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限制板单元和蒸镀单元以及蒸镀装置制造方法及图纸
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下载限制板单元和蒸镀单元以及蒸镀装置的技术资料
文档序号:16059620
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蒸镀单元(1)具备蒸镀掩模(50)、蒸镀源(10)和限制板单元(20)。限制板单元(20)具备在X轴方向隔开设置的多个第一限制板(32)和俯视时在第一限制板(32)上在X轴方向隔开设置的多个第二限制板(42),在X轴方向,相对于每1块第一限...
该专利属于夏普株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过夏普株式会社授权不得商用。
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