管芯扩展工具及使用该工具扩展晶圆的方法技术

一种管芯扩展工具(300)以及使用该管芯扩展工具(300)扩展箔载体(1)上的晶圆(4)的方法。管芯扩展工具(300)具有外部主体(302)，所述外部主体(302)形成腔体，箔载体(1)的支架(3)置于腔体中；位于外部主体(302)的腔体中的内部主体；附着到箔载体(1)的箔(2)上的晶圆(4)位于内部主体之上；位于外部主体(302)的腔体之内的受压流体系统，该受压流体系统使支架(3)围绕内部主体而轴向地移动并扩展箔(2)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】PCT国内申请，说明书已公开。

【技术保护点】
PCT国内申请，权利要求书已公开。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.09....

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫·柏图斯·威廉姆斯·斯托克曼，
申请(专利权)人：安世有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰,NL