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一种管芯扩展工具(300)以及使用该管芯扩展工具(300)扩展箔载体(1)上的晶圆(4)的方法。管芯扩展工具(300)具有外部主体(302)，所述外部主体(302)形成腔体，箔载体(1)的支架(3)置于腔体中；位于外部主体(302)的腔体中...
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