The invention relates to a replaceable probe probe card module, and the assembling method of probe card and probe module replacement method, including probe module module, a substrate with a mounting hole first ladder like structure with a probe and the two step shaped structure, and a pressing piece, the two order of the first step the structure of the first transmission surface of the first joint surface and a first conductive contact of the two order, second ladder shaped structure of the second joint surface and a second probe and electrically connected with the second conductive contact transmission, probe module with first, second joint surface and the first and second transmission is connected inside face mounting hole can leave, the pressing piece presses the probe module second joint surface tightly abuts on the first joint surface and the first, second conductive contacts are electrically connected; thus, the probe card section The provincial assembly time, probe azimuth correction time and probe module replacement time.
【技术实现步骤摘要】
探针卡及其组装方法与探针模块更换方法
本专利技术与探针卡有关,特别是指一种可更换探针模块的探针卡,以及所述探针卡的组装方法与探针模块更换方法。
技术介绍
请参阅中国台湾专利编号I425218,所述专利所提供的探针卡主要包含有一电路基板、一固定在所述电路基板上的加固物板、一设置于所述加固物板上的调整板,以及一固定在所述调整板下的探针头模块,所述探针头模块穿过所述电路基板的一中央穿孔与所述加固物板的一中央穿孔。所述探针头模块主要包含有一设有多个探针的探针头,以及一承载所述探针头且由螺丝锁固的探针头固定座。各探针位于电路基板下方,用于点触待测物,并通过多个导电销及电线与所述电路基板上的连接器电性连接,进而通过所述连接器与一测试机台电性连接。前述探针头模块通过多个螺栓及螺帽锁固于所述调整板,所述调整板通过多个锁固螺丝固定于所述加固物板,且多个调整螺丝穿过所述调整板并顶抵于所述加固物板。当各锁固螺丝未将所述调整板紧抵于所述加固物板而使所述调整板与所述加固物板之间有空隙时,各所述调整螺丝可供使用者转动以使该处的调整板部位接近或远离所述加固物板,如此以费时地调整所述加固物板相对于所述电路基板的方位,以校正各所述探针相对于待测物的方位,使得各探针的针尖相对于待测物有可接受的平面度。然而,前述的探针卡结构复杂,因此组装上较费时,且其平面度校正过程也相当费时。此外,当探针损坏需更换探针头时,需将锁固所述探针头固定座的螺丝向下移除,以将所述探针头固定座与所述探针头拆卸下来,再更换探针头,此过程不易执行,必要时更需使用治具辅助;或者,先将所述探针头模块整个拆卸下来,再拆卸所述探针 ...
【技术保护点】
一种可更换探针模块的探针卡,其特征在于包含有:一基板模块,具有一安装孔以及一位于所述安装孔的一孔壁的第一阶梯状结构,所述第一阶梯状结构具有一第一阶部以及一第二阶部,所述第一阶部具有一第一接合面,所述第二阶部具有一第一传输面,所述第一传输面设有一第一导电接点;一探针模块,具有一探针及一第二阶梯状结构,所述第二阶梯状结构具有一第一阶部以及一第二阶部,所述第二阶梯状结构的第一阶部具有一第二接合面,所述第二阶梯状结构的第二阶部具有一第二传输面,所述第二传输面设有一与所述探针电性连接的第二导电接点,所述探针模块以所述第一接合面与所述第二接合面相接且所述第一传输面与所述第二传输面相面对的方式设置于所述基板模块的安装孔;一压制件,具有一压制部,所述压制部能离开地抵压于所述探针模块而使所述第二接合面紧抵于所述第一接合面且所述第一导电接点与所述第二导电接点电性连接。
【技术特征摘要】
2016.04.27 TW 1051131471.一种可更换探针模块的探针卡,其特征在于包含有:一基板模块,具有一安装孔以及一位于所述安装孔的一孔壁的第一阶梯状结构,所述第一阶梯状结构具有一第一阶部以及一第二阶部,所述第一阶部具有一第一接合面,所述第二阶部具有一第一传输面,所述第一传输面设有一第一导电接点;一探针模块,具有一探针及一第二阶梯状结构,所述第二阶梯状结构具有一第一阶部以及一第二阶部,所述第二阶梯状结构的第一阶部具有一第二接合面,所述第二阶梯状结构的第二阶部具有一第二传输面,所述第二传输面设有一与所述探针电性连接的第二导电接点,所述探针模块以所述第一接合面与所述第二接合面相接且所述第一传输面与所述第二传输面相面对的方式设置于所述基板模块的安装孔;一压制件,具有一压制部,所述压制部能离开地抵压于所述探针模块而使所述第二接合面紧抵于所述第一接合面且所述第一导电接点与所述第二导电接点电性连接。2.如权利要求1所述的可更换探针模块的探针卡,其特征在于:所述基板模块具有一位于所述第一阶梯状结构的所述第一阶部的对位槽,所述探针模块具有一自所述第二阶梯状结构的所述第一阶部凸出的凸出部,所述凸出部嵌置于所述对位槽内,且其中当所述探针模块位于所述安装孔内且受所述压制件抵压时,所述压制件的压制部抵压于所述探针模块对应于所述凸出部的位置。3.如权利要求2所述的可更换探针模块的探针卡,其特征在于:所述基板模块具有非对称地分布的多个所述对位槽,所述探针模块具有非对称地分布的多个所述凸出部,各所述凸出部为分别嵌置于各所述对位槽内。4.如权利要求1所述的可更换探针模块的探针卡,其特征在于:所述基板模块包含有一电路基板及一补强板,所述第一接合面位于所述补强板,所述第一传输面位于所述电路基板,且其中所述探针模块包含有一电路基板及一补强板,所述第二接合面位于所述探针模块的补强板,所述第二传输面位于所述探针模块的电路基板。5.如权利要求1所述的可更换探针模块的探针卡,其特征在于:所述压制件为一肘节夹钳,包含有一固定于所述基板模块的固定座,以及一能在所述肘节夹钳受使用者操作时相对所述固定座摆动的摆臂,所述压制部位于所述摆臂。6.一种可更换探针模块的探针卡的组装方法,其特征在于包含有下列步骤:提供一基板模块,所述基板模块具有一安装孔以及一位于所述安装孔的一孔壁的第一阶梯状结构,所述第一阶梯状结构具有一第一阶部以及一第二阶部,所述第一阶部具有一第一接合面,所述第二阶部具有一第一传输面,所述第一传输面设有一第一导电接点;提供一探针模块,所述探针模块具有一探针及一第二阶梯状结构,所述第二阶梯状结构具有一第一阶部以及一第二阶部,所述第二阶梯状结构的第一阶部具有一第二接合面,所述第二阶梯状结构的第二阶部具有一第二传输面,所述第二传输面设有一与所述探针电性连接的第二导电接点;将所述探针模块设置于所述基板模块的安装孔内,使得所述第一接合面与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈世欣,吴承恩,尤嘉祥,
申请(专利权)人:旺矽科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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