The utility model discloses a crystal field gradient additional regulation system, the system is arranged on the upper cover plate of single crystal furnace, and surrounds the inner guide shell is set, the system consists of a plurality of annular parts, including second parts, the first part, the third part, the fourth and fifth parts, the first part, the second part and third parts from top to bottom set temperature, temperature relative to the inner guide shell is 160 180 degree angle, lateral part of the thermostat is provided with a heat insulation, thermal insulation is composed of fourth parts and fifth parts from the inside to the outside of the horizontal direction superposition, upper thermal field gradient adaptive single crystal thermal regulation to ensure thermal field the gradient of a smooth transition, and the crystal itself in the temperature region the temperature gradient suitable to control the crystal cooling rate in a certain temperature region, the same The utility model can be used for rectifying both gas and gas.
【技术实现步骤摘要】
一种单晶热场梯度附加调节系统
本技术涉及光伏硅单晶生长
,特别涉及一种单晶热场梯度附加调节系统。
技术介绍
随着光伏工业的变迁,硅单晶生长的质量变得越来越重要。为了适应市场,业界对直拉单晶热场液面以上的做了诸如水冷热屏、水冷套、挡环、内导流筒材质变换的一种或全部更改;但无法避免的是在在导流筒(包括水冷热屏)以上存在热场梯度剧烈变化区域,在700-1100℃之间之间晶体的热历史不能处于一个较为理想的状态以保证单晶质量;在400-700℃之间则无法有效的利用热场冷却系统,导致本可以避免的氧施主的大量生成,影响生产。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种单晶热场梯度附加调节系统,单晶热场的上部热场梯度的适应性调节以保证热场梯度的平滑过渡,并使晶棒本身在要求的温度区域的有合适的温度梯度以控制晶棒在某一温度区域的冷却速度,同时可以对兼顾对气体的整流,以解决现有技术中导致的上述多项缺陷。为实现上述目的,本技术提供以下的技术方案:一种单晶热场梯度附加调节系统,该系统设置在单晶炉的上盖板处,且环绕内导流筒设置,该系统由多个环状部件组成,包括第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件,第一部件、第二部件和第三部件自上而下依次设置成调温部分,调温部分相对于内导流筒呈160-180°夹角,调温部分的外侧设有保温部分,保温部分由第四部件和第五部件自内往外在水平方向上叠加而成,第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件的材质包括但不限于钼、陶瓷、石英、等静压石墨、高纯石墨、保温毡等一种或多种的组合。优选的,所述第一部件由等静压石墨构成,和内导流筒呈160-18 ...
【技术保护点】
一种单晶热场梯度附加调节系统,该系统设置在单晶炉的上盖板处,且环绕内导流筒设置,其特征在于,该系统由多个环状部件组成,包括第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件,第一部件、第二部件和第三部件自上而下依次设置成调温部分,调温部分相对于内导流筒呈160‑180°夹角,调温部分的外侧设有保温部分,保温部分由第四部件和第五部件自内往外在水平方向上叠加而成,第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件的材质包括但不限于钼、陶瓷、石英、等静压石墨、高纯石墨、保温毡等一种或多种的组合。
【技术特征摘要】
1.一种单晶热场梯度附加调节系统,该系统设置在单晶炉的上盖板处,且环绕内导流筒设置,其特征在于,该系统由多个环状部件组成,包括第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件,第一部件、第二部件和第三部件自上而下依次设置成调温部分,调温部分相对于内导流筒呈160-180°夹角,调温部分的外侧设有保温部分,保温部分由第四部件和第五部件自内往外在水平方向上叠加而成,第一部件、第二部件、第三部件、第四部件和第五部件的材质包括但不限于钼、陶瓷、石英、等静压石墨、高纯石墨、保温毡等一种或多种的组合。2.根据权利要求1所述的单晶热场梯度附加调节系统,其特征在于,所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员:卜庆宝,
申请(专利权)人:保山新澳泰能源有限公司,
类型:新型
国别省市:云南,53
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