The present invention provides a three-dimensional nano table, based on flexible hinges includes: flexible hinge base (10), which are nested and connected by flexible hinge frame (11), (12) in the frame and an inner frame (13); the first driver (21), connected to the frame (12) and the inner frame (13) to drive the internal frame (13) to move along the X drive; second (22), connected to the frame (11) and the frame (12) to drive the frame (12) to move along the Y drive; third (23), is arranged in the inner box (13); stage (30), arranged in a third drive (23), third (23) in the drive under the action of the carrier (30) to move along the Z. The technical proposal of the invention effectively solves the problem of complicated structure of the three-dimensional worktable in the prior art.
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超精密设备
,具体涉及一种基于柔性铰链的三维纳米工作台。
技术介绍
目前,纳米工作台广泛应用于半导体、航空航天、光学、激光与光电子、生物显微、计量技术等领域中,例如在半导体光刻工艺中,用于对掩模或者晶圆进行精密定位和调整;在蓝宝石基底LED晶片切割中,用于对小焦深物镜镜头进行高速随动调焦;在空间卫星通信中,用于对超远距离卫星间的扫描发现和精确对准;在光学材料表面测量用,用于驱动白光干涉系统的参考镜或者样品,以获得超高分辨率表面形貌数据;在远距离光学成像中,用于成像光束的伺服稳定,以对抗来自基座的干扰或者大气的扰动;在超高分辨生物光学成像中,用于控制聚焦点的位移,以实现对样品的分层测量成像等。纳米工作台主要采用柔性铰链结构,柔性铰链主要靠变形来实现机构的运动、力和能量的传递和转换,没有或大大减少了机构中的间隙、摩擦、磨损及润滑等复杂问题,从而可以提高机构精度、增加可靠性、减少维护等。专利文献CN105006255A公开了一种三自由度微定位工作台,其包括基座、动平台、三个压电陶瓷驱动器和实现运动传递的三条支链;在基座的上部安装两个压电陶瓷驱动器,在基座的底部安装一个压电陶瓷驱动器,每个压电陶瓷驱动器末端均通过锁紧螺栓固定在基座上,其顶部均通过螺纹连接球形触头;三条支链分布在基座与动平台之间,其中第一,第二支链均包括驱动环节、刚性移动块和并联球形柔性铰链组;其中刚性移动块四周连接并联球形柔性铰链组,刚性移动块左右两侧的并联球形柔性铰链组与基座相连,上侧的并联球形柔性铰链组与动平台相连,下侧的与驱动环节相连;的三条支链中各驱动环节一个侧面中部 ...
【技术保护点】
一种基于柔性铰链的三维纳米工作台,其特征在于,包括:柔性铰链底座(10),包括依次嵌套并通过柔性铰链连接的外框(11)、中框(12)及内框(13);第一驱动器(21),连接在所述中框(12)和所述内框(13)之间以驱动所述内框(13)沿X向移动;第二驱动器(22),连接在所述外框(11)和所述中框(12)之间以驱动所述中框(12)沿Y向移动;第三驱动器(23),设置在所述内框(13)上;载物台(30),设置在所述第三驱动器(23)上,在所述第三驱动器(23)的作用下,所述载物台(30)沿Z向移动。
【技术特征摘要】
1.一种基于柔性铰链的三维纳米工作台,其特征在于,包括:柔性铰链底座(10),包括依次嵌套并通过柔性铰链连接的外框(11)、中框(12)及内框(13);第一驱动器(21),连接在所述中框(12)和所述内框(13)之间以驱动所述内框(13)沿X向移动;第二驱动器(22),连接在所述外框(11)和所述中框(12)之间以驱动所述中框(12)沿Y向移动;第三驱动器(23),设置在所述内框(13)上;载物台(30),设置在所述第三驱动器(23)上,在所述第三驱动器(23)的作用下,所述载物台(30)沿Z向移动。2.根据权利要求1所述的三维纳米工作台,其特征在于,所述内框(13)的内部为中空结构。3.根据权利要求2所述的三维纳米工作台,其特征在于,所述三维纳米工作台还包括具有用于放置载玻片的放置腔且用在倒置式显微镜上使用的载物篮(40),所述载物篮(40)的底部位于所述中空结构中且具有第一透光孔(41),所述载物篮(40)的顶部安装在所述载物台(30)上,所述载物台(30)具有与所述载物篮(40)的开口对应的第一避让孔。4.根据权利要求1所述的三维纳米工作台,其特征在于,所述第三驱动器(23)为两个,两个所述第三驱动器(23)相对于所述内框(13)的中心对称设置并支撑所述载物台(30)。5.根据权利要求1所述的三维纳米工作台,其特征在于,所述三维纳米工作台还包括第一位移传感器(51),所述第一位移传感器(51)设置在所述中框(12)上以测量所述内框(13)的位移,和/或,所述三维纳米工作台还包括第二位移传感器(52),所述第二位移...
【专利技术属性】
技术研发人员:查卿,钟君,成贤锴,于涌,
申请(专利权)人:中国科学院苏州生物医学工程技术研究所,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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