【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种硅片切割液回收过程中的脱水系统。
技术介绍
目前，在硅片切割液回收过程中需要经过脱水工艺，该工艺是将储罐中的硅片切割液(温度在30°C左右)送入脱水釜中，经过升温加热进行脱水，然后将经过脱水的硅片切割液(温度在115°C左右)打入降温釜中降温(温度在40°C左右)后再进行包装；这种方法不仅冷却时间需要3 4小时,还需要消耗电能,使用大量的循环水。
技术实现思路
本技术的目的是提供提高脱水进料温度，缩短脱水时间，降低能耗，减少循环 水用量和冷却时间的一种硅片切割液回收过程中的脱水系统。本技术采取的技术方案是一种硅片切割液回收过程中的脱水系统，其特征在于它包括脱水前液储罐、脱水釜、板式换热器和降温釜，脱水前液储罐通过管路经过板式换热器循环连接后再与脱水釜连接；脱水釜通过管路连接板式换热器后再与降温釜连接。采用本技术，既利用脱水前的硅片切割液给脱水后的硅片切割液进行了冷却降温，又利用脱水后的硅片切割液对脱水前的硅片切割液进行了加热升温；经过实际使用对比，使原来放到降温釜的脱水后液的温度从80°C左右直降到60°C以下，原来的脱水前液的温度从30°C左右升高到55°C以上，既缩短了脱水后液的降温时间和冷却循环水的使用，又大大减少脱水液升温脱水的时间和蒸汽的消耗。附图说明图I是本技术示意图。图中序号表示脱水釜I、管路2、板式换热器3、脱水前液储罐4和降温釜5。具体实施方式下面结合具体的实施例对本技术作进一步说明。参照图1，该硅片切割液回收过程中的脱水系统包括脱水前液储罐4、脱水釜I、板式换热器3和降温釜5，脱水前液储罐4经过管路连接通过板式换热器3后再连...
【技术保护点】
一种硅片切割液回收过程中的脱水系统，其特征在于它包括脱水前液储罐、脱水釜、板式换热器和降温釜，脱水前液储罐通过管路经过板式换热器循环连接后再与脱水釜连接；脱水釜通过管路连接板式换热器后再与降温釜连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：方汉春，朱荣兴，
申请(专利权)人：浙江晶盛硅晶材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。