大尺寸掩膜基板的制作方法技术

本发明专利技术涉及一种大尺寸掩膜基板的制作方法，包括：提供多条横向膜片和多条纵向膜片；将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔；通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧，使得所述蒸镀孔的尺寸达到预定值；采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，以形成所述掩膜基板。根据本发明专利技术提供的大尺寸掩膜基板的制作方法，可以形成大尺寸的掩膜基板，其取材方便，成本低，工艺简单，能够满足大尺寸显示器件的要求。此外，形成的掩膜基板上表面的平面度更高，达到更好的蒸镀效果，提高产品良率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机电致发光器件制造
，特别涉及一种大尺寸掩膜基板的制作方法。
技术介绍
有机电致发光二极管(OrganicLight-EmittingDiodes，OLED)是自发光器件，不需要背光源，外观轻、薄，而传统的液晶显示器(LCD)需要背光源才能工作，外观尺寸较厚。有机发光二极管显示器的功耗低，视角宽，屏幕响应快，是最能符合人们未来对显示器功能要求的技术。因此，有机发光二极管有望在不久的将来取代液晶显示器，具有很高的市场潜力。有机小分子发光二极管在制作过程中，目前较成熟的技术是采用真空蒸镀技术，在器件制备过程中，有机材料会淀积在位于蒸发源上方的基板上，为形成特有的图案，在基板下方紧贴有掩膜基板，掩膜基板上留有预先设计排版好的蒸镀孔，最终有机材料会通过掩膜基板上的蒸镀孔淀积到基板上面。然而，现有技术中，由于掩膜基板无法形成大尺寸，例如1.7m*2.5m*0.6m或者2.25m*3.3m*0.6m,所以，也无法生产出大尺寸显示器。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术的目的在于提供一种大尺寸掩膜基板的制作方法。为了实现上述目的，本专利技术实施例的大尺寸掩膜基板的制作方法，包括：提供多条横向膜片和多条纵向膜片；将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔；通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧，使得所述蒸镀孔的尺寸达到预定值；采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，以形成所述掩膜基板。根据本专利技术提供的大尺寸掩膜基板的制作方法，提供多条横向膜片和多条纵向膜片，将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔，通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧，使得所述蒸镀孔的尺寸达到预定值；采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，以形成所述掩膜基板。如此，可以形成大尺寸的掩膜基板，其取材方便，成本低，工艺简单，能够满足大尺寸显示器件的要求。另外，根据本专利技术上述实施例的大尺寸掩膜基板的制作方法还可以具有如下附加的技术特征：根据本专利技术的一个实施例，所述将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置之前，还包括：在每个所述横向膜片的下表面设置多个沿纵向延伸的第一凹槽，多个所述第一凹槽沿横向间隔分布于所述横向膜片上，每个所述第一凹槽纵向的两端敞开；在每个所述纵向膜片的上表面间隔设置有多个沿横向延伸的第二凹槽，多个所述第二凹槽沿纵向间隔分布于所述纵向膜片上，每个所述第二凹槽横向的两端敞开；所述采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定之前还包括：将相交的所述横向膜片和所述纵向膜片中所述横向膜片上的所述第一凹槽与所述纵向膜片上对应的所述第二凹槽上下相对；在所述横向膜片和所述纵向膜片张紧后，将横向膜片上的所述第一凹槽位置与纵向膜片上相对的所述第二凹槽位置嵌合，以使所述横向膜片的上表面和所述纵向膜片的上表面平齐。根据本专利技术的一个实施例，所述采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定具体为：采用激光点焊工艺在相交的所述横向膜片和所述纵向膜片上第一凹槽与第二凹槽嵌合位置焊接固定。根据本专利技术的一个实施例，所述第一凹槽的宽度略小于所述纵向膜片的宽度，所述第二凹槽的宽度略小于所述横向膜片的宽度，以使通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧后的第一凹槽在宽度等于所述纵向膜片的宽度，所述第二凹槽的宽度等于所述横向膜片的宽度。根据本专利技术的一个实施例，所述第一凹槽的深度等于所述纵向膜片的厚度减去所述第二凹槽的深度，所述第二凹槽的深度等于所述横向膜片的厚度减去所述第一凹槽的深度。根据本专利技术的一个实施例，所述将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置之前，还包括：对所述多条横向膜片和多条纵向膜片进行热处理。根据本专利技术的一个实施例，所述采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定步骤中，在所述纵向膜片或所述横向膜片的下表面焊接，以使焊点形成于所述纵向膜片或所述横向膜片的下表面。附图说明图1是现有技术中掩膜板的结构示意图；图2是本专利技术一个实施例大尺寸掩膜基板的制作方法的流程图；图3是本专利技术实施例大尺寸掩膜基板的制作方法中横向膜片和纵向膜片纵横交错布置的结构示意图；图4是本专利技术实施例大尺寸掩膜基板的制作方法中形成掩膜基板的结构示意图；图5是本专利技术另一个实施例大尺寸掩膜基板的制作方法的流程图；图6是本专利技术另一个实施例大尺寸掩膜基板的制作方法中横向膜片和纵向膜片纵横交错布置的结构示意图；图7是图6中A处的局部放大图；图8是图6中B处的局部放大图；图9是本专利技术另一个实施例大尺寸掩膜基板的制作方法中形成掩膜基板的结构示意图。本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是...

【技术保护点】
一种大尺寸掩膜基板的制作方法，其特征在于，包括：提供多条横向膜片和多条纵向膜片；将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分布多个方形的蒸镀孔；通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧，使得所述蒸镀孔的尺寸达到预定值；采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，以形成所述掩膜基板。

【技术特征摘要】
1.一种大尺寸掩膜基板的制作方法，其特征在于，包括：
提供多条横向膜片和多条纵向膜片；
将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置，以形成矩阵分
布多个方形的蒸镀孔；
通过张紧机将纵横交错布置的所述横向膜片和所述纵向膜片张紧，使得
所述蒸镀孔的尺寸达到预定值；
采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固定，
以形成所述掩膜基板。
2.根据权利要求1所述的大尺寸掩膜基板的制作方法，其特征在于，所
述将多条所述横向膜片与多条所述纵向膜片纵横交错布置之前，还包括：
在每个所述横向膜片的下表面设置多个沿纵向延伸的第一凹槽，多个所
述第一凹槽沿横向间隔分布于所述横向膜片上，每个所述第一凹槽纵向的两
端敞开；
在每个所述纵向膜片的上表面间隔设置有多个沿横向延伸的第二凹槽，
多个所述第二凹槽沿纵向间隔分布于所述纵向膜片上，每个所述第二凹槽横
向的两端敞开；
所述采用焊接工艺将张紧后的所述横向膜片和所述纵向膜片相对焊接固
定之前还包括：
将相交的所述横向膜片和所述纵向膜片中所述横向膜片上的所述第一凹
槽与所述纵向膜片上对应的所述第二凹槽上下相对；
在所述横向膜片和所述纵向膜片张紧后，将横向膜片上的所述第一凹槽
位置与纵向膜片上相对的所述第二凹槽位置嵌合，以使所述横向膜片的上表
面和所述纵向膜片的上表面平齐。

【专利技术属性】
技术研发人员：唐军，
申请(专利权)人：唐军，
类型：发明
国别省市：广东;44