限制板单元和蒸镀单元以及蒸镀装置制造方法及图纸

蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42)，在X轴方向，相对于每1块第一限制板(32)设置有至少2块第二限制板(42)。

Limiting plate unit and evaporation unit and evaporation device

The evaporation unit (1) has a vapor deposition mask (50), a vapor deposition source (10) and a limiting plate unit (20). Limit plate element (20) having a plurality of first separated limit plate is arranged in the direction of X axis (32) and look at in the first limiting board (32) more than second in the direction of X axis spaced limit plate (42), in the direction of the X axis with respect to each 1 block of the first limiting board (32) set at least 2 block second limit plate (42).

【技术实现步骤摘要】
限制板单元和蒸镀单元以及蒸镀装置本案是申请日为2014年3月10日、申请号为201480033438.8、专利技术名称为限制板单元和蒸镀单元以及蒸镀装置的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及用于在被成膜基板上形成规定图案的蒸镀膜的限制板单元和蒸镀单元以及蒸镀装置。
技术介绍
近年来，在各种商品和领域中利用平板显示器，要求平板显示器进一步大型化、高画质化、低消耗电力化。在这样的状况下，具备利用有机材料的电场发光(电致发光；以下记为“EL”)的有机EL元件的有机EL显示装置，作为全固体型且在低电压驱动、高速响应性、自发光性等方面优异的平板显示器，受到高度关注。有机EL显示装置，例如在有源矩阵方式的情况下，具有如下结构：在设置有TFT(薄膜晶体管)的由玻璃基板等构成的基板上，设置有与TFT电连接的薄膜状的有机EL元件。在全彩色的有机EL显示装置中，一般而言，在基板上作为子像素排列形成有红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)的各色的有机EL元件，使用TFT使这些有机EL元件有选择地以期望的亮度发光，由此，进行图像显示。因此，为了制造这样的有机EL显示装置，需要在每个有机EL元件以规定图案形成至少本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀单元，其特征在于，具备：蒸镀掩模；向所述蒸镀掩模射出蒸镀颗粒的蒸镀源；和设置在所述蒸镀掩模与蒸镀源之间，限制从蒸镀源射出的蒸镀颗粒的通过角度的限制板单元，当将与被成膜基板的被蒸镀面的法线方向和被成膜基板的扫描方向垂直的方向设为第一方向时，所述限制板单元具备在所述第一方向相互隔开地设置的多个第一限制板，在所述第一限制板的上表面，沿着所述第一限制板，在所述第一方向设置有至少2个突起部。

【技术特征摘要】
2013.06.11 JP 2013-1227851.一种蒸镀单元，其特征在于，具备：蒸镀掩模；向所述蒸镀掩模射出蒸镀颗粒的蒸镀源；和设置在所述蒸镀掩模与蒸镀源之间，限制从蒸镀源射出的蒸镀颗粒的通过角度的限制板单元，当将与被成膜基板的被蒸镀面的法线方向和被成膜基板的扫描方向垂直的方向设为第一方向时，所述限制板单元具备在所述第一方向相互隔开地设置的多个第一限制板，在所述第一限制板的上表面，沿着所述第一限制板，在所述第一方向设置有至少2个突起部。2.如权利要求1所述的蒸镀单元，其特征在于：在从与所述蒸镀掩模的主面垂直的方向看时，在所述第一限制板间分别设置有所述蒸镀源的蒸镀颗粒的射出口，与所述被成膜基板的被蒸镀面的法线方向和所述第一方向垂直的第二方向的所述突起部的长度，比该第二方向的所述第一限制板的长度短，在从与所述蒸镀掩模的主面垂直的方向看时，所述突起部与所述射出口相邻地设置。3.如权利要求1或2所述的蒸镀单元，其特征在于：...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林勇毅，菊池克浩，川户伸一，井上智，越智贵志，松本荣一，市原正浩，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP