薄膜扭矩传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，处于同一圆周对称位置上固接在转接上下法兰之间的二根扭柱，连接在二根扭柱上的二片弹性体组成，其特征在于：二片弹性体固定在二根扭柱的水平中心线上。弹性体采用溅射薄膜技术制造四个薄膜敏感元件。将四个应变敏感电阻组成惠斯通电桥，当转接上下法兰扭动时，扭柱受到扭力作用并传递到弹性体上的应变敏感电阻，应变敏感电阻阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量所述惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小，由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性体上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。

Thin film torque sensor

The utility model discloses a film torque sensor, which comprises an adapter flange, flange adapter, in the same position on the circular symmetric fixed two twisted column between the flange in the transfer, two pieces of elastic body is connected with the two twisted column composition, characterized in that: two pieces of elastic body is fixed in the horizontal center two twisted column line. Fabrication of four thin film sensing elements by using sputtered thin films. The four strain sensitive resistor Wheatstone bridge, when switching on the lower flange is twisted, twisted by column torsion and transfer to the strain sensitive resistor on the elastic body, the strain sensitive resistor changes, Wheatstone bridge circuit loses balance, the output signal through a bridge circuit by measuring the size of the corresponding value can be obtained the torque due to the sputtering technique, the strain sensitive element is fabricated directly in the elastic body, the hysteresis error and sensor repeatability error and the temperature drift error is greatly reduced, to improve the measurement accuracy of sensor.

【技术实现步骤摘要】
薄膜扭矩传感器
本技术涉及一种扭矩传感器，尤其涉及一种采用溅射薄膜技术制造应变敏感元件的薄膜扭矩传感器。
技术介绍
在机械传动系统中，扭矩是反映系统性能的重要参数之一。扭矩测量在航空航天、军工装备、工程机械、船舶、钻井、交通、冶金、发电、矿山设备等许多行业或领域得到了广泛的应用。扭矩测量方法有多种，其中传统的应变式测量方法应用非常广泛。应变式扭矩传感器是将金属应变片粘贴在弹性体上组成应变桥，当弹性体受扭矩变形后引起电桥电阻值变化，通过测量电阻值变化得到相应扭矩值的大小。现有的应变式扭矩传感器是使用有机胶将应变片粘贴在弹性体上，这种制造方法使传感器的综合性能受如下因素影响，这些影响因素有：弹性体粘贴表面清洁度、粘贴胶的性能、粘贴胶的厚度及均匀性、粘贴位置及其一致性等，另外，粘贴胶受环境温度、湿度以及长时间工作等因素影响也会导致传感器性能发生变化。这些影响主要导致传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差变大，从而降低传感器的测量精度。同时由于有机胶的存在，传感器工作环境受到一定的限制。同时传统的粘贴应变式扭矩传感器结构较复杂，加工也不容易，产品生产效率低，成本高。因此，开发一种测量精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰(1)，转接下法兰(2)，处于同一圆周对称位置上固接在所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)之间的二根扭柱(3)，连接在所述二根扭柱(3)上的二片弹性体(6)组成，其特征在于：所述二片弹性体(6)通过固定孔(61)前后对称固定在所述二根扭柱(3)的水平中心线上；所述二片弹性体(6)分别采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻(42)的四个薄膜敏感元件(4)；将所述四个应变敏感电阻(42)组成惠斯通电桥电路，当所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)扭动时，所述扭柱(3)受到扭力作用并传递到所述弹性体(6)上的应变敏感电阻(42)，所述应变敏感电阻(42)阻值发...

【技术特征摘要】
1.一种薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰(1)，转接下法兰(2)，处于同一圆周对称位置上固接在所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)之间的二根扭柱(3)，连接在所述二根扭柱(3)上的二片弹性体(6)组成，其特征在于：所述二片弹性体(6)通过固定孔(61)前后对称固定在所述二根扭柱(3)的水平中心线上；所述二片弹性体(6)分别采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻(42)的四个薄膜敏感元件(4)；将所述四个应变敏感电阻(42)组成惠斯通电桥电路，当所述转接上法兰(1)与转接下...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，曾朋辉，
申请(专利权)人：北京中航兴盛测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11