The utility model discloses a wafer and glass separation device, the separation device comprises a chuck assembly rack, chuck assembly, located below on the chuck assembly, the lower chuck assembly includes a fixed suction cup attached to the suction cup, the heater, penetrating to lift in the cup a plurality of support column, the upper chuck assembly includes an upper sucker, sticking a heater in the suckers on the said frame is provided with a sucking disc assembly can drive the vertical and move around in the drive assembly, the top surface of the supporting column has a suction nozzle, the pressure sensor has a suction cup assembly. The upper heater and the lower heater is provided with temperature sensor. The utility model can realize the safe separation of glass and wafer, and has the advantages of high separation efficiency and low breakage rate.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆与玻璃分离装置
本技术属于半导体芯片制造设备
,尤其涉及一种将晶圆片从与它胶合的玻璃片上分离开来的装置。
技术介绍
指纹芯片的制造过程中有一环节是将带功能的晶圆片从与它胶合的玻璃片上分离开来。在现有技术中,是先通过治具对芯片玻璃晶圆胶合体加热,然后人工进行分离。由于人工操作力道大小和方向随意性太大、力道掌握不均匀,所以破片率高;同样的原因造成人工操作时连续性不好,所以需要人工干预,影响了效率。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种分离晶圆和玻璃安全性高、破片率低、分离效率高的晶圆与玻璃分离装置,以克服现有技术存在的不足。为解决上述技术问题,本技术采用如下的技术方案:一种晶圆与玻璃分离装置,其特征在于;包括机架、上吸盘组件、位于上吸盘组件下方的下吸盘组件,所述下吸盘组件包括固定不动的下吸盘、贴合在下吸盘下的下加热器、穿设在下吸盘中能够升降的多根支撑柱,所述上吸盘组件包括上吸盘,贴合在上吸盘上的上加热器,所述机架上还设有能够驱动所述上吸盘组件竖向及左右移动的驱动组件,所述支撑柱的顶面具有真空吸嘴,所述上吸盘组件中具有压力传感器,所述上加热器和所述下加热器中均具有温度传感器。采用上述技术方案,本技术能够实现将玻璃和晶圆片进行分离,具有安全性高、分离效率高、破损率低、具有较高自动化的优点。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本技术进行详细说明:图1为本技术的立体结构示意图。图2为下吸盘组件的结构示意图;图3为上吸盘组件的结构示意图;图4为上吸盘组件在另一视角下的结构示意图;图5A-图5D为分离方法各步骤的动作示意图。具体实施方式如图1所示,本技术 ...
【技术保护点】
一种晶圆与玻璃分离装置,其特征在于;包括机架、上吸盘组件、位于上吸盘组件下方的下吸盘组件,所述下吸盘组件包括固定不动的下吸盘、贴合在下吸盘下的下加热器、穿设在下吸盘中能够升降的多根支撑柱,所述上吸盘组件包括上吸盘,贴合在上吸盘上的上加热器,所述机架上还设有能够驱动所述上吸盘组件竖向及左右移动的驱动组件,所述支撑柱的顶面具有吸嘴,所述上吸盘组件中具有压力传感器,所述上加热器和所述下加热器中均具有温度传感器。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆与玻璃分离装置,其特征在于;包括机架、上吸盘组件、位于上吸盘组件下方的下吸盘组件,所述下吸盘组件包括固定不动的下吸盘、贴合在下吸盘下的下加热器、穿设在下吸盘中能够升降的多根支撑柱,所述上吸盘组件包括上吸盘,贴合在上吸盘上的上加热器,所述机架上还设有能够驱动所述上吸盘组件竖向及左右移动的驱动组件,所述支撑柱的顶面具有吸嘴,所述上吸盘组件中具有压力传感器,所述上加热器和所述下加热器中均具有温度传感器。2.根据权利要求1所述的晶圆与玻璃分离装置,其特征在于:所述上吸盘组件还包括微动座和支撑梁,所述微动座悬吊在所述支撑梁下方,所述压力传感器安装在所述微动座和所述支撑梁之间;所述上加热器固定在所述微动座的下方...
【专利技术属性】
技术研发人员:王为新,袁翔,苏浩杰,邵佳裕,
申请(专利权)人:爱立发自动化设备上海有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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