一种单晶炉的称重装置制造方法及图纸

本申请公开了一种单晶炉的称重装置，包括：称重器件，用于安装在所述单晶炉的晶体提拉机构内，用于称量晶体重量；承载件，支撑于所述称重器件上，用于承载所述晶体提拉机构的提拉绳。本单晶炉的称重装置，利用坩埚内的装料总重量和称量的晶体重量，得到坩埚内的剩余料重量，来控制坩埚提升机构的提升速度，避免锅跟比过小或者过大影响晶体生长。

Weighing device for single crystal furnace

The invention discloses a weighing device, a single crystal furnace comprises: a weighing device, installed in the crystal pulling mechanism for the single crystal furnace, used for weighing crystal weight; the bearing piece supported on the weighing device, the lifting rope for carrying the crystal pulling mechanism. Weighing device of the single crystal furnace, using crystal weight total weight and weighing charge in the crucible, obtain the residual weight of material in the crucible, crucible to control the lifting mechanism to enhance the speed, avoid the pot with is too small or too large effect of crystal growth.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉的称重装置
本技术涉及晶体生长
，特别涉及一种单晶炉的称重装置。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。现有的单晶炉主要包括机架、主炉室、副室、晶体提拉机构、坩埚和坩埚提升机构。副室连接于主炉室上，坩埚设置于主炉室内，坩埚的下部通过坩埚提升机构驱动升降；晶体提拉机构设置于副室上方，晶体提拉机构的提拉绳穿过副室进入主炉室中，对仔晶进行提拉生成晶棒。由于在晶体生长的过程中，随着晶体提拉机构的不断提拉，坩埚中的熔融态原料在仔晶处形成固态晶棒，此时，坩埚内的溶液不断减小，液位下降，为了保证晶棒的持续生长，在单晶炉晶体生长过程中，需要根据工艺要求和坩埚里剩余料的情况调整锅跟比，锅跟比即坩埚的移动速度与晶体提拉机构的提拉速度之间的比值。目前采用的锅跟比是通过公式计算，得出晶棒每段长度生长的锅跟比。在生长过程中按照表中锅跟比根据晶体提拉机构的提拉速度控制坩埚上升的速度，根据晶体生长的实际情况来人为手动干预修改锅跟比系数，修正晶体的生长过程。但在实际生产过程中，由于生长的晶体直径有变化，导致会出现实际的锅跟比过大或者本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉的称重装置，其特征在于，包括：称重器件(72)，用于安装在所述单晶炉的晶体提拉机构(1)内，用于称量晶体重量；承载件(71)，支撑于所述称重器件(72)上，用于承载所述晶体提拉机构(1)的提拉绳(11)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的称重装置，其特征在于，包括：称重器件(72)，用于安装在所述单晶炉的晶体提拉机构(1)内，用于称量晶体重量；承载件(71)，支撑于所述称重器件(72)上，用于承载所述晶体提拉机构(1)的提拉绳(11)。2.根据权利要求1所述的称重装置，其特征在于，还包括支架(73)，用于安装在所述晶体提拉机构(1)内，所述称重器件(72)安装于所述支架(73)上。3.根据权利要求1所述的称重装置，其特征在于，所述承载件(71)为滑轮，所述滑轮转动支撑于所述称重...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨晓红，朱伟忠，苏晓良，周杰，沈浩锋，王宏琳，王谟，
申请(专利权)人：天通吉成机器技术有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33