模具的制造方法及防反射膜的制造方法技术

一种具有从表面的法线方向看时二维大小是10nm以上且不满500nm的多个凹部的表面的模具的制造方法，包含：工序(a)，准备模具基材(10)；工序(b)，通过将铝合金层(18)部分进行阳极氧化，形成具有多个凹部(14p)的多孔氧化铝层(14)；工序(c)，通过将多孔氧化铝层接触蚀刻液，扩大多个凹部；工序(d)，检测形成于多孔氧化铝层或基材表面的突出部(210)；工序(e)，判定检测的突出部的高度是否比预先设定的高度高；以及工序(f)，在工序(e)中，在判定高的情况，通过照射激光于突出部，使突出部的高度比预先设定的高度低。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】模具的制造方法及防反射膜的制造方法
本专利技术涉及模具的制造方法及防反射膜的制造方法，例如，涉及在表面具有反转蛾眼结构的模具的制造方法及使用模具制造的防反射膜的制造方法。在此所说的「模具」包含用于各种加工方法(压印、铸造)的模具，有时也称为压模。另外，也能用于印刷(包括纳米印刷)。
技术介绍
通常，为了减少表面反射、提高光的透射量，对用于电视、便携式电话等的显示装置、相机镜头等光学元件施行防反射技术。其原因是，例如，如光入射到空气和玻璃的界面的情况那样在光通过折射率不同的介质的界面的情况下，菲涅耳反射等会导致光的透射量减少，视认性下降。近年来，作为防反射技术，在基板表面形成将凹凸的周期控制为可见光(λ＝380nm～780nm)波长以下的微小凹凸图案的方法受到关注(参照专利文献1至3)。构成发挥防反射功能的凹凸图案的凸部的二维大小是10nm以上且小于500nm。在此，凸部的「二维大小」是指从表面的法线方向看时面积圆等效直径，例如，凸部是圆锥形的情况，凸部的二维大小相当于圆锥的底面的直径。凹部的「二维大小」也是一样。该方法利用所谓蛾眼(Moth-eye，蛾子的眼睛)结构的原理，使相对于入本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种模具的制造方法，所述模具在表面具有从表面的法线方向看时二维大小是10nm以上且不满500nm的多个凹部，其特征在于，包含：工序(a)，准备模具基材，所述模具基材具有金属基材及形成于所述金属基材上的铝合金层；工序(b)，通过将所述铝合金层局部进行阳极氧化，形成具有多个细微凹部的多孔氧化铝层；工序(c)，在所述工序(b)后，通过将所述多孔氧化铝层接触蚀刻液，扩大所述多孔氧化铝层的所述多个细微凹部；工序(d)，检测形成于所述多孔氧化铝层或所述基材表面的突出部；工序(e)，判定在所述工序(d)中检测的所述突出部的高度是否比预先设定的高度高；以及工序(f)，在所述工序(e)中，在判定所述突出部的高度...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.11.06 JP 2014-2261621.一种模具的制造方法，所述模具在表面具有从表面的法线方向看时二维大小是10nm以上且不满500nm的多个凹部，其特征在于，包含：工序(a)，准备模具基材，所述模具基材具有金属基材及形成于所述金属基材上的铝合金层；工序(b)，通过将所述铝合金层局部进行阳极氧化，形成具有多个细微凹部的多孔氧化铝层；工序(c)，在所述工序(b)后，通过将所述多孔氧化铝层接触蚀刻液，扩大所述多孔氧化铝层的所述多个细微凹部；工序(d)，检测形成于所述多孔氧化铝层或所述基材表面的突出部；工序(e)，判定在所述工序(d)中检测的所述突出部的高度是否比预先设定的高度高；以及工序(f)，在所述工序(e)中，在判定所述突出部的高度比所述预先设定的高度高的情况，通过照射激光于所述突出部，使所述突出部的高度比所述预先设定的高度低。2.如权利要求1所述的模具的制造方法，其特征在于，所述工序(d)是检测形成于所述多孔氧化铝层的表面的突出部的工序，所述工序(d)、所述工序(e)及所述工序(f)是在所述工序(b)及所述工序(c)之后进行。3.如权利要求1所述的模具的制造方法，其特征在于，所述工序(d)是检测形成于所述模具基材的表面的突出部的工序，所述工序(d)、所述工序(e)及所述工序(f)是在所述工序(b)及所述工序(c)之前进行。4.如权利要求1至3中任一项所述的模具的制造方法，其特征在于，所述预先设定...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田信明，林秀和，山田美穗，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP