The utility model relates to the technical field of water treatment, in particular to a polysilicon cutting liquid recovery and reuse system. A polysilicon cutting liquid recycling system, filter press plate filter liquid outlet and the material circulation tank inlet through the pipe connected to the material circulation tank outlet pipe and liquid import type ultrafiltration membrane connected by a pipeline, material circulation tank outlet pipe and liquid import type ultrafiltration membrane the pipeline is also provided with a circulation pump, inlet pipe type ultrafiltration membrane concentrated solution outlet and the material circulation tank mouth through the pipe connected to the tubular ultrafiltration membrane through the liquid outlet and the liquid tank are connected by a pipeline, material circulation tank outlet through the liquid inlet pipe and filter press plate and frame filter press. The utility model provides a polysilicon cutting liquid recycling system, solves the cutting fluid can not achieve zero emissions, silica fume, cooling liquid which can not be 100 percent recycling problem.
【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅切割液回收再利用系统
本技术涉及水处理领域,特别地涉及一种多晶硅切割液回收再利用系统。
技术介绍
多晶硅切割液主要成分是硅粉、纯水和少量的金刚石粉末、切割冷却剂(PEG)。现阶段的多晶硅切割液的主要处理方法分为两种:第一种方法,多晶硅切割液先通过板框压滤系统将切割液中的硅粉、金刚粉及一些固体杂质压缩成块状回收,滤液直接排往污水站统一处理。第二种方法,多晶硅切割液先经过过滤,软化处理,然后经过微滤膜和超滤膜的过滤处理,得到的过滤液在经过蒸馏提纯,之后回收再利用。第一种方法存在的问题,排掉的污水中仍含有少量的硅粉和金刚粉,其中还有很高价值的切割冷却液,而且排放的污水生化性较差,影响后续污水处理过程。第二种方法存在的问题,工艺流程复杂,建设、运行成本太高。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:为了解决现有的切割液通过板框压滤机过滤后滤液直接排往污水站,无法实现切割液零排放,切割液中的硅粉、冷却液无法进行百分百回收再利用的问题,本技术提供了一种多晶硅切割液回收再利用系统,通过板框过滤压缩系统的处理可以回收切割液中95%的硅粉,再通过管式超滤膜系统将硅粉浓缩液回到板框过滤压缩系统循环处理实现多晶硅切割液的零排放,硅粉和冷却液百分百回收,消除了污水后期再处理环节。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种多晶硅切割液回收再利用系统,包括:板框压滤机、物料循环罐,循环泵、管式超滤膜和用于回收冷却液的清液罐,板框压滤机的板框压滤液出口与物料循环罐的进料口通过管道相连,物料循环罐的出料口与管式超滤膜的原液进口通过管道相连,物料循环罐的出料口与管式超滤膜的原液进口 ...
【技术保护点】
一种多晶硅切割液回收再利用系统,其特征在于包括:板框压滤机(1)、物料循环罐(2),循环泵(3)、管式超滤膜(7)和用于回收冷却液的清液罐(8),所述板框压滤机(1)的板框压滤液出口与物料循环罐(2)的进料口通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口的管路上还设有循环泵(3),所述管式超滤膜(7)的浓缩液出口与物料循环罐(2)的进料口通过管道相连,所述管式超滤膜(7)的透过液出口与清液罐(8)通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口还通过管道与板框压滤机(1)的板框压滤液进口相连。
【技术特征摘要】
1.一种多晶硅切割液回收再利用系统,其特征在于包括:板框压滤机(1)、物料循环罐(2),循环泵(3)、管式超滤膜(7)和用于回收冷却液的清液罐(8),所述板框压滤机(1)的板框压滤液出口与物料循环罐(2)的进料口通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口的管路上还设有循环泵(3),所述管式超滤膜(7)的浓缩液出口与物料循环罐(2)的进料口通过管道相连,所述管式超滤膜(7)的透过液出口与清液罐(8)通过管道相连,所述物料循环罐(2)的出料口还通过管道与板框压滤机(1)的板框压滤液进口相连。2.如权利要求1所述的一种多晶硅切割液回收再利用系统,其特征在于:所述物料循环罐(2)的出料口与管式超滤膜(7)的原液进口的管路上依次设有第一压力表(4)、第一调节阀(5)和温度表(6),所述管式超滤膜(7)的浓缩液...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘西欣,
申请(专利权)人:江苏凯米膜科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
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