检测或补正位置系统及其方法技术方案

本发明专利技术公开了一种检测或补正位置系统及其方法，该检测或补正位置系统包含有：一基座；一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；其中，该基座承载一待测物，该待测物设有多个待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置时，该视觉测量单元撷取一影像信息，并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录。

Detection or correction position system and its method

The invention discloses a system and a method of detecting or correcting position, the detection position or the correction system includes: a base; a visual measurement unit, which is arranged on the base, the visual measurement unit is provided with a positioning mark; and a control unit which is electrically connected with the visual measurement unit; wherein, the base carrying an object to be measured, the analyte is provided with a plurality of test points; the detection position or the correction system executes a correction program or a program to perform the detection; calibration procedures, in the sample set at least one predetermined position, the visual measurement unit in order to move to the predetermined position, when the the visual measurement unit moves to each of the predetermined position, the visual measurement unit captures an image information, and the image information is transmitted to the control unit, calculate the image information in the control unit Between the measured point of the positioning mark and the adjacent to the marker distance, resulting in a predetermined position should be positive, and shall be corrected and recorded.

【技术实现步骤摘要】
检测或补正位置系统及其方法
本专利技术涉及一种检测或补正位置系统及其方法，尤指一种能够缩短测量时间与提升测量精准度的方法与系统。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器(Thinfilmtransistorliquidcrystaldisplay，以下简称TFT-LCD)已广泛地应用于人们的日常生活中，TFT-LCD于制造过程中需进行测量，以确认TFT-LCD能够进行后续的制造过程。但是，TFT-LCD测量不可避免会有龙门、探针头或悬臂，或是移动过程中产生有形变，从而造成机构偏移量，使得探针头寻址时的位置产生异常。进而导致测量的不准确性。若以人工方式进行探针头定位，则要对TFT-LCD的各晶体管一一进行定位，方能达到准确性的要求，但人工方式又往往会耗费大量的工时，故如何在一较短时间内提升测量的精准性就有可讨论的空间。
技术实现思路
有鉴于上述问题，本专利技术的目的在于提供一种检测或补正位置系统及其方法，其将待测物分为多个预定位置，视觉测量单元测量少量的预定位置，并于每次测量后即进行补正动作，以缩短测量时间，并提升测量的精准度。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种检测或补正位置系统，其包含有：一基座；一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；其中，该基座承载一待测物，该待测物设有多个待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置，该视觉测量单元撷取一影像信息并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录；于执行该检测程序时，该控制单元根据该补正值控制该视觉测量单元的位置。于一实施例中，该控制单元具有一演算模块、一补偿模块与一记录模块，该演算单元接收该影像信息，以计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并将该距离传送给该补偿模块，以产生该补正值，该补偿模块将该补正值传送给该视觉测量单元与该记录模块，该记录模块储存该补正值；该待测物为一待测基板或一待测面板，当该待测物为待测基板时，该待测点为一晶体管；当该待测物为待测面板时，该待测点为一像素。于一实施例中，检测或补正位置系统还包含一第一移动机构、一第二移动机构、一第三移动机构与一载台，该第一移动机构设于该基座并可相对于该待测物于第一方向移动，该第二移动机构设于该第一移动机构，该第二移动机构可相对于该待测物于第二方向移动，该第三移动机构设于该第二移动机构，该第三移动机构可相对于该待测物于第三方向移动，该第三移动机构、该第二移动机构与该第一移动机构电性连接该控制单元；该载台设于该基座，该载台供该待测物设置。于一实施例中，该视觉测量单元还具有一探针模块，该探针模块设于该第三移动机构。于一实施例中，该视觉测量单元还具有一视觉撷取模块，该视觉撷取模块设于该第三移动机构。于一实施例中，检测或补正位置系统还具有一视觉倍增模块，该视觉倍增模块设于该第三移动机构。本专利技术还提供了一种检测或补正位置方法，该方法用于执行一补正程序，该补正程序包含以下步骤：移动视觉至预定位置，一视觉测量单元设有一定位标记，一待测物具有多个待测点，该待测物设定有多个预定位置，各预定位置具有该待测点；选定多个预定位置，已选定的各预定位置之间具有一预定距离，该预定距离为多个该预定位置的距离总和；该视觉测量单元随机移动至任一预定位置的上方，该视觉测量单元撷取该预定位置的待测点与该定位标记的影像信息，该影像信息传送给一控制单元，以使该控制单元能设该定待测点于该定位标记的位置；选择最近该定位标记的该待测点，该视觉测量单元撷取一影像信息，该影像信息具有该定位标记与最邻近的该定位标记的该待测点，该影像信息传送给一控制单元由控制单元选出最邻近该定位标记的待测点；计算该定位标记与该待测点的间的距离，该控制单元依据该影像信息计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并依该距离产生一补正值；以及执行记录及补正，该视觉测量单元依据该补正值进行一补正动作，该控制单元记录该补正值。于一实施例中，还包括选择进行一检测程序的步骤，该控制单元根据该补正程序产生的补正值控制该视觉测量单元的位置。本专利技术还提供了另一种检测或补正位置方法，该方法用于执行一检测程序，该检测程序包含以下步骤：一控制单元根据一补正程序产生的补正值控制一视觉测量单元的位置。于一实施例中，还包括选择进行一补正程序的步骤，该步骤包含以下子步骤：移动视觉至预定位置，该视觉测量单元设有一定位标记，一待测物具有多个待测点，该待测物设定有多个预定位置，各预定位置具有该待测点；选定多个预定位置，已选定的各预定位置的间具有一预定距离，该预定距离可为多个该预定位置的距离总和；该视觉测量单元随机移动至任一预定位置的上方，该视觉测量单元撷取该预定位置的待测点与该定位标记的影像信息，该影像信息传送给该控制单元，以使该控制单元能设该定待测点于该定位标记的位置；选择最近该定位标记的该待测点，该视觉测量单元撷取一影像信息，该影像信息具有该定位标记与最邻近的该定位标记的该待测点，该影像信息传送给该控制单元，由控制单元选出最邻近该定位标记的待测点；计算该定位标记与该待测点之间的距离，该控制单元依据该影像信息计算出该定位标记与该待测点之间的距离，并依该距离产生一补正值；以及执行记录及补正，该视觉测量单元依据该补正值进行一补正动作，该控制单元记录该补正值。于一实施例中，进一步包括一决定是否至下一个预定位置的步骤，若为否，则至结束；若为是，则返回至该移动视觉至预定位置的步骤，以产生另一补正值，该控制单元记录该另一补正值，该视觉测量单元进行另一位置补正动作；该待测物为一待测基板或一待测面板，当该待测物为待测基板时，该待测点为一晶体管；当该待测物为待测面板时，该待测点为一像素。于一实施例中，还包含有一设定待测点于定位标记的位置的步骤，选定该待测点于该定位标记的位置，以设定该定位标记与该待测点的距离，该设定传送给该控制单元，该控制单元记录该设定。于一实施例中，于计算定位标记与待测点之间的距离的步骤中，一演算模块依据该测量结果计算出该定位标记与该待测点之间的距离，该距离传送给一补偿模块以产生一补正值，该补正值传送给该视觉测量单元与一记录模块。综合上述，本专利技术提供的检测或补正位置系统及其方法，其使视觉测量单元测量少量的待测物的预定位置，于每次测量后，即可立即执行补正的动作，以缩短测量时间，并提升测量的精准性。附图说明图1为一待测物的示意图；图2为本专利技术提供的检测或补正位置系统的示意图；图3为本专利技术提供的检测或补正位置系统的示意图；图4为本专利技术提供的检测或补正位置方法的流程示意图；图5为定位标记与待测点的示意图；图6为定位标记与邻近该定位标记的待测点的示意图；图7为定位标记位于待测物的预定位置的上方的示意图。附图标记说明：1-待测物；10-待测点；11-预定位置；2-视觉测量单元；20-基座；21-第一移动机构；22-第三移动机构；23-视觉撷取模块；230-定位标记；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种检测或补正位置系统，其特征在于，包含有：一基座；一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；其中，该基座承载一待测物，该待测物设有多个待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置时，该视觉测量单元撷取一影像信息并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录；于执行该检测程序时，该控制单元根据该补正值控制该视觉测量单元的位置。

【技术特征摘要】
1.一种检测或补正位置系统，其特征在于，包含有：一基座；一视觉测量单元，其设于该基座，该视觉测量单元设有一定位标记；以及一控制单元，其电性连接该视觉测量单元；其中，该基座承载一待测物，该待测物设有多个待测点；该检测或补正位置系统执行一校正程序或一检测程序；于执行该校正程序时，在该待测物设定至少一预定位置，该视觉测量单元依序移动至各该预定位置，当该视觉测量单元移动至每一该预定位置时，该视觉测量单元撷取一影像信息并将该影像信息传送给该控制单元，该控制单元计算该影像信息中的该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，从而产生对应该预定位置的一补正值，并予以补正及记录；于执行该检测程序时，该控制单元根据该补正值控制该视觉测量单元的位置。2.根据权利要求1所述的检测或补正位置系统，其特征在于，该控制单元具有一演算模块、一补偿模块与一记录模块，该演算单元接收该影像信息，以计算出该定位标记与最邻近该定位标记的该待测点之间的距离，并将该距离传送给该补偿模块，以产生该补正值，该补偿模块将该补正值传送给该视觉测量单元与该记录模块，该记录模块储存该补正值；该待测物为一待测基板或一待测面板，当该待测物为待测基板时，该待测点为一晶体管；当该待测物为待测面板时，该待测点为一像素。3.根据权利要求1所述的检测或补正位置系统，其特征在于，还包含一第一移动机构、一第二移动机构、一第三移动机构与一载台，该第一移动机构设于该基座并可相对于该待测物于第一方向移动，该第二移动机构设于该第一移动机构，该第二移动机构可相对于该待测物于第二方向移动，该第三移动机构设于该第二移动机构，该第三移动机构可相对于该待测物于第三方向移动，该第三移动机构、该第二移动机构与该第一移动机构电性连接该控制单元；该载台设于该基座，该载台供设置该待测物。4.根据权利要求3所述的检测或补正位置系统，其特征在于，该视觉测量单元还具有一探针模块，该探针模块设于该第三移动机构。5.根据权利要求3所述的检测或补正位置系统，其特征在于，该视觉测量单元还具有一视觉撷取模块，该视觉撷取模块设于该第三移动机构。6.根据权利要求5所述的检测或补正位置系统，其特征在于，还具有一视觉倍增模块，该视觉倍增模块设于该第三移动机构。7.一种检测或补正位置方法，该方法用于执行一补正程序，其特征在于，该补正程序包含以下步骤：移动视觉至预定位置，一视觉测量单元设有一定位标记，一待测物具有多个待测点，该待测物设定有多个预定位置，各预定位置具有该待测点；选定多个预定位置，已选定的各预定位置之间具有一预定距离，该预定距离为多个该预定位置的距离总和；该视觉测量单元随机移动至任一预定位置的上方，该视觉测量单元撷取该预定位置的待测点与该定位标记的影像信息，该影像信息传送给一控制单元，以使该控制单元能设该定待测点于该定位标记的位置；选择最近该定位标记的该待测点，该视觉测量单元撷取一影像信息，该...

【专利技术属性】
技术研发人员：李茂杉，吴松霖，
申请(专利权)人：均豪精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71