基于3D打印技术的掩膜制作装置及其掩膜制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基于3D打印技术的掩膜制作装置，包括：控制板、热床、喷嘴、步进电机、打印耗材和计算机；所述计算机与控制板连接，所述热床、喷嘴、步进电机均与控制板连接；所述步进电机与喷嘴连接；所述喷嘴与打印耗材连接；本发明专利技术还公开了一种应用于基于3D打印技术的掩膜制作装置的掩膜制作方法，包括以下步骤：1、生成掩膜的设计方案；2、制作掩膜的3D模型，并保存为STL格式；3、将生成STL格式的掩膜3D模型导入3D打印软件中，导出至SD卡中；4、将SD卡插入3D打印机中，选择要打印的掩膜3D模型；等打印完毕，进行分离工作，得到掩膜3D模型成品。具有简化了掩膜制作流程和提高了工作效率等优点。

Mask making device based on 3D printing technology and mask manufacturing method thereof

The invention discloses a device for producing a mask, 3D printing technology based on the control board, including: hot bed, nozzle, step motor, printing supplies and computer; the computer and the control board is connected, the hot bed, the nozzle and the step motor are connected with the control board; the stepping motor connected with the nozzle; the nozzle is connected with the printing supplies; the invention also discloses a mask used in 3D printing making mask making method based on the device, which comprises the following steps: 1, design plan of the mask; 2, to make the model of 3D mask, and saved as STL format; 3, will generate STL format mask 3D model into the 3D printing software, export to the SD card; 4, the SD card into the 3D printer, choose to mask 3D model printing; printing after separation, obtain a mask 3D product model . It has the advantages of simplifying the mask making process and improving the work efficiency.

【技术实现步骤摘要】
基于3D打印技术的掩膜制作装置及其掩膜制作方法
本专利技术涉及3D打印
，特别涉及一种基于3D打印技术的掩膜制作装置及其掩膜制作方法。
技术介绍
3D打印是快速成型技术的一种，是一种以数字模型文件为基础，运用粉末状金属或塑料等可粘合材料，通过逐层打印的方式来构造物体的技术。如今在模具制造、工业设计等领域被用于制造模型，并逐渐用于一些产品的直接制造。3D打印由于其便捷性，逐渐被企业所重视，并在样品制作、小规模生产与定制化产品中得到应用。在技术的不断发展中，随着3D打印的成本逐渐下降，其价值已被一般消费者所认可。在半导体制造中，许多工艺步骤需采用图形化技术，用于这些步骤的图形“底片”称为掩膜。传统的掩膜制作工艺对单次生产量要求大，每次修改就需要重新制做掩膜板，工艺复杂，供货周期长，价格昂贵，增加了产品研发的时间和资金成本，无法满足小批量产品制备及个性化快速定制的要求。
技术实现思路
本专利技术的首要目的在于克服现有技术的缺点与不足，提供一种基于3D打印技术的掩膜制作装置，该掩膜制作装置缩短了产品研发的时间，降低了资金成本，能满足小批量产品制备及个性化快速定制的要求。本专利技术的另一目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于3D打印技术的掩膜制作装置，其特征在于，包括：控制板、热床、喷嘴、步进电机、打印耗材和计算机；所述计算机与控制板连接，所述热床、喷嘴、步进电机均与控制板连接；所述步进电机与喷嘴连接；所述喷嘴与打印耗材连接；所述计算机用于制作掩膜3D模型、计算出打印步骤、将打印步骤传递控制板、加热所述热床完成预热以及控制步进电机与喷嘴，所述步进电机与喷嘴控制打印耗材的喷出位置与速度，以完成打印。

【技术特征摘要】
1.一种基于3D打印技术的掩膜制作装置，其特征在于，包括：控制板、热床、喷嘴、步进电机、打印耗材和计算机；所述计算机与控制板连接，所述热床、喷嘴、步进电机均与控制板连接；所述步进电机与喷嘴连接；所述喷嘴与打印耗材连接；所述计算机用于制作掩膜3D模型、计算出打印步骤、将打印步骤传递控制板、加热所述热床完成预热以及控制步进电机与喷嘴，所述步进电机与喷嘴控制打印耗材的喷出位置与速度，以完成打印。2.一种应用于权利要求1所述的基于3D打印技术的掩膜制作装置的掩膜制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1、由AutodeskCAD生成掩膜的设计方案；步骤2、采用SolidWorks并根据步骤1所述对掩膜设计方案，制作掩膜的3D模型，并保存为STL格式；步骤3、将步骤2生成STL格式的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑奕娜，李志航，文尚胜，谢雅文，吴津，黎丰霆，罗天乐，谢竹韵，杨剑，黄瑞怡，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：广东,44