The utility model discloses an air conditioning system for clean rooms, including fresh air machine, dehumidifier, for high pressure spray device of circulating air humidification of the air conditioning system, used for circulating air dry coil temperature regulation, as well as for fan filter unit to filter the air circulation wind; machine and dehumidifier is arranged on the outer side of the air in the clean room, clean room air machine is connected through the side of the dehumidifier to the high-pressure spray device is arranged in the air channel, the air layer of the fan filter unit is arranged at the top of the clean room, a dry coil is arranged between the air passageway and air layer. The air conditioning system for clean room by the fresh air and circulating air purification, improve clean indoor air cleanliness, the system through the air preheating or precooling treatment can improve the control of the clean indoor circulating air temperature; in addition, the the system of each unit and pipeline space small, low noise operation.
【技术实现步骤摘要】
一种用于洁净室的空调系统
本技术涉及空调领域,特别涉及一种用于洁净室的空调系统。
技术介绍
生产半导体等电子元件的洁净室对空气的洁净度、温度和湿度的要求更为严格。洁净室的常规空调系统包括新风机组、一次回风循环机组以及高效过滤器。但是这种形式的空调系统存在空气的温度、湿度调节困难,空气洁净度难以保证,此外,还存在一次回风循环机组占用空间大、一次回风循环机组的送风管到和回风管道庞大、过长等问题。可见,现有技术还有待改进和提高。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足之处,本技术的目的在于提供一种用于洁净室的空调系统,旨在便于调节洁净室内空气的温度、湿度,并且提高空气洁净度。为了达到上述目的,本技术采取了以下技术方案:一种用于洁净室的空调系统,包括用于抽吸室外新风并对新风进行净化、预热或预冷处理的新风机,用于对新风进行除湿的除湿机,用于对所述空调系统中的循环风加湿的高压喷雾装置,用于对循环风进行温度调节的干盘管,以及用于对循环风进行过滤的风机过滤单元;所述新风机和除湿机设置于洁净室外侧,所述新风机通过除湿机连接洁净室侧面的回风夹道,所高压喷雾装置设置于回风夹道中,所述风机过滤单元设置洁净室顶部的送风层中,所述回风夹道与送风层之间设置有干盘管。所述的用于洁净室的空调系统中,所述洁净室下方设置有回风层,所述回风层与回风夹道之间设置有化学过滤装器。所述的用于洁净室的空调系统中,所述新风机的出口设置有一旁通管道连接至回风夹道。所述的用于洁净室的空调系统中,所述新风机的壳体内依次设置有初效过滤器、中效过滤器、预热器、预冷器、风机以及高效过滤器。所述的用于洁净室的空调系统中,所述新风 ...
【技术保护点】
一种用于洁净室的空调系统,其特征在于,包括用于抽吸室外新风并对新风进行净化、预热或预冷处理的新风机,用于对新风进行除湿的除湿机,用于对所述空调系统中的循环风加湿的高压喷雾装置,用于对循环风进行温度调节的干盘管,以及用于对循环风进行过滤的风机过滤单元;所述新风机和除湿机设置于洁净室外侧,所述新风机通过除湿机连接洁净室侧面的回风夹道,所高压喷雾装置设置于回风夹道中,所述风机过滤单元设置洁净室顶部的送风层中,所述回风夹道与送风层之间设置有干盘管。
【技术特征摘要】
1.一种用于洁净室的空调系统,其特征在于,包括用于抽吸室外新风并对新风进行净化、预热或预冷处理的新风机,用于对新风进行除湿的除湿机,用于对所述空调系统中的循环风加湿的高压喷雾装置,用于对循环风进行温度调节的干盘管,以及用于对循环风进行过滤的风机过滤单元;所述新风机和除湿机设置于洁净室外侧,所述新风机通过除湿机连接洁净室侧面的回风夹道,所高压喷雾装置设置于回风夹道中,所述风机过滤单元设置洁净室顶部的送风层中,所述回风夹道与送风层之间设置有干盘管。2.根据权利要求1所述的用于洁净室的空调系统,其特征在于,所述洁净室下方设置有回风层,所述回风层与回风夹道之间设置有化学...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈媛媛,张学伟,梁志滔,文东林,宋世桥,
申请(专利权)人:广东申菱环境系统股份有限公司,
类型:新型
国别省市:广东,44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。