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模具的制造方法及防反射膜的制造方法技术
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文档序号:16178520
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一种具有从表面的法线方向看时二维大小是10nm以上且不满500nm的多个凹部的表面的模具的制造方法,包含:工序(a),准备模具基材(10);工序(b),通过将铝合金层(18)部分进行阳极氧化,形成具有多个凹部(14p)的多孔氧化铝层(14)...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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