高性能应变合金薄膜扭矩传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高性能应变合金薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，连接在转接上法兰与转接下法兰之间的均匀分布的四根扭柱组成，其特征在于：所述扭柱是一侧加工有二个弧形凹槽的金属柱，另一侧采用溅射薄膜技术在表面制造二个薄膜敏感元件，选择相对的二根扭柱上的四个应变敏感电阻形成惠斯通电桥电路，当转接法兰扭动时，扭柱受到扭力作用并传递到应变敏感电阻，应变敏感电阻阻值发生变化，惠斯通电桥电路失出平衡，通过测量惠斯通电桥电路的输出信号可得到相应的扭矩值大小，由于采用了溅射薄膜技术，将应变敏感元件直接制作在弹性轴上，传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差大大减小，传感器测量精度得到提高。

High performance strain alloy thin film torque sensor

The utility model discloses a high performance alloy thin film strain torque sensor, which comprises an adapter flange, flange adapter, connection between the flange and the lower flange adapter in the adapter on the uniform distribution of four twisted columns, which is characterized in that the metal twisted column is provided with two arc column side groove. On the other side of the sputtered thin film manufacturing technology two film sensitive element on the surface, Wheastone bridge circuit formed two twisted column relative on the four strain sensitive resistor, when the adapter flange is twisted, twisted by column torsion and transfer to the strain sensitive resistor, the strain sensitive resistance changes, Wheastone lost a bridge circuit get the value balance, the size of the corresponding torque output signal by measuring the Wheastone bridge circuit, due to the sputtering thin film technology, the strain sensitive element The hysteresis error, repeatability error and temperature drift error of the sensor are greatly reduced, and the measurement accuracy of the sensor is improved.

【技术实现步骤摘要】
高性能应变合金薄膜扭矩传感器
本技术涉及一种扭矩传感器，尤其涉及一种采用溅射薄膜技术制造应变敏感元件的高性能应变合金薄膜扭矩传感器。
技术介绍
在机械传动系统中，扭矩是反映系统性能的重要参数之一。扭矩测量在航空航天、军工装备、工程机械、船舶、钻井、交通、冶金、发电、矿山设备等许多行业或领域得到了广泛的应用。扭矩测量方法有多种，其中传统的应变式测量方法应用非常广泛。应变式扭矩传感器是将金属应变片粘贴在弹性轴上组成应变桥，当弹性轴受扭矩变形后引起电桥电阻值变化，通过测量电阻值变化得到相应扭矩值的大小。现有的应变式扭矩传感器是使用有机胶将应变片粘贴在弹性体上，这种制造方法使传感器的综合性能受如下因素影响，这些影响因素有：弹性体粘贴表面清洁度、粘贴胶的性能、粘贴胶的厚度及均匀性、粘贴位置及其一致性等，另外，粘贴胶受环境温度、湿度以及长时间工作等因素影响也会导致传感器性能发生变化。这些影响主要导致传感器的迟滞误差、重复性误差、温度漂移误差变大，从而降低传感器的测量精度。同时由于有机胶的存在，传感器工作环境受到一定的限制。因此，开发一种测量精度高、工作稳定性好、能适用更加严苛环境的高性能应变合金本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高性能应变合金薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰(1)，转接下法兰(2)，连接在所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)之间的均匀分布的四根扭柱(3)组成，其特征在于：所述扭柱(3)是一侧加工有二个弧形凹槽(31)的金属柱，所述弧形凹槽(31)的对侧采用溅射薄膜技术在表面制造有包含应变敏感电阻(42)的二个薄膜敏感元件(4)，选择所述均匀分布的四根扭柱(3)的相对的且朝向一致的二根扭柱(3)上的四个应变敏感电阻(42)形成惠斯通电桥电路，当所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)扭动时，所述扭柱(3)受到扭力作用并传递到所述应变敏感电阻(42)，所述应变敏感电阻(42)阻值发生变化，惠斯通电桥电路...

【技术特征摘要】
1.一种高性能应变合金薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰(1)，转接下法兰(2)，连接在所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)之间的均匀分布的四根扭柱(3)组成，其特征在于：所述扭柱(3)是一侧加工有二个弧形凹槽(31)的金属柱，所述弧形凹槽(31)的对侧采用溅射薄膜技术在表面制造有包含应变敏感电阻(42)的二个薄膜敏感元件(4)，选择所述均匀分布的四根扭柱(3)的相对的且朝向一致的二根扭柱(3)上的四个应变敏感电阻(42)形成惠斯通电桥电路，当所述转接上法兰(1)与转接下法兰(2)扭动时，所述扭柱(3)受到扭力作用并传递到所述应变敏感电阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷卫武，曾朋辉，
申请(专利权)人：北京中航兴盛测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11