本实用新型公开了一种一体式高压压力传感器弹性体，其特征在于：所述一体式高压压力传感器弹性体是由金属材料制造的圆柱形弹性体，上端为弹性面，下端为引压嘴，中心部位为引入压力的引压腔；所述引压嘴外周加工有用于固定连接的外螺纹；所述弹性面下部加...

实用新型公开了一种新型压力传感器弹性体，其特征在于：一种新型压力传感器弹性体，由金属材料制作而成的圆柱形状。所述新型压力传感器弹性体上端为弹性面，所述弹性面经研磨、抛光后，可制作测量介质压力的薄膜电阻。下端中心部位开设有喇叭口，所述喇叭...

本实用新型公开了一种工程机械薄膜压力传感器，包括由下端外部具有外螺纹、贯通中心的引压通孔、安装有在所述引压通孔下部的脉冲阻尼器、上部加工有边凸台和顶凸台的引压嘴；利用离子束溅射技术和精密光刻技术制造的敏感元件；电路板支架；壳体；连接器；...

本实用新型公开了一种弹性体应变薄膜电阻，包括位于中心位置镜像分布的二个内电阻栅、位于纵轴方向边缘位置镜像分布的二个外电阻栅、位于横轴方向边缘位置镜像分布的二个补偿电阻栅、位于边缘位置镜像分布的四个栅条焊盘以及四个补偿焊盘组成。上述电阻栅...

本发明公开了一种工程机械薄膜压力变送器及制造方法，制造方法包括制造混合电路板；加工引压嘴、电路板支架和壳体；利用离子束溅射技术和精密光刻技术加工敏感元件；将各部件组装焊接并进行疲劳和高低温试验形成工程机械薄膜压力变送器。由于采用了溅射薄...

本实用新型公开了一种超高温压力传感器，包括带有散热片的引压件，导压件，散热环，外壳组成，其特征在于：所述导压件是一种上部中心位置开有上部中心引压孔，下部中心位置开有与上部中心引压孔不贯通的下部中心引压孔，中部外周开有导压槽，下部开有与下...

本发明公开了一种薄膜压力传感器芯片及制造方法，制造方法包括准备弹性体材料；分割弹性体材料；将弹性体退火处理；研磨抛光；在原子薄膜沉积系统中沉积原子级的过渡层、绝缘层、薄膜电阻层、接触层后光刻形成应变电阻和补偿电阻；将光刻好的弹性体材料进...

本实用新型公开了一种温压复合传感器，其特征在于：包括引压嘴、基座、弹性体、外壳、温敏电阻。所述弹性体表面通过离子束溅射工艺制造四个薄膜应变电阻形成惠斯通电桥，用于测量介质压力。所述弹性体表面贴上所述温敏电阻用于测量介质温度。由于将溅射薄...

本实用新型公开了一种简装无焊接压力传感器，由引压嘴，弹性体，压盖，压帽组成，其特征在于：引压嘴上部加工有外螺纹，压盖套上所述压帽并拧在引压嘴的外螺纹上时，压盖将所述压帽和所述弹性体向下压紧，弹性体与所述第一密封圈紧密接触，形成完全密封。...

本实用新型公开了一种简易压装式薄膜压力传感器，由引压嘴，弹性膜片，压盖，压帽组成，其特征在于：引压嘴上部加工有外螺纹，压盖套上所述压帽并拧在引压嘴的外螺纹上时，压盖将所述压帽和所述弹性膜片向下压紧，弹性膜片与所述第一密封圈紧密接触，形成...

本实用新型公开了一种带定位台的压力传感器弹性体，其特征在于：包括金属材料制造的圆柱形钢杯，所述钢杯下端加工有压力腔。所述钢杯上端加工有应变体，所述应变体外周加工有凸台，所述凸台的任一位置加工有方便光刻工艺定位的定位台。将常规的圆形弹性体...

本发明公开了一种薄膜扭矩传感器芯片及制造方法，制造方法包括准备弹性体材料；加工弹性体材料；将弹性体退火处理；研磨抛光；在原子薄膜沉积系统中沉积原子级的过渡层、绝缘层、薄膜电阻层、接触层后光刻形成应变电阻；将光刻好的弹性体材料进行退火处理...

本发明公开了一种超高温压力传感器及其制造方法，包括带有散热片的引压件，导压件，散热环，外壳组成，其特征在于：所述导压件是一种上部中心位置开有上部中心引压孔，下部中心位置开有与上部中心引压孔不贯通的下部中心引压孔，中部外周开有导压槽，下部...

本实用新型公开了一种薄膜应变式扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，固接在所述转接上下法兰之间的扭柱组成，其特征在于：所述扭柱是左右侧面分别加工有弧形凹槽、上下部分别加工有三角孔、一侧平面上采用溅射薄膜技术制造有包含四个应变敏感电阻的...

本实用新型公开了一种基于溅射薄膜技术的高性能扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，连接在转接上下法兰之间的扭柱，其特征在于：所述扭柱是二个相对的平行面分别采用溅射技术制造有薄膜敏感元件、另二个相对平行面加工弧形凹槽的金属柱。将四个应变...

本实用新型公开了一种薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，处于同一圆周对称位置上固接在转接上下法兰之间的二根扭柱，连接在二根扭柱上的二片弹性体组成，其特征在于：二片弹性体固定在二根扭柱的水平中心线上。弹性体采用溅射薄膜技术制造四个...

本实用新型公开了一种高性能应变合金薄膜扭矩传感器，包括转接上法兰，转接下法兰，连接在转接上法兰与转接下法兰之间的均匀分布的四根扭柱组成，其特征在于：所述扭柱是一侧加工有二个弧形凹槽的金属柱，另一侧采用溅射薄膜技术在表面制造二个薄膜敏感元...

本实用新型公开了一种高精度薄膜压力传感器，包括圆形膜片，支撑座，弹性体，传力柱和外壳，其特征在于：弹性体是采用溅射薄膜技术制造的，当所述圆形膜片受到压力作用时，均匀分布的压力通过所述传力柱集中并传递到所述弹性体的中心梁上，弹性体上的四个...

本实用新型公开了一种卫生型数字压力表，由压力基座、薄膜压力传感器芯体、信号处理电路板、外壳、面板、显示控制电路板、通讯引线、显示控制引线、通讯插座组成。所述薄膜压力传感器芯体由弹性体、金丝引线、电路支架、电路板、内引线组成，其特征在于，...

本实用新型公开了一种卫生型高性能薄膜压力传感器，由压力基座、薄膜压力传感器芯体、保护胶、上端盖组成。所述薄膜压力传感器芯体由弹性体、金丝引线、电路支架、电路板、信号线组成，其特征在于，所述弹性体是采用真空溅射方法制成的且底部开有“八”字...