蒸发源装置及蒸发镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。本实用新型专利技术将分离式的角度板变为只形成一个蒸发出口的角度板，确保多种材料从同一个蒸发出口蒸镀到玻璃基板上，保证多种材料混合度更加均一，从而保证蒸镀到玻璃基板上的膜层不会因材料蒸发的角度问题出现分层现象，可提高Profile重合性(＞80％)，继而保证了器件具有更高的效率。

【技术实现步骤摘要】
蒸发源装置及蒸发镀膜设备
本技术涉及蒸发镀膜
，特别是指一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备。
技术介绍
板显示包括LCD(液晶显示器)显示、OLED(有机电致发光二极管)显示、PDP(等离子显示板)显示和电子墨水显示等多种，OLED显示具有轻薄、低功耗、高对比度、高色域、可以实现柔性显示等优点，是下一代显示器的发展趋势。OLED显示包括PMOLED(PassivematrixOrganicLight-EmittingDiode，被动矩阵有机电激发光二极管)显示和AMOLED(ActivematrixOrganicLight-EmittingDiode，主动矩阵有机发光二极体)显示。其中AMOLED显示的实现方式有低温多晶硅(LTPS)背板+精细金属掩膜(FMMMask)的方式，和Oxide(氧化物)背板+WOLED(白光有机电致发光二极管)+彩膜的方式。前者主要应用于小尺寸面板，对应手机和移动应用；后者主要应用于大尺寸面板，对应显示屏和电视等应用。现在LTPS背板+FMMMask的方式已经初步成熟，并实现了量产。精细金属掩膜(FMMMask)模式，是通过蒸镀方式将OLED材料按照预定本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸发源装置，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。

【技术特征摘要】
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述喷嘴组的四周分别设置有角度板，所述喷嘴组四周的角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板设置有用于使所述角度板温度升高的电热元件。4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板的内部为中空结构，所述电热元件设置于所述中空结构中。5.根据权利要求3或4所述的蒸发源装置，其特征在于，所述电热元件选自...

【专利技术属性】
技术研发人员：李建，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京,11