曝光机及遮光叶片制造技术

本发明专利技术提供一种曝光机及遮光叶片。该曝光机通过在第一前遮光叶片的竖直部中设置开口，使得第一前遮光叶片移动时空气可通过所述开口流动，进而减少第一前遮光叶片移动时第一前遮光叶片与光罩保护膜之间的气压下降，避免光罩保护膜被刮蹭，并通过在所述开口的顶部和侧部设置遮光板，避免曝光所用的紫外光从所述开口泄漏出去，保证第一前遮光叶片的遮光效果和曝光机的曝光效果，防止图形异常。

【技术实现步骤摘要】
曝光机及遮光叶片
本专利技术涉及显示器制作
，尤其涉及一种曝光机及遮光叶片。
技术介绍
在显示
，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)与有机发光二极管显示器(OrganicLightEmittingDiode，OLED)等平板显示器已经逐步取代CRT显示器，广泛的应用于液晶电视、手机、个人数字助理、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。在液晶显示器的Array制程等平板显示器的制程过程中，经常会使用曝光机进行曝光制程，以图案化相应的膜层。现有的曝光机一般包括：光罩载台、对应光罩载台设置的光源、设于所述光罩载台下方的放大光路、设于所述放大光路下方的基板载台、设于所述光罩载台与放大光路之间的第一遮光叶片(Ymaskingblade)以及设于所述基板载台与放大光路之间的第二遮光叶片(Xmaskingblade)，在曝光前第一遮光叶片与第二遮光叶片会移动到曝光程序(Recipe)设定的位置，遮挡出曝光程序设定的曝光区域，避免已涂布成膜(Coating)的基板其他区域被曝光，导致图形缺失。如图1所示，现有的曝光机中设有沿水平方向相对设置的第一前遮光叶片1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光机，其特征在于，包括：光罩载台(10)、光罩(61)、光罩保护膜(62)、第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)；所述光罩(61)设于所述光罩载台(10)的下方，所述光罩保护膜(62)遮挡所述光罩(61)远离所述光罩载台(10)的一侧表面，所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)位于所述光罩保护膜(62)远离所述光罩(61)的一侧并与所述光罩保护膜(62)间隔，且所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)沿水平方向相对设置；所述第一前遮光叶片(21)包括：竖直部(211)、与所述竖直部(211)的底边相连并往远离所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸的第一水平部...

【技术特征摘要】
1.一种曝光机，其特征在于，包括：光罩载台(10)、光罩(61)、光罩保护膜(62)、第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)；所述光罩(61)设于所述光罩载台(10)的下方，所述光罩保护膜(62)遮挡所述光罩(61)远离所述光罩载台(10)的一侧表面，所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)位于所述光罩保护膜(62)远离所述光罩(61)的一侧并与所述光罩保护膜(62)间隔，且所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)沿水平方向相对设置；所述第一前遮光叶片(21)包括：竖直部(211)、与所述竖直部(211)的底边相连并往远离所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸的第一水平部(212)以及与所述竖直部(211)的顶边相连并往靠近所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸的第二水平部(213)，所述竖直部(211)上设有开口(214)，所述开口(214)的顶部及侧部均设有遮光片(215)。2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述开口(214)的形状为矩形，所述遮光片(215)包括：一沿所述开口(214)的顶边设置的水平的顶遮光片(2151)以及两分别沿所述开口(214)的两侧边设置的竖直的侧遮光片(2152)；所述顶遮光片(2151)和侧遮光片(2152)均往远离所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸。3.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括：设于所述光罩载台(10)上方的光源(30)、设于所述光源(30)与光罩载台(10)之间的弧形狭缝单元(40)、设于所述弧形狭缝单元(40)与光罩载台(10)之间的校准示波器(60)、设于光罩载台(10)下方的基板载台(50)以及设于所述光罩载台(10)与基板载台(50)之间的放大光路(70)；所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王维，林明文，江敏成，许俊安，熊定，蔡在秉，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44