下载高性能应变合金薄膜扭矩传感器的技术资料

文档序号:16520666

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本实用新型公开了一种高性能应变合金薄膜扭矩传感器,包括转接上法兰,转接下法兰,连接在转接上法兰与转接下法兰之间的均匀分布的四根扭柱组成,其特征在于:所述扭柱是一侧加工有二个弧形凹槽的金属柱,另一侧采用溅射薄膜技术在表面制造二个薄膜敏感元件,...
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