一种掩膜板装载系统及曝光机技术方案

本发明专利技术实施例提供一种掩膜板装载系统及曝光机，涉及显示装置技术领域，能够减少更换掩膜板的时间，提高更换掩膜板的效率。所述掩膜板装载系统包括：工作区和至少一个备用区，工作区设置有第一支撑台，备用区设置有第二支撑台；第一支撑台和第二支撑台均用于放置掩膜板；还包括传送单元，传送单元用于驱动第一支撑台和第二支撑台同时移动，以使第一支撑台移出工作区，且第二支撑台移入工作区；工作区的上方设置有第一装载单元，第一装载单元用于将工作区的掩膜板装载到曝光机的光照区。本发明专利技术用于掩膜板装载。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板装载系统及曝光机
本专利技术涉及显示装置
，尤其涉及一种掩膜板装载系统及曝光机。
技术介绍
掩膜板(Mask)也称为光掩膜板或光罩，是光刻工艺中不可或缺的一个部件。在TFT-LCD(thinfilmtransistor-liquidcrystaldisplay，薄膜晶体管液晶显示器)生产过程中，曝光设备需要搭载掩膜板，对光线产生规则遮挡以保留有效曝光区域的光刻胶，从而在玻璃基板表面形成特定图案。现有技术中，不同产品一般需要不同的掩膜板，因而在生产不同产品时就需要更换掩膜板，而在更换掩膜板时，需要机械手臂先将工作区中使用完的掩膜板移出工作区，然后再将掩膜板堆放室中的待更换的掩膜板移入工作区，此过程需要较长时间，这样导致更换掩膜板的效率较差。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种掩膜板装载系统及曝光机，能够减少更换掩膜板的时间，提高更换掩膜板的效率。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：一方面，本专利技术实施例提供一种掩膜板装载系统，包括：工作区和至少一个备用区，所述工作区设置有第一支撑台，所述备用区设置有第二支撑台；所述第一支撑台和所述第二支撑台均用于放置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种掩膜板装载系统，其特征在于，包括：工作区和至少一个备用区，所述工作区设置有第一支撑台，所述备用区设置有第二支撑台；所述第一支撑台和所述第二支撑台均用于放置掩膜板；还包括传送单元，所述传送单元用于驱动所述第一支撑台和所述第二支撑台同时移动，以使所述第一支撑台移出所述工作区，且所述第二支撑台移入所述工作区；所述工作区的上方设置有第一装载单元，所述第一装载单元用于将所述工作区的掩膜板装载到曝光机的光照区。

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板装载系统，其特征在于，包括：工作区和至少一个备用区，所述工作区设置有第一支撑台，所述备用区设置有第二支撑台；所述第一支撑台和所述第二支撑台均用于放置掩膜板；还包括传送单元，所述传送单元用于驱动所述第一支撑台和所述第二支撑台同时移动，以使所述第一支撑台移出所述工作区，且所述第二支撑台移入所述工作区；所述工作区的上方设置有第一装载单元，所述第一装载单元用于将所述工作区的掩膜板装载到曝光机的光照区。2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述传送单元包括第一导轨和第一驱动件；所述第一支撑台和所述第二支撑台均设置在所述第一导轨上，且与所述第一导轨滑动连接；所述第一驱动件可驱动所述第一支撑台和所述第二支撑台沿所述第一导轨同时移动。3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述第一支撑台和所述第二支撑台之间设置有连接单元，所述连接单元用于连接所述第一支撑台和所述第二支撑台，使得所述第一支撑台和所述第二支撑台之间保持预设间距。4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，所述连接单元包括弹性件和限位气缸；所述弹性件的两端分别连接在所述第一支撑台和所述第二支撑台相对的两个侧壁上；所述限位气缸的一端与所述两个侧壁中的一个连接，所述限位气缸的另一端与所述两个侧壁中的另一个侧壁抵靠。5.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一支撑台和所述第二支撑台上均包括四个定位托台，四个所述定位托台分别分布在所述第一支撑台或所述第二支撑台的四角处，四个所述定位托台...

【专利技术属性】
技术研发人员：康程明，李国明，张连坤，刘红星，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11