The invention discloses a special grinding polishing liquid petroleum instrument, comprises the following components in part by weight, 35 45 alumina and silicon oxide 15 25 copies, 15 copies, 10 melamine sodium polystyrene sulfonate 5 10 copies, 15 copies, 11 cerium oxide methacrylate 3 9 copies, 5, 2 sodium silicate zirconia 1 3, 4 9, eighteen ethyl acetate alkyl three methyl bromide 4 13 copies, 7 copies, 2 polyoxyethylene ether two dimethyl sulfoxide 4 cyclohexane 8, carboxymethyl cellulose 3 6 copies, 8 copies of the 2 chelating agent. The preparation method of the invention is simple and easy to realize, and the grinding accuracy and the grinding efficiency of the grinding liquid prepared by the method are improved.
【技术实现步骤摘要】
一种石油仪器用抛光专用研磨液
本专利技术涉及一种研磨液，具体涉及一种石油仪器用抛光专用研磨液。
技术介绍
随着现有生活发展的精细化，抛光工艺应用广泛，特别是在微电子领域，随着大量装置体积的日益轻薄，对其性能的要求反而越来越高，相应的对抛光工艺的要求也进一步提高。研磨材料为抛光技术的必需品，为研磨液组合物的重要组分，对其性能要求也越来越严格，目前，普遍采用的研磨材料一般为氧化铝、氧化锆、金刚石、氧化硅、氧化铈、氧化钛、氮化硅等，但在实际应用中，现有粒子的粒径小、表面活性大，粒子间相互作用力强，已分散好的纳米粒子易发生团聚，影响研磨液组合物的性能；同时研磨粒子如纳米金刚石、三氧化二铝、氧化锆、氮化硅等，硬度均较大，抛光过程中对表面的损伤较严重，不仅造成表面粗糙度较大，还易出现抛光划痕、凹坑等表面缺陷；同时分散性、稳定性较好的氧化硅等材料的抛光速率又较低，不能满足现有技术的要求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于针对现有技术的不足，现提供一种石油仪器用抛光专用研磨液。为解决上述技术问题，本专利技术采用的技术方案为：一种石油仪器用抛光专用研磨液，其创新点在于：由以下重量份的组分组成，氧化铝35-45份、氧化硅15-25份、三聚氰胺10-15份、聚苯乙烯磺酸钠5-10份、氧化铈11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸钠2-5份、氧化锆1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亚砜环己烷4-8份、羟甲基纤维素3-6份、螯合剂2-8份。进一步的，由以下重量份的组分组成，氧化铝40份、氧化硅20份、三聚氰胺13份、聚苯乙烯磺酸钠8份、...
【技术保护点】
一种石油仪器用抛光专用研磨液，其特征在于：由以下重量份的组分组成，氧化铝35‑45份、氧化硅15‑25份、三聚氰胺10‑15份、聚苯乙烯磺酸钠5‑10份、氧化铈11‑15份、甲基丙烯酸3‑9份、硅酸钠2‑5份、氧化锆1‑3份、乙酸乙脂4‑9份、十八烷基三甲基溴化胺4‑13份、聚氧乙烯醚2‑7份、二甲亚砜环己烷4‑8份、羟甲基纤维素3‑6份、螯合剂2‑8份。
【技术特征摘要】
1.一种石油仪器用抛光专用研磨液，其特征在于：由以下重量份的组分组成，氧化铝35-45份、氧化硅15-25份、三聚氰胺10-15份、聚苯乙烯磺酸钠5-10份、氧化铈11-15份、甲基丙烯酸3-9份、硅酸钠2-5份、氧化锆1-3份、乙酸乙脂4-9份、十八烷基三甲基溴化胺4-13份、聚氧乙烯醚2-7份、二甲亚砜环己烷4-8份、羟甲基纤维素3...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐生荣，
申请(专利权)人：南通华兴石油仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32
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