单晶炉籽晶夹头和具有其的籽晶夹头机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单晶炉籽晶夹头和具有其的籽晶夹头机构。单晶炉籽晶夹头包括夹头本体、籽晶定位孔以及杂质收集槽，夹头本体由石墨材料制成，较现有技术中的由金属材料制成的籽晶夹头，其能够有效地防止杂质进入到熔融状态的多晶硅中；杂质收集槽设置于夹头本体的上端部，且环绕籽晶定位孔设置，以能够接收上端面上方掉落的杂质，以防止杂质进入到熔融状态的多晶硅中影响单晶硅棒的生长，从而可以提高单晶硅的成晶率。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉籽晶夹头和具有其的籽晶夹头机构
本技术总体来说涉及一种单晶硅制备
，具体而言，涉及一种单晶炉籽晶夹头。本技术还涉及一种具有该单晶炉籽晶夹头的籽晶夹头机构。
技术介绍
单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必备设备，而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料，是目前世界上最重要的单晶材料之一，它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料，也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。在单晶硅的制造工艺中，需要用籽晶对单晶炉内真空环境下的熔融状态的多晶硅进行引晶。如图6为现有的籽晶夹头机构的结构示意图，籽晶通常安装在籽晶夹头3'上，该籽晶夹头3'装在重锤1上，通过重锤1带动籽晶旋转、提拉，并实现单晶硅棒生长。目前使用的籽晶夹头3'根据籽晶类型的不同而呈现不同的结构类型。现有籽晶夹头3'大部分采用金属材料制成，例如钼，该由金属材料制成的籽晶夹头3'经常处于高温环境下，其表面容易形成一些氧化物或其他杂质，在单晶硅生长过程中该氧化物或者杂质容易掉入到熔融状态的多晶硅中，给单晶硅的生长带来不利影响，例如导致单晶硅棒产生位错或断棱，从而导致长晶失败。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶炉籽晶夹头，其特征在于，所述单晶炉籽晶夹头包括：夹头本体，所述夹头本体由石墨材料制成；籽晶定位孔，所述籽晶定位孔设置于所述夹头本体以用于固定籽晶；杂质收集槽，所述杂质收集槽设置于所述夹头本体的上端部，且环绕所述籽晶定位孔设置，以能够接收上端面上方掉落的杂质。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉籽晶夹头，其特征在于，所述单晶炉籽晶夹头包括：夹头本体，所述夹头本体由石墨材料制成；籽晶定位孔，所述籽晶定位孔设置于所述夹头本体以用于固定籽晶；杂质收集槽，所述杂质收集槽设置于所述夹头本体的上端部，且环绕所述籽晶定位孔设置，以能够接收上端面上方掉落的杂质。2.如权利要求1所述的单晶炉籽晶夹头，其特征在于，所述籽晶定位孔包括由上端朝向下端方向依次首尾连通的第一定位孔、直径逐渐变小的锥形过渡孔以及第二定位孔，所述第一定位孔和所述第二定位孔的横截面分别为圆形，所述第一定位孔的直径大于所述第二定位孔的直径。3.如权利要求2所述的单晶炉籽晶夹头，其特征在于，所述夹头本体上设置有用于与重锤连接的第一螺纹孔和与该第一螺纹孔连通的第一透气孔；所述第一透气孔与外界连通；所述第一螺纹孔与所述籽晶定位孔连通，并且所述第一螺纹孔的直径大于或者等于所述第一定位孔的直径，以能够使籽晶进入所述籽晶定位孔。4.如权利要求3所述的单晶炉籽晶夹头，其特征在于，所述籽晶定位孔的中心轴线、所述第一螺纹孔的中心轴线以及所述夹头本体的中心轴线重合。5.如权利要求1所述的单晶炉籽晶夹头，其特征在于，所述夹头本体下...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹凯，陈家俊，徐由兵，李英涛，田栋东，曾世铭，
申请(专利权)人：包头市山晟新能源有限责任公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古,15