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本实用新型公开了一种自动化物料搬送系统，本实用新型通过在物料存储装置之间增设第二轨道单元，实现了各物料存储装置之间、物料存储装置与工艺设备之间、以及各工艺设备之间的物料搬运同步并行完成，进一步优化AMHS系统，提高物料的传输效率。以及通过合...
该专利属于上海集成电路研发中心有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海集成电路研发中心有限公司授权不得商用。

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