分光器以及具备该分光器的发射光谱分析装置制造方法及图纸
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】分光器以及具备该分光器的发射光谱分析装置
本专利技术涉及一种分光器以及具备该分光器的发射光谱分析装置。
技术介绍
在发射光谱分析装置中，一般地，通过由电弧放电、火花放电等对金属或非金属的固体试样给予能量来使该试样蒸发气化以及激发发光，并将该发射光导入分光器来取出具有对各元素而言特有的波长的光谱线并进行检测(例如，参照专利文献1)。特别地，在激发源使用火花放电的发射光谱分析装置由于能够进行高精度的分析，因此在例如钢铁材料、非铁金属材料等的生产工厂中，为了进行所生产的金属体中的组成分析而被广泛利用。在图3中示出了现有的一般的发射光谱分析装置的构成。该发射光谱分析装置包括使固体试样激发发光的激发部210、对来自所述试样的发射光进行波长色散并检测的分光部220、以及进行各部的控制及数据处理的控制/处理部240。激发部210具备放电产生部211、电极棒212、放电室213、试样载置板214、以及聚光透镜215。在放电室213设有朝向斜上方而开启的分析开口以及用于从放电室213取出光的导光孔213a，以覆盖所述分析开口的方式，在放电室213的上部可拆卸地安装有试样载置板214...
【技术保护点】
一种分光器，其特征在于，具有：a)波长色散元件，其对被测定光进行波长色散；b)光检测器，其检测由所述波长色散元件进行了波长色散的光；c)腔室，其收纳有所述波长色散元件以及所述光检测器；d)气体排出口，其将气体从所述腔室的内部向外部排出；e)惰性气体供给源，其填充有被压缩至大气压以上的惰性气体；f)冷却单元，其通过将所述惰性气体从所述惰性气体供给源导入至所述腔室的内部，来使该惰性气体在该腔室的内部膨胀而使该腔室内的温度降低；g)温度检测单元，其检测所述腔室内的温度；以及h)控制单元，其控制所述冷却单元，以使由所述温度检测单元检测到的温度成为预先规定的目标温度。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种分光器，其特征在于，具有：a)波长色散元件，其对被测定光进行波长色散；b)光检测器，其检测由所述波长色散元件进行了波长色散的光；c)腔室，其收纳有所述波长色散元件以及所述光检测器；d)气体排出口，其将气体从所述腔室的内部向外部排出；e)惰性气体供给源，其填充有被压缩至大气压以上的惰性气体；f)冷却单元，其通过将所述惰性气体从所述惰性气体供给源导入至所述腔室的内部，来使该惰性气体在该腔室的内部膨胀而使该腔室内的温度降低；g)温度检测单元，其检测所述腔室内的温度；以及h)控制单元，其控制所述冷却单元，以使由所述温度检测单元检测到的温度成为预先规定的目标温度。2.如权利要求1所述的分光...
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