一种高洁净度的芯片除尘箱制造技术

本发明专利技术公开了一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体，箱体的前侧敞口并在敞口处设置箱门；还包括：气泵；盘式喷头，设置于箱体内；电机，设置于箱体内；转盘，由电机驱动可转动地设置于箱体内；集尘室，设置在箱体两侧的外部；风机，设置于集尘室中；盘式喷头与气泵连接并且位于转盘的上方面朝转盘设置；箱体与集尘室连通，集尘室具有一出气管。本发明专利技术具有的有益效果：通过高压气流对芯片进行吹屑，除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。

Chip dust removing box for Gao Jie clarity

The invention discloses a chip dust box, a Gao Jie steel box comprises a box body, front open mouth and in the open set box door; also includes: air pump; disc nozzle is arranged in the box body; the motor is arranged in the box body; the turntable, driven by a motor rotatably arranged in the box body; set the dust chamber is arranged outside the box body on both sides; fan arranged in the dust collecting chamber; the disc nozzle is connected with the air pump and rotary dial is in the box; with the dust collecting chamber communicated with the dust collecting chamber has an air outlet. The invention has the beneficial effects that the chip is blown by the high pressure air flow, and no loss is caused during the dust removing process, thereby ensuring higher dust removal rate.

【技术实现步骤摘要】
一种高洁净度的芯片除尘箱
本专利技术属于芯片加工
，具体涉及一种高洁净度的芯片除尘箱。
技术介绍
芯片是所有电气元件不可缺少的部分之一，芯片的好坏直接决定了电气设备性能的强弱。在制造芯片时，从原材料到最后封装芯片的每个环节都不可避免的产生尘屑，整个工序下来芯片上的积尘较多从而不得不进行除尘处理从而避免产生静电危害等能够造成芯片严重损害的情况发生。目前用于芯片除尘的装置采用的方式主要是毛刷扫除，毛刷的刷毛不断扫过芯片从而将其表面的尘屑扫除并进一步通过风机吸走。这种方式的优点是处理量大，可以通过旋转毛刷实现大面积和高效率的除尘工作。但是，这种方式也存在缺点。由于毛刷存在损耗，随着使用时间的增加，刷毛会逐渐脱落并且一部分刷毛会成为尘屑的一部反从而在结束除尘后落在芯片上从而造成芯片不洁；毛刷掉毛过多后也会降低自身的清洁能力从而使除尘效率大大折扣，这时候便需要更换毛刷，如此一来便提高了成本开支。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种高洁净度的芯片除尘箱，通过高压气流对芯片进行吹屑，除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。为解决现有技术问题，本专利技术公开了一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体，箱体的前侧敞口并在敞口处设置箱门；还包括：气泵；盘式喷头，设置于箱体内；电机，设置于箱体内；转盘，由电机驱动可转动地设置于箱体内；集尘室，设置在箱体两侧的外部；风机，设置于集尘室中；盘式喷头与气泵连接并且位于转盘的上方面朝转盘设置；箱体与集尘室连通，集尘室具有一出气管。进一步地，盘式喷头具有一个喷头本体和连接喷头本体和气泵的高压气管。进一步地，喷头本体为正方形结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔，分流腔连通高压气管；喷头本体的下表面具有若干用于使气流从分流腔中喷出的气孔。进一步地，喷头本体为圆形结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔，分流腔连通高压气管；喷头本体的下表面具有若干用于使气流从分流腔中喷出的气孔。进一步地，还包括：防逆流挡片，转动设置在集尘室与箱体的连通处；防逆流挡片能够在风机的吸力作用下开启，也能够在自身重力作用下关闭。进一步地，还包括：限位块，设置在集尘室内；防逆流挡片开启角度达到30～45°时碰触限位块。进一步地，集尘室中设置有用于将气流引导至出气管的导流片。进一步地，集尘室中设置有用于将气流引导至出气管的导流网。进一步地，出气管处设置过滤网。进一步地，还包括：灰尘传感器，设置在箱体内用于检测其内部的灰尘浓度。本专利技术具有的有益效果：通过高压气流对芯片进行吹屑，除尘过程不产生任何损耗确保较高的除尘率。附图说明图1为本专利技术的结构立体图；图2为本专利技术的结构主视图图3为本专利技术的结构侧视图；图4为图3中A-A向剖视图。附图标记：1箱体；1.1敞口；2喷头本体；2.1分流腔；2.2气孔；3转盘；4电机；5集尘室；6出气管；7防逆流挡片；8高压气管；9限位块；10导流片。具体实施方式下面结合附图对本专利技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本专利技术的技术方案，而不能以此来限制本专利技术的保护范围。如图1至4所示，一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体1，箱体1的前侧敞口1.1并在敞口1.1处设置箱门；还包括：气泵；盘式喷头，设置于箱体1内；电机4，设置于箱体1内；转盘3，由电机4驱动可转动地设置于箱体1内；集尘室5，设置在箱体1两侧的外部；风机，设置于集尘室5中；盘式喷头与气泵连接并且位于转盘3的上方面朝转盘3设置；箱体1与集尘室5连通，集尘室5具有一出气管6。使用时，将箱门打开，将若干待清洁的芯片等距排列设置在转盘3上并对芯片进行适当的固定。然后启动电机4使转盘3旋转，启动气泵产生气流，启动风机产生吸力，气流在分流腔2.1中分流并经过气孔2.2喷出产生高速气流，高速气流冲击芯片表面从而将尘屑吹离。尘屑脱离芯片后在吸力作用下从箱体1内进入集尘室5中，最终经过出气管6排到外界环境中。除尘结束，关闭电机4、风机和气泵，打开箱门将芯片逐个取出即可。作为优选方案，盘式喷头具有一个喷头本体2和连接喷头本体2和气泵的高压气管8。作为优选方案，喷头本体2为正方形结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔2.1，分流腔2.1连通高压气管8；喷头本体2的下表面具有若干用于使气流从分流腔2.1中喷出的气孔2.2。作为另一种优选方案，喷头本体2为圆形结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔2.1，分流腔2.1连通高压气管8；喷头本体2的下表面具有若干用于使气流从分流腔2.1中喷出的气孔2.2。这样能够使气流分成多股高速气流，增大扫除面积，避免清理死角。作为优选方案，还包括：防逆流挡片7，转动设置在集尘室5与箱体1的连通处；防逆流挡片7能够在风机的吸力作用下开启，也能够在自身重力作用下关闭。这样能够避免除尘结束后，漂浮的尘屑再次回到箱体1内，提高了除尘率。作为优选方案，还包括：限位块9，设置在集尘室5内；防逆流挡片7开启角度达到30～45°时碰触限位块9。这样能够防止防逆流挡片7过度开启而阻挡气流进入出气管6。作为优选方案，集尘室5中设置有用于将气流引导至出气管6的导流片10。这样能够使气流更快的进入排气管中而排出，避免在集尘室5的角落处形成旋流而影响出气速度。作为优选方案，集尘室5中设置有用于将气流引导至出气管6的导流网。导流网的作用之一与导流片10相同，另一个作用则是对尘屑进行吸附过滤从而适用于在某些不适合直接排入外界的环境中的情况。作为优选方案，出气管6处设置过滤网。过滤网的作用与导流网第二个作用相同，故不赘述。作为优选方案，还包括：灰尘传感器，设置在箱体1内用于检测其内部的灰尘浓度。这样能够实时监测箱体1内的尘屑浓度，当浓度值下降到某一合理值时则可认为除尘结束，关闭电机4等部件即可，更加直观的监控和掌握整个除尘作业的全过程。以上所述仅是本专利技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本专利技术技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本专利技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体（1），所述箱体（1）的前侧敞口（1.1）并在敞口（1.1）处设置箱门；其特征在于：还包括：气泵；盘式喷头，设置于所述箱体（1）内；电机（4），设置于所述箱体（1）内；转盘（3），由所述电机（4）驱动可转动地设置于所述箱体（1）内；集尘室（5），设置在所述箱体（1）两侧的外部；风机，设置于所述集尘室（5）中；所述盘式喷头与所述气泵连接并且位于所述转盘（3）的上方面朝所述转盘（3）设置；所述箱体（1）与所述集尘室（5）连通，所述集尘室（5）具有一出气管（6）。

【技术特征摘要】
1.一种高洁净度的芯片除尘箱，包括箱体（1），所述箱体（1）的前侧敞口（1.1）并在敞口（1.1）处设置箱门；其特征在于：还包括：气泵；盘式喷头，设置于所述箱体（1）内；电机（4），设置于所述箱体（1）内；转盘（3），由所述电机（4）驱动可转动地设置于所述箱体（1）内；集尘室（5），设置在所述箱体（1）两侧的外部；风机，设置于所述集尘室（5）中；所述盘式喷头与所述气泵连接并且位于所述转盘（3）的上方面朝所述转盘（3）设置；所述箱体（1）与所述集尘室（5）连通，所述集尘室（5）具有一出气管（6）。2.根据权利要求1所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述盘式喷头具有一个喷头本体（2）和连接所述喷头本体（2）和气泵的高压气管（8）。3.根据权利要求2所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述喷头本体（2）为正方形结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）连通所述高压气管（8）；所述喷头本体（2）的下表面具有若干用于使气流从所述分流腔（2.1）中喷出的气孔（2.2）。4.根据权利要求2所述的一种高洁净度的芯片除尘箱，其特征在于：所述喷头本体（2）为圆形结构体，其内部具有用于气体分流的分...

【专利技术属性】
技术研发人员：张文杰，谢亮，金湘亮，
申请(专利权)人：江苏芯力特电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32