设备
本技术涉及电流测试装置
，特别是涉及一种集成电路直流测试探针设备。
技术介绍
当前，集成电路的体积越来越小、功能越来越多，更高的集成度导致芯片面积越来越小，所需的测试要求探针越来越细，各个探针间距越来越近，对集成电路测试，尤其是研发阶段大量应用的手动测试、在片测试提出新的挑战。与全自动测试相比，手动测试无需购买探针卡，无需进行测试编程，成本更低，测试更换方便，但测试时间较长，所以手动测试适合应用于产品研发阶段。在实际的手动探针测试过程中存在以下缺陷：由于探针越来越细，一旦操作不慎引起轻微碰撞即会损伤针尖，造成测试误差；手动测试一般用于研发阶段，所研发的产品尺寸不定，而探针针头伸缩量程一般较小，需移动探针基座，而现有的测试装置探针基座通常都是固定不动的。
技术实现思路
本技术主要解决的技术问题是提供一种集成电路直流测试探针设备，能够根据测试需要固定或移动探针基座。为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种集成电路直流测试探针设备，包括探针台和探针基座，所述探针基座的一端设有探针，所述探针台内设有电磁控件，所述探针基座的底部设有软磁材料层，当所述电磁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种集成电路直流测试探针设备，其特征在于，包括探针台和探针基座，所述探针基座的一端设有探针，所述探针台内设有电磁控件，所述探针基座的底部设有软磁材料层，当所述电磁控件通电时，所述电磁控件对所述软磁材料层产生电磁吸力，将所述探针基座固定在所述探针台上，当所述电磁控件断电时，所述电磁吸力消失。

【技术特征摘要】
1.一种集成电路直流测试探针设备，其特征在于，包括探针台和探针基座，所述探针基座的一端设有探针，所述探针台内设有电磁控件，所述探针基座的底部设有软磁材料层，当所述电磁控件通电时，所述电磁控件对所述软磁材料层产生电磁吸力，将所述探针基座固定在所述探针台上，当所述电磁控件断电时，所述电磁吸力消失。2.根据权利要求1所述的集成电路直流测试探针设备，其特征在于，所述探针基座内设有手动驱动单元，所述手动驱动单元用于驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈一峰，
申请(专利权)人：成都海威华芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川,51