下载一种掩膜板装载系统及曝光机的技术资料

文档序号:16326312

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本发明实施例提供一种掩膜板装载系统及曝光机,涉及显示装置技术领域,能够减少更换掩膜板的时间,提高更换掩膜板的效率。所述掩膜板装载系统包括:工作区和至少一个备用区,工作区设置有第一支撑台,备用区设置有第二支撑台;第一支撑台和第二支撑台均用于放...
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