一种自动化物料搬送系统技术方案
An automated material delivery system
The utility model discloses an automatic material feeding system, the utility model by adding the second track unit between the material storage device, the realization of the material storage device, material storage device and process equipment, as well as between the process equipment between the material handling synchronous parallel completed, further optimization of AMHS system, improve the transmission efficiency material. The storage capacity of the material storage device is increased, and the capacity of the existing technology is effectively improved by reasonably utilizing the space above the hanging ceiling of the purification room.
【技术实现步骤摘要】
一种自动化物料搬送系统
本技术属于物料输送领域，更具体地，涉及一种自动化物料搬送系统。
技术介绍
随着半导体技术的发展，半导体制造厂已大量运用自动化生产系统，尤其在300mm工厂，自动化物料搬送系统(AutomaticMaterialHandlingSystem，AMHS)已经取代了大部分人力搬运硅片盒的工作。在最先进的300mm工厂AMHS系统中，硅片盒通过搬运小车，实现在存储货架(Stocker)之间、存储货架与工艺设备之间的自动搬运。随着现代化工厂对产能要求的不断提高，也对AMHS系统的搬运效率提出了越来越严苛的要求。在当前技术中，一套AMHS系统通常需要花费几千万美元。AMHS在接到搬运指令，到OHT(OverheadHoistTransfer)小车或OHS(OverheadShuttle)小车提取硅片盒，到送至指定位置，平均耗时通常小于3分钟，远小于传统人力搬运所耗费的时间，但是出于对最优化的不断追求，仍然推动着AMHS系统不断进化，不断出现新技术来推动半导体工厂在提高产能方面的发展。图1为现有技术的AMHS系统示意图。如图1所示，该AMHS系统主要包括...
【技术保护点】
一种自动化物料搬送系统，其特征在于，包括：至少二个物料存储装置，其包括至少一组且处于同一层的供第一轨道单元输送物料进入和取出的第一物料输入口和第一物料输出口，和至少一组且处于同一层的供第二轨道单元输送物料进入或取出的第二物料输入口和第二物料输出口；轨道装置，包括第一轨道单元，位于物料存储装置和工艺设备之间，第二轨道单元，位于物料存储装置之间，以及分别在第一轨道单元和第二轨道单元上运输物料的多个搬运小车，其中，第一轨道单元和第二轨道单元互相独立；物料控制装置，用于接受指令调集最近的搬运小车搬送物料；以及至少一个工艺设备。
【技术特征摘要】
1.一种自动化物料搬送系统，其特征在于，包括：至少二个物料存储装置，其包括至少一组且处于同一层的供第一轨道单元输送物料进入和取出的第一物料输入口和第一物料输出口，和至少一组且处于同一层的供第二轨道单元输送物料进入或取出的第二物料输入口和第二物料输出口；轨道装置，包括第一轨道单元，位于物料存储装置和工艺设备之间，第二轨道单元，位于物料存储装置之间，以及分别在第一轨道单元和第二轨道单元上运输物料的多个搬运小车，其中，第一轨道单元和第二轨道单元互相独立；物料控制装置，用于接受指令调集最近的搬运小车搬送物料；以及至少一个工艺设备。2.根据权利要求1所述的一种自动化物料搬送系统，其特征在于，所述第一轨道单元位于净化间吊顶下方；所述第二轨道单元位于净化间吊顶上方或下方。3.根据权利要求2所述的一种自动化物料搬送系统，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳青，
申请(专利权)人：上海集成电路研发中心有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31
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